2inch SiC ingot Dia50.8mmx10mmt 4H-N يەككە شەكىللىك

SiC خرۇستال ئۆسۈش تېخنىكىسى

SiC نىڭ ئالاھىدىلىكى يەككە كىرىستالنى يېتىشتۈرۈشنى قىيىنلاشتۇرۇۋېتىدۇ. بۇ ئاساسلىقى ئاتموسفېرا بېسىمىدا Si: C = 1: 1 نىڭ ستوئىئومومېتىر نىسبىتى بىلەن سۇيۇقلۇق باسقۇچىنىڭ يوقلۇقىدىن ، بىۋاسىتە رەسىم سىزىش ئۇسۇلى قاتارلىق پىشىپ يېتىلگەن ئۆسۈش ئۇسۇللىرى ئارقىلىق SiC نى تەرەققىي قىلدۇرۇش مۇمكىن ئەمەس. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىنىڭ ئاساسى بولغان چۈشۈش ھالقىلىق ئۇسۇلى. نەزەرىيە جەھەتتىن ئېيتقاندا ، سى: ستونىئومېتىرىيىلىك نىسبىتى: C = 1: 1 بولغان ھەل قىلىش چارىسى پەقەت بېسىم 10E5atm دىن يۇقىرى بولغاندا ، تېمپېراتۇرا 3200 than دىن يۇقىرى بولغاندا ئاندىن ئېرىشكىلى بولىدۇ. ھازىر ئاساسىي ئېقىم ئۇسۇللىرى PVT ئۇسۇلى ، سۇيۇقلۇق فازا ئۇسۇلى ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ھور فازىلىق خىمىيىلىك چۆكۈش ئۇسۇلىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.

بىز تەمىنلىگەن SiC ۋافېر ۋە خرۇستال ئاساسلىقى فىزىكىلىق ھور توشۇش (PVT) ئارقىلىق ئۆستۈرۈلىدۇ ، تۆۋەندىكىسى PVT نىڭ قىسقىچە تونۇشتۇرۇشى:

فىزىكىلىق ھور توشۇش (PVT) ئۇسۇلى لېلى 1955-يىلى كەشىپ قىلغان گاز فازىلىق دەرىجىدىن تاشقىرى تېخنىكىدىن بارلىققا كەلگەن ، بۇ تېخنىكىدا SiC پاراشوكى گرافت تۇرۇبىسىغا سېلىنىپ ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا قىزىتىلىپ ، SiC پاراشوكى پارچىلىنىپ ، ئەۋرىشىم بولىدۇ ، ئاندىن گرافت بولىدۇ. تۇرۇبا سوۋۇتىلىدۇ ، SiC پاراشوكىنىڭ پارچىلىنىپ كەتكەن گاز فازا زاپچاسلىرى گرافت تۇرۇبىسىنىڭ ئەتراپىدىكى رايوندا SiC كىرىستال سۈپىتىدە ساقلىنىدۇ ۋە كىرىستاللىنىدۇ. گەرچە بۇ ئۇسۇل چوڭ رازمېرلىق SiC يەككە كرىستالغا ئېرىشىش تەس بولسىمۇ ، ئەمما گرافت تۇرۇبىسىنىڭ ئىچىگە چۆكۈش جەريانىنى كونترول قىلىش تەس بولسىمۇ ، ئەمما ئۇ كېيىنكى تەتقىقاتچىلارنى پىكىر بىلەن تەمىنلەيدۇ.

YM Tairov قاتارلىقلار. روسىيەدە مۇشۇ ئاساستا ئۇرۇق كىرىستال ئۇقۇمى ئوتتۇرىغا قويۇلدى ، بۇ SiC كىرىستاللىرىنىڭ كونترول قىلغىلى بولمايدىغان كىرىستال شەكلى ۋە يادرو ئورنى مەسىلىسىنى ھەل قىلدى. كېيىنكى تەتقىقاتچىلار داۋاملىق ياخشىلىنىپ ، بۈگۈنكى كۈندە سانائەتتە ئىشلىتىلىدىغان فىزىكىلىق ھور يۆتكەش (PVT) ئۇسۇلىنى تەرەققىي قىلدۇردى.

ئەڭ بۇرۇنقى SiC كىرىستال ئۆسۈش ئۇسۇلى بولۇش سۈپىتى بىلەن ، PVT نۆۋەتتە SiC كىرىستاللىرىنىڭ ئەڭ ئاساسلىق ئېشىش ئۇسۇلى. باشقا ئۇسۇللارغا سېلىشتۇرغاندا ، بۇ ئۇسۇلنىڭ ئۆسۈش ئۈسكۈنىلىرىگە بولغان تەلىپى تۆۋەن ، ئۆسۈش جەريانى ئاددىي ، كونترول قىلىشچانلىقى كۈچلۈك ، ئەتراپلىق تەرەققىي قىلدۇرۇش ۋە تەتقىقاتقا ئىگە بولۇپ ، ئاللىقاچان سانائەتلەشتۈرۈلگەن.