6inch SiC Epitaxiy wafer N / P تىپى خاسلاشتۇرۇلغان
كرېمنىي كاربون ئېپىتاكسىمان ۋافېرنىڭ تەييارلىق جەريانى خىمىيىلىك ھور چۆكۈش (CVD) تېخنىكىسىنى قوللانغان ئۇسۇل.تۆۋەندىكىسى مۇناسىۋەتلىك تېخنىكىلىق پرىنسىپلار ۋە تەييارلىق باسقۇچلىرى:
تېخنىكىلىق پرىنسىپ:
خىمىيىلىك ھورنىڭ چۆكۈشى: خام ئەشيا گازىنى گاز باسقۇچىدا ئىشلىتىش ، ئالاھىدە ئىنكاس شارائىتىدا ، ئۇ پارچىلىنىپ ، ئاستى قىسمىغا قويۇلۇپ ، نېپىز پەردە ھاسىل بولىدۇ.
گاز باسقۇچىدىكى رېئاكسىيە: پىرولىز ياكى يېرىلىش رېئاكسىيەسى ئارقىلىق ، گاز باسقۇچىدىكى ھەر خىل خام ئەشيالار رېئاكسىيە ئۆيىدە خىمىيىلىك ھالدا ئۆزگىرىدۇ.
تەييارلىق جەريانى باسقۇچلىرى:
ئاستىرتتىن داۋالاش: يەر ئاستى سۈيىنى تازىلاش ۋە ئالدىنئالا ئىشلىتىش ئارقىلىق ، ئېففېكسىيىلىك ۋافېرنىڭ سۈپىتى ۋە كىرىستاللىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
رېئاكسىيە ئۆيىنىڭ ھەل قىلىنىشى: ئىنكاس ئۆيىنىڭ تېمپېراتۇرىسى ، بېسىمى ۋە ئېقىش سۈرئىتىنى ۋە باشقا پارامېتىرلارنى تەڭشەپ ، ئىنكاس شارائىتىنىڭ مۇقىملىقى ۋە كونتروللۇقىغا كاپالەتلىك قىلىڭ.
خام ماتېرىيال بىلەن تەمىنلەش: ئېھتىياجلىق گاز خام ئەشيالىرىنى رېئاكسىيە ئۆيىگە تەمىنلەش ، ئېھتىياجغا ئاساسەن ئېقىش نىسبىتىنى ئارىلاشتۇرۇش ۋە كونترول قىلىش.
ئىنكاس جەريانى: رېئاكسىيە ئۆيىنى قىزىتىش ئارقىلىق ، گازلىق يەم-خەشەك ئۆيدە خىمىيىلىك رېئاكسىيەدىن ئۆتۈپ ، لازىملىق ئامانەت ، يەنى كرېمنىي كاربون پىلاستىنكىسى ھاسىل قىلىدۇ.
سوۋۇتۇش ۋە چۈشۈرۈش: رېئاكسىيە ئاخىرلاشقاندا ، تېمپېراتۇرا ئاستا-ئاستا تۆۋەنلەپ ، رېئاكسىيە ئۆيىدىكى ئامانەتلەرنى سوۋۇتۇش ۋە مۇستەھكەملەش كېرەك.
Epitaxial wafer ئۇلاش ۋە پىششىقلاپ ئىشلەشتىن كېيىن: ئامانەت قويۇلغان ئېففېكسىيىلىك ۋافېر تۇتاشتۇرۇلغان ۋە پىششىقلاپ ئىشلەنگەندىن كېيىن ئېلېكتر ۋە ئوپتىكىلىق خۇسۇسىيىتىنى ياخشىلايدۇ.
كرېمنىي كاربون ئېپتاكسىمان ۋافېر تەييارلاش جەريانىنىڭ كونكرېت باسقۇچلىرى ۋە شارائىتى كونكرېت ئۈسكۈنىلەر ۋە تەلەپلەرگە ئاساسەن ئوخشىماسلىقى مۇمكىن.يۇقىرىقىلار پەقەت ئومۇمىي جەريان ئېقىمى ۋە پرىنسىپى ، كونكرېت مەشغۇلاتنى ئەمەلىي ئەھۋالغا ئاساسەن تەڭشەش ۋە ئەلالاشتۇرۇش كېرەك.
تەپسىلىي دىئاگرامما
![WechatIMG321](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG321.jpg)
![WechatIMG320](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG320.jpg)