8inch SiC ئىشلەپچىقىرىش دەرىجىسى wafer 4H-N SiC تارماق بالا

8inch SiC ئىشلەپچىقىرىش دەرىجىسى wafer 4H-N SiC تارماق رەسىملىك رەسىم

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

8 دىيۇملۇق SiC تارماق زاپچاسلىرى يۇقىرى قۇۋۋەتلىك ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەردە ئىشلىتىلىدۇ ، مەسىلەن MOSFETs (مېتال ئوكسىد يېرىم ئۆتكۈزگۈچ مەيدان ئېففېكتى تىرانسفورموتور) ، شوتكى دىئودى ۋە باشقا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى.

بىزگە ئېلخەت يوللاڭ

مەھسۇلات تەپسىلاتى

مەھسۇلات خەتكۈچلىرى

تۆۋەندىكى جەدۋەلدە بىزنىڭ 8inch SiC ۋافېرنىڭ ئۆلچىمى كۆرسىتىلدى

8inch N تىپلىق SiC DSP ئۆلچىمى
سان	Item	بىرلىك	ئىشلەپچىقىرىش	تەتقىقات	Dummy
1: پارامېتىرلار
1.1	polytype	--	4H	4H	4H
1.2	يەر يۈزى يۆنىلىشى	°	<11-20> 4 ± 0.5	<11-20> 4 ± 0.5	<11-20> 4 ± 0.5
2: ئېلېكتر پارامېتىرى
2.1	dopant	--	n تىپلىق ئازوت	n تىپلىق ئازوت	n تىپلىق ئازوت
2.2	قارشىلىق	ohm · cm	0.015 ~ 0.025	0.01 ~ 0.03	NA
3: مېخانىكىلىق پارامېتىر
3.1	دىئامېتىرى	mm	200 ± 0.2	200 ± 0.2	200 ± 0.2
3.2	قېلىنلىقى	μm	500 ± 25	500 ± 25	500 ± 25
3.3	يۆنىلىش يۆنىلىشى	°	[1- 100] ± 5	[1- 100] ± 5	[1- 100] ± 5
3.4	Notch Depth	mm	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5
3.5	LTV	μm	≤5 (10mm * 10mm)	≤5 (10mm * 10mm)	≤10 (10mm * 10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Bow	μm	-25 ~ 25	-45 ~ 45	-65 ~ 65
3.8	Warp	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4: قۇرۇلما
4.1	micropipe زىچلىقى	ea / cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	مېتال مەزمۇن	ئاتوم / cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea / cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea / cm2	0002000	≤5000	NA
4.5	TED	ea / cm2	0007000	0010000	NA
5. ئالدى سۈپەت
5.1	ئالدى	--	Si	Si	Si
5.2	surface finish	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	زەررىچە	ea / wafer	≤100 (size≥0.3μm)	NA	NA
5.4	scratch	ea / wafer	≤5 ، ئومۇمىي ئۇزۇنلۇقى 200mm	NA	NA
5.5	Edge ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ / يېرىق / داغ / بۇلغىنىش	--	ياق	ياق	NA
5.6	كۆپ قۇتۇپلۇق رايونلار	--	ياق	رايون ≤10%	رايون ≤30%
5.7	ئالدى بەلگە	--	ياق	ياق	ياق
6: ئارقا سۈپەت
6.1	back finish	--	C-face MP	C-face MP	C-face MP
6.2	scratch	mm	NA	NA	NA
6.3	ئارقا تەرىپى كەمتۈك chips / indents	--	ياق	ياق	NA
6.4	ئارقا قوپاللىق	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	ئارقا بەلگە	--	Notch	Notch	Notch
7: قىر
7.1	edge	--	Chamfer	Chamfer	Chamfer
8: ئورالما
8.1	ئورالما	--	ۋاكۇئۇم بىلەن Epi تەييار ئورالما	ۋاكۇئۇم بىلەن Epi تەييار ئورالما	ۋاكۇئۇم بىلەن Epi تەييار ئورالما
8.2	ئورالما	--	Multi-wafer قەغەز ئورالمىسى	Multi-wafer قەغەز ئورالمىسى	Multi-wafer قەغەز ئورالمىسى