8inch SiC ئىشلەپچىقىرىش دەرىجىسى wafer 4H-N SiC تارماق بالا
تۆۋەندىكى جەدۋەلدە بىزنىڭ 8inch SiC ۋافېرنىڭ ئۆلچىمى كۆرسىتىلدى
| 8inch N تىپلىق SiC DSP ئۆلچىمى | |||||
| سان | Item | بىرلىك | ئىشلەپچىقىرىش | تەتقىقات | Dummy |
| 1: پارامېتىرلار | |||||
| 1.1 | polytype | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | يەر يۈزى يۆنىلىشى | ° | <11-20> 4 ± 0.5 | <11-20> 4 ± 0.5 | <11-20> 4 ± 0.5 |
| 2: ئېلېكتر پارامېتىرى | |||||
| 2.1 | dopant | -- | n تىپلىق ئازوت | n تىپلىق ئازوت | n تىپلىق ئازوت |
| 2.2 | قارشىلىق | ohm · cm | 0.015 ~ 0.025 | 0.01 ~ 0.03 | NA |
| 3: مېخانىكىلىق پارامېتىر | |||||
| 3.1 | دىئامېتىرى | mm | 200 ± 0.2 | 200 ± 0.2 | 200 ± 0.2 |
| 3.2 | قېلىنلىقى | μm | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 |
| 3.3 | يۆنىلىش يۆنىلىشى | ° | [1- 100] ± 5 | [1- 100] ± 5 | [1- 100] ± 5 |
| 3.4 | Notch Depth | mm | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤10 (10mm * 10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Bow | μm | -25 ~ 25 | -45 ~ 45 | -65 ~ 65 |
| 3.8 | Warp | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: قۇرۇلما | |||||
| 4.1 | مىكروپنىڭ زىچلىقى | ea / cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | مېتال مەزمۇنى | ئاتوم / cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea / cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea / cm2 | 0002000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea / cm2 | 0007000 | 0010000 | NA |
| 5. ئالدى سۈپەت | |||||
| 5.1 | ئالدى | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | surface finish | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | زەررىچە | ea / wafer | ≤100 (size≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | scratch | ea / wafer | ≤5 ، ئومۇمىي ئۇزۇنلۇقى 200mm | NA | NA |
| 5.5 | Edge ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ / يېرىق / داغ / بۇلغىنىش | -- | ياق | ياق | NA |
| 5.6 | كۆپ قۇتۇپلۇق رايونلار | -- | ياق | رايون ≤10% | رايون ≤30% |
| 5.7 | ئالدى بەلگە | -- | ياق | ياق | ياق |
| 6: ئارقا سۈپەت | |||||
| 6.1 | back finish | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
| 6.2 | scratch | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | ئارقا تەرىپى كەمتۈك chips / indents | -- | ياق | ياق | NA |
| 6.4 | ئارقا قوپاللىق | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | ئارقا بەلگە | -- | Notch | Notch | Notch |
| 7: قىر | |||||
| 7.1 | edge | -- | Chamfer | Chamfer | Chamfer |
| 8: ئورالما | |||||
| 8.1 | ئورالما | -- | ۋاكۇئۇم بىلەن Epi تەييار ئورالما | ۋاكۇئۇم بىلەن Epi تەييار ئورالما | ۋاكۇئۇم بىلەن Epi تەييار ئورالما |
| 8.2 | ئورالما | -- | Multi-wafer قەغەز ئورالمىسى | Multi-wafer قەغەز ئورالمىسى | Multi-wafer قەغەز ئورالمىسى |
تەپسىلىي دىئاگرامما
مۇناسىۋەتلىك مەھسۇلاتلار
ئۇچۇرىڭىزنى بۇ يەرگە يېزىڭ ۋە بىزگە ئەۋەتىڭ