8 دىيۇملۇق SiC ئىشلەپچىقىرىش دەرىجىلىك ۋافېر 4H-N SiC ئاساسىي قەۋىتى
تۆۋەندىكى جەدۋەلدە بىزنىڭ 8 دىيۇملۇق SiC ۋافلىلىرىمىزنىڭ ئۆلچەملىرى كۆرسىتىلگەن:
| 8 دىيۇملۇق N تىپلىق SiC DSP ئۆلچىمى | |||||
| سان | بۇيۇم | بىرلىك | ئىشلەپچىقىرىش | تەتقىقات | مودېل |
| 1: پارامېتىرلار | |||||
| 1.1 | كۆپ خىل | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | يۈزە يۆنىلىشى | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: ئېلېكتر پارامېتىرى | |||||
| 2.1 | قوشۇمچە ماددا | -- | n تىپلىق ئازوت | n تىپلىق ئازوت | n تىپلىق ئازوت |
| 2.2 | قارشىلىق | ئوم ·cm | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: مېخانىكىلىق پارامېتىر | |||||
| 3.1 | دىئامېتىر | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | قېلىنلىق | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | نوتىلىق يۆنىلىش | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | ئۆڭكۈر چوڭقۇرلۇقى | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤10 (10mm * 10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | ياي | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | بۇرمىلاش | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: قۇرۇلما | |||||
| 4.1 | مىكرو تۇرۇبا زىچلىقى | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | مېتال تەركىبى | ئاتوم/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. ئالدى تەرەپ سۈپىتى | |||||
| 5.1 | ئالدى تەرەپ | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | يۈزەكى رەڭ | -- | Si يۈزلۈك CMP | Si يۈزلۈك CMP | Si يۈزلۈك CMP |
| 5.3 | زەررە | ئېا/ۋافلې | ≤100 (چوڭلۇقى ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | تىرنىش | ئېا/ۋافلې | ≤5، ئومۇمىي ئۇزۇنلۇقى ≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | قىر يېرىقلار/چۆكۈشلەر/يارىقلار/داغلار/بۇلغىنىشلار | -- | يوق | يوق | NA |
| 5.6 | كۆپ خىل رايونلار | -- | يوق | كۆلىمى ≤10% | كۆلىمى ≤30% |
| 5.7 | ئالدى تەرەپ بەلگىسى | -- | يوق | يوق | يوق |
| 6: ئارقا تەرەپ سۈپىتى | |||||
| 6.1 | ئارقا تەرىپى | -- | C يۈزلۈك MP | C يۈزلۈك MP | C يۈزلۈك MP |
| 6.2 | تىرنىش | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | ئارقا كەمتۈكلۈكلەرنىڭ چېتى چىپلار/چۈشۈنكىلەر | -- | يوق | يوق | NA |
| 6.4 | بەلنىڭ قوپاللىقى | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | ئارقا بەلگىلەر | -- | چەمبەر | چەمبەر | چەمبەر |
| 7: گىرۋەك | |||||
| 7.1 | قىر | -- | چامفېر | چامفېر | چامفېر |
| 8: ئورالما | |||||
| 8.1 | ئورالما | -- | ۋاكۇئۇم بىلەن ئېپى تەييار ئورالما | ۋاكۇئۇم بىلەن ئېپى تەييار ئورالما | ۋاكۇئۇم بىلەن ئېپى تەييار ئورالما |
| 8.2 | ئورالما | -- | كۆپ قاتلىغۇچلۇق كاسسېتا ئورالمىسى | كۆپ قاتلىغۇچلۇق كاسسېتا ئورالمىسى | كۆپ قاتلىغۇچلۇق كاسسېتا ئورالمىسى |
تەپسىلىي دىئاگرامما
مۇناسىۋەتلىك مەھسۇلاتلار
ئۇچۇرىڭىزنى بۇ يەرگە يېزىپ بىزگە ئەۋەتىڭ