N تىپلىق SiC بىرىكمە ئاساسلىرى دىئامېتىرى 6 دىيۇملۇق يۇقىرى سۈپەتلىك مونوكرىستال ۋە تۆۋەن سۈپەتلىك ئاساس
N تىپلىق SiC بىرىكمە ئاساسلىرى ئورتاق پارامېتىر جەدۋىلى
| 项目بۇيۇملار | 指标ئۆلچەم | 项目بۇيۇملار | 指标ئۆلچەم |
| 直径دىئامېتىر | 150±0.2mm | 正 面 (硅 面) 粗 糙 度 ئالدى (Si يۈزى) نىڭ قوپاللىقى | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) |
| 晶型كۆپ خىل | 4H | گىرۋەك پارچىلىرى، چىزىلىش، يېرىلىش (كۆز بىلەن تەكشۈرۈش) | يوق |
| 电阻率قارشىلىق | 0.015-0.025ohm ·cm | 总厚度变化TTV | ≤3μm |
| يۆتكىلىش قەۋىتىنىڭ قېلىنلىقى | ≥0.4μm | 翘曲度بۇرمىلاش | ≤35μm |
| 空洞بىكار | ≤5ea/ۋافېر (2mm>D>0.5mm) | 总厚度قېلىنلىقى | 350±25μm |
«N تىپلىق» بەلگىسى SiC ماتېرىياللىرىدا ئىشلىتىلىدىغان قوشلاش تۈرىنى كۆرسىتىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ فىزىكىسىدا، قوشلاش يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئېلېكتر خۇسۇسىيىتىنى ئۆزگەرتىش ئۈچۈن ئۇنىڭغا قەستەن ئارىلاشمىلارنى كىرگۈزۈشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. N تىپلىق قوشلاش ئارتۇقچە ئەركىن ئېلېكترون بىلەن تەمىنلەيدىغان ئېلېمېنتلارنى كىرگۈزۈپ، ماتېرىيالغا مەنپىي زەرەت توشۇغۇچى قويۇقلۇقى بېرىدۇ.
N تىپلىق SiC بىرىكمە سۇبستراتلىرىنىڭ ئەۋزەللىكلىرى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
1. يۇقىرى تېمپېراتۇرا ئىقتىدارى: SiC يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقىغا ئىگە بولۇپ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئىشلىيەلەيدۇ، شۇڭا ئۇ يۇقىرى قۇۋۋەتلىك ۋە يۇقىرى چاستوتىلىق ئېلېكترونلۇق قوللىنىشچان پروگراممىلارغا ماس كېلىدۇ.
2. يۇقىرى بۇزۇلۇش توك بېسىمى: SiC ماتېرىياللىرى يۇقىرى بۇزۇلۇش توك بېسىمىغا ئىگە بولۇپ، ئېلېكتر بۇزۇلۇشسىز يۇقىرى ئېلېكتر مەيدانىغا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ.
3. خىمىيىلىك ۋە مۇھىتقا چىداملىق: SiC خىمىيىلىك جەھەتتىن چىداملىق بولۇپ، قاتتىق مۇھىت شارائىتىغا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ، شۇڭا ئۇنى قىيىن قوللىنىشچان ساھەلەردە ئىشلىتىشكە ماس كېلىدۇ.
4. توك يوقىتىشنى ئازايتىش: ئەنئەنىۋى كرېمنىي ئاساسلىق ماتېرىياللارغا سېلىشتۇرغاندا، SiC ئاساسىي ماتېرىياللىرى توكنى تېخىمۇ ئۈنۈملۈك ئايلاندۇرۇشنى ئىشقا ئاشۇرىدۇ ۋە ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەردىكى توك يوقىتىشنى ئازايتىدۇ.
5. كەڭ بەلۋاغ بوشلۇقى: SiC كەڭ بەلۋاغ بوشلۇقىغا ئىگە بولۇپ، يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە يۇقىرى قۇۋۋەت زىچلىقىدا ئىشلىيەلەيدىغان ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەرنى تەرەققىي قىلدۇرۇشقا يول قويىدۇ.
ئومۇمەن قىلىپ ئېيتقاندا، N تىپلىق SiC بىرىكمە ئاساسىي تاختىلىرى يۇقىرى ئىقتىدارلىق ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەرنى تەرەققىي قىلدۇرۇشتا، بولۇپمۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرا ئىشلىتىش، يۇقىرى قۇۋۋەت زىچلىقى ۋە ئۈنۈملۈك قۇۋۋەت ئايلاندۇرۇش مۇھىم بولغان قوللىنىشچان ساھەلەردە زور ئەۋزەللىكلەرگە ئىگە.


