تېما: چىپ ئىشلەپچىقىرىشتا FOUP دېگەن نېمە؟

مەزمۇنلار جەدۋىلى

1. FOUP نىڭ ئومۇمىي ئەھۋالى ۋە ئاساسلىق فۇنكسىيەلىرى

2. FOUP نىڭ قۇرۇلمىسى ۋە لايىھە ئالاھىدىلىكلىرى

3. FOUP نىڭ تۈرگە ئايرىش ۋە قوللىنىش كۆرسەتمىسى

4. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا FOUP نىڭ ئىشلىتىلىشى ۋە ئەھمىيىتى

5. تېخنىكىلىق قىيىنچىلىقلار ۋە كەلگۈسىدىكى تەرەققىيات يۈزلىنىشى

6.XKH نىڭ خاسلاشتۇرۇلغان ھەل قىلىش چارىلىرى ۋە مۇلازىمەت قوللىشى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا، ئالدى ئېچىلىدىغان بىرلىككە كەلگەن قاپ (FOUP) ۋافلىلارنى قوغداش، توشۇش ۋە ساقلاش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدىغان مۇھىم قاچىدۇر. ئۇنىڭ ئىچكى قىسمىغا 25 پارچە 300 مىللىمېتىرلىق ۋافلىلارنى سىغدۇرغىلى بولىدۇ، ئۇنىڭ ئاساسلىق زاپچاسلىرى ئالدى ئېچىلىدىغان قاچى ۋە ئېچىش ۋە يېپىشقا ئىشلىتىلىدىغان مەخسۇس ئىشىك رامكىسىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. FOUP 12 دىيۇملۇق ۋافلى زاۋۇتلىرى ئىچىدىكى ئاپتوماتىك توشۇش سىستېمىسىدىكى يادرولۇق توشۇغۇچى. ئۇ ئادەتتە يېپىق ھالەتتە توشۇلىدۇ ۋە پەقەت ئۈسكۈنە يۈك ئېغىزىغا ئىتتىرىلىپ ئېچىلغاندا ئېچىلىدۇ، بۇ ۋافلىلارنى ئۈسكۈنىنىڭ يۈكلەش/چۈشۈرۈش ئېغىزىغا يۆتكەشكە يول قويىدۇ.

FOUP نىڭ لايىھىسى مىكرو مۇھىت تەلىپىگە ماسلاشتۇرۇلغان. ئۇنىڭ ئارقا تەرىپىدە ۋافلا قىستۇرۇش ئۈچۈن ئورۇن بار، قاپقىقى بولسا ئاچقۇچنىڭ قىسقۇچىغا ماس كېلىدىغان قىلىپ لايىھەلەنگەن. ۋافلا بىر تەرەپ قىلىدىغان روبوتلار 1-دەرىجىلىك پاكىز ھاۋا مۇھىتىدا ئىشلەيدۇ، بۇ ۋافلا يەتكۈزۈش جەريانىدا بۇلغىنىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا، FOUP ئاپتوماتىك ماتېرىيال بىر تەرەپ قىلىش سىستېمىسى (AMHS) ئارقىلىق بىر تەرەپ قىلىش قوراللىرى ئارىسىدا يۆتكىلىدۇ. زامانىۋى ۋافلا زاۋۇتلىرى ئاساسلىقى توشۇش ئۈچۈن ئۈستىدىكى رېلىس سىستېمىسىنى ئىشلىتىدۇ، بىر قىسىم كونا زاۋۇتلار بولسا يەر ئۈستىدىكى ئاپتوماتىك يېتەكلىنىدىغان ماشىنىلارنى (AGV) ئىشلىتىشى مۇمكىن.

FOUP پەقەت ئاپتوماتىك ۋافلىنىڭ يۆتكىلىشىنىلا ئەمەس، بەلكى ساقلاش رولىنىمۇ ئوينايدۇ. ئىشلەپچىقىرىشنىڭ نۇرغۇن باسقۇچلىرى سەۋەبىدىن، ۋافلىلارنىڭ پۈتۈن جەرياننى تاماملىشىغا بىر نەچچە ئاي ۋاقىت كېتىشى مۇمكىن. ئايلىق يۇقىرى ئىشلەپچىقىرىش مىقدارى بىلەن بىرلەشتۈرۈلگەندە، بۇ زاۋۇت ئىچىدىكى ئون مىڭلىغان ۋافلىلارنىڭ ھەر قانداق ۋاقىتتا دائىم توشۇش ياكى ۋاقىتلىق ساقلاشتا بولىدىغانلىقىدىن دېرەك بېرىدۇ. ساقلاش جەريانىدا، FOUPلار ۋاقىتلىق ئازوت بىلەن تازىلىنىپ، بۇلغانمىلارنىڭ ۋافلىلارغا تېگىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ، بۇ پاكىز ۋە ئىشەنچلىك ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.

1. FOUP نىڭ فۇنكسىيەسى ۋە ئەھمىيىتى

FOUP نىڭ ئاساسلىق رولى ۋافلىلارنى تاشقى سوقۇلۇش ۋە بۇلغىنىشتىن ساقلاش، بولۇپمۇ يۆتكەش جەريانىدا مەھسۇلات مىقدارىغا تەسىر كۆرسىتىشتىن ساقلىنىش. ئۇ گاز تازىلاش ۋە يەرلىك ئاتموسفېرا كونترول قىلىش (LAC) قاتارلىق ئۇسۇللار ئارقىلىق نەملىكنىڭ ئۈنۈملۈك ئالدىنى ئېلىپ، ۋافلىلارنىڭ كېيىنكى ئىشلەپچىقىرىش باسقۇچىنى ساقلاۋاتقاندا بىخەتەر ھالەتتە تۇرۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. ئۇنىڭ پېچەتلەنگەن ۋە كونترول قىلىنىدىغان سىستېمىسى پەقەت زۆرۈر بولغان بىرىكمىلەر ۋە ئېلېمېنتلارنىڭ كىرىشىگە يول قويۇپ، VOC، ئوكسىگېن ۋە نەملىكنىڭ ۋافلىلارغا بولغان سەلبىي تەسىرىنى زور دەرىجىدە ئازايتىدۇ.

25 دانە ۋافېر قاچىلانغان FOUP نىڭ ئېغىرلىقى 9 كىلوگرامغىچە بولغاچ، ئۇنى توشۇش ئاپتوماتىك ماتېرىيال بىر تەرەپ قىلىش سىستېمىسى (AMHS) غا تايىنىشى كېرەك. بۇنى ئاسانلاشتۇرۇش ئۈچۈن، FOUP ھەر خىل ئۇلىنىش تاختىلىرى، مىخلار ۋە تۆشۈكلەرنىڭ بىرىكمىسى بىلەن لايىھەلەنگەن ھەمدە ئاسان پەرقلەندۈرۈش ۋە تۈرگە ئايرىش ئۈچۈن RFID ئېلېكترونلۇق بەلگىلىرى بىلەن تەمىنلەنگەن. بۇ ئاپتوماتىك بىر تەرەپ قىلىش قولدا مەشغۇلات قىلىشنى تەلەپ قىلمايدۇ، بۇ خاتالىق نىسبىتىنى زور دەرىجىدە تۆۋەنلىتىدۇ ۋە ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنىڭ بىخەتەرلىكى ۋە توغرىلىقىنى ئاشۇرىدۇ.

2. FOUP نىڭ قۇرۇلمىسى ۋە تۈرگە ئايرىلىشى

FOUP نىڭ ئادەتتىكى ئۆلچىمى تەخمىنەن 420 مىللىمېتىر كەڭلىكتە، 335 مىللىمېتىر چوڭقۇرلۇقتا ۋە 335 مىللىمېتىر ئېگىزلىكتە بولىدۇ. ئۇنىڭ ئاساسلىق قۇرۇلما تەركىبلىرى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ: ئۈستىدىكى كۆتۈرگۈچ توشۇش ئۈچۈن ئۈستىدىكى OHT (موگۇ بېشى)؛ ئۈسكۈنىلەرنىڭ ۋافېرغا كىرىشى ئۈچۈن ئالدى ئىشىك؛ يان تەرەپتىكى تۇتقۇچلار، كۆپىنچە رەڭسىز بۇلغىنىش دەرىجىسىدىكى ئىشلەپچىقىرىش رايونلىرىنى پەرقلەندۈرۈش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ؛ ئۇچۇر كارتىسى قويۇش ئۈچۈن كارتا رايونى؛ ۋە ئاستىدىكى RFID بەلگىسى FOUP نىڭ بىردىنبىر ئېنىقلىغۇچ رولىنى ئوينايدۇ، بۇ قوراللار ۋە ئۈستىدىكى كۆتۈرگۈچلەرنىڭ ئۇنى تونۇشىغا يول قويىدۇ. ئاساسى يەنە قوراللار بىلەن ماسلاشتۇرۇش ۋە ئىشلەپچىقىرىش رايونلىرىنى پەرقلەندۈرۈش ئۈچۈن تۆت پەرقلەندۈرۈش ۋە ئورۇنلاشتۇرۇش تۆشۈكى بىلەن تەمىنلەنگەن.

ئىشلىتىلىشىگە ئاساسەن، FOUPلار ئۈچ تۈرگە ئايرىلىدۇ: PRD (ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن)، ENG (مۇھەندىسلىك ۋافلىلىرى ئۈچۈن) ۋە MON (كۆزىتىش ۋافلىلىرى ئۈچۈن). PRD FOUPلىرى مەھسۇلات ئىشلەپچىقىرىشتا ئىشلىتىلىدۇ، ENG تىپلىرى تەتقىقات ۋە تەرەققىيات ياكى سىناقلارغا ماس كېلىدۇ، MON تىپلىرى CMP ۋە DIFF قاتارلىق باسقۇچلارنىڭ جەرياننى نازارەت قىلىشقا ئىشلىتىلىدۇ. PRD FOUPلىرىنىڭ ENG ۋە MON مەقسەتلىرىدە ئىشلىتىلىشىگە، ENG تىپلىرىنىڭ MON ئۈچۈن ئىشلىتىلىشىگە دىققەت قىلىش كېرەك، ئەمما تەتۈر مەشغۇلات سۈپەت خەۋپىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

بۇلغىنىش دەرىجىسىگە ئاساسەن تۈرگە ئايرىلىدىغان FOUP لار FE FOUP (ئالدى تەرەپ جەريانى، مېتالسىز)، BE FOUP (ئارقا تەرەپ جەريانى، مېتال تەركىبى بار) ۋە NI FOUP، CU FOUP ۋە CO FOUP قاتارلىق ئالاھىدە مېتال جەريانلىرىغا مەخسۇس ئىشلىتىلىدىغانلارغا ئايرىلىدۇ. ھەر خىل جەريانلار ئۈچۈن ئىشلىتىلىدىغان FOUP لار ئادەتتە يان تۇتقۇچ ياكى ئىشىك تاختىلىرىنىڭ رەڭگى بىلەن پەرقلەندۈرۈلىدۇ. ئالدى تەرەپ جەريانلىرىدىن ئېلىنغان FOUP لار ئارقا تەرەپ جەريانلىرىدا ئىشلىتىلىشى مۇمكىن، ئەمما ئارقا تەرەپ FOUP لارنى ھەرگىز ئالدى تەرەپ جەريانلىرىدا ئىشلەتمەسلىك كېرەك، چۈنكى بۇ بۇلغىنىش خەۋپىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى مۇھىم توشۇغۇچى بولۇش سۈپىتى بىلەن، FOUP يۇقىرى ئاپتوماتلاشتۇرۇش ۋە قاتتىق بۇلغىنىشنى كونترول قىلىش ئارقىلىق ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ۋافلىلارنىڭ بىخەتەرلىكى ۋە پاكىزلىقىغا كاپالەتلىك قىلىپ، ئۇنى زامانىۋى ۋافلى زاۋۇتلىرىنىڭ مۇھىم ئۇل ئەسلىھەسىگە ئايلاندۇرىدۇ.

خۇلاسە

XKH خېرىدارلارغا يۇقىرى دەرىجىدە خاسلاشتۇرۇلغان ئالدى ئېچىلىدىغان بىرلىككە كەلگەن پود (FOUP) ھەل قىلىش چارىلىرى بىلەن تەمىنلەشكە ۋەدە بېرىدۇ، سىزنىڭ ئالاھىدە جەريان تەلىپىڭىز ۋە ئۈسكۈنە ئارايۈزىنىڭ ئۆلچىمىگە قاتتىق ئەمەل قىلىدۇ. ئىلغار ماتېرىيال تېخنىكىسى ۋە ئېنىق ئىشلەپچىقىرىش جەريانلىرىدىن پايدىلىنىپ، بىز ھەر بىر FOUP مەھسۇلاتىنىڭ ئالاھىدە ھاۋا ئۆتكۈزۈشچانلىقى، پاكىزلىقى ۋە مېخانىكىلىق مۇقىملىقىنى كاپالەتلەندۈرىمىز. بىزنىڭ تېخنىكىلىق گۇرۇپپىمىز چوڭقۇر كەسىپ تەجرىبىسىگە ئىگە بولۇپ، تاللاش مەسلىھەتچىلىكى ۋە قۇرۇلمىنى ئەلالاشتۇرۇشتىن تارتىپ تازىلاش ۋە ئاسراشقىچە بولغان ئومۇميۈزلۈك ھاياتلىق دەۋرىيلىكى قوللاش مۇلازىمىتى بىلەن تەمىنلەيدۇ، بۇ FOUP بىلەن ئاپتوماتىك ماتېرىيال بىر تەرەپ قىلىش سىستېمىسى (AMHS) ۋە بىر تەرەپ قىلىش ئۈسكۈنىلىرى ئوتتۇرىسىدىكى ئۈزۈلمەس بىرلەشتۈرۈش ۋە ئۈنۈملۈك ھەمكارلىقنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. بىز ھەمىشە ۋافلىلارنىڭ بىخەتەرلىكى ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى ئاشۇرۇشنى ئاساسلىق مەقسىتىمىز قىلىپ قويىمىز. يېڭىلىق يارىتىش مەھسۇلاتلىرى ۋە ئومۇميۈزلۈك تېخنىكىلىق مۇلازىمەتلەر ئارقىلىق، بىز يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانلىرىڭىزغا كۈچلۈك كاپالەت بىلەن تەمىنلەيمىز، ئاخىرىدا ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمى ۋە مەھسۇلات ئۈنۈمىنى ئاشۇرىمىز.