نېپىز فىلىم قويۇش تېخنىكىسىنىڭ ئەتراپلىق ئومۇمىي ئەھۋالى: MOCVD ، ماگنىت دولقۇنى ۋە PECVD

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا ، فوتوگرافوگرافىيە ۋە قىچىشىش ئەڭ كۆپ تىلغا ئېلىنغان جەريانلار بولسىمۇ ، ئەمما تۇتقاقلىق ياكى نېپىز پەردە چۆكۈش تېخنىكىسى ئوخشاشلا ئىنتايىن مۇھىم. بۇ ماقالىدە ئۆزەك ياساشتا ئىشلىتىلىدىغان بىر قانچە كۆپ نېپىز پەردە چۆكۈش ئۇسۇللىرى تونۇشتۇرۇلغانMOCVD, ماگنىت دولقۇنى, andPECVD.

نېپىز فىلىم جەريانلىرى ئۆزەك ياساشتا نېمە ئۈچۈن مۇھىم؟

چۈشەندۈرۈش ئۈچۈن ، ئاددىي پىشۇرۇلغان تەكشى ناننى تەسەۋۋۇر قىلىپ بېقىڭ. ئۆزلۈكىدىن ، ئۇ ياخشى سۈپەتلىك بولۇشى مۇمكىن. قانداقلا بولمىسۇن ، ئوخشىمىغان قىياملار بىلەن يەر يۈزىنى چوتكىلاش ئارقىلىق - پۇراقلىق پۇرچاق ئۇيۇتمىسى ياكى تاتلىق كالتسىي شەربىتىگە ئوخشاش ، ئۇنىڭ تەمىنى پۈتۈنلەي ئۆزگەرتەلەيسىز. بۇ تەمنى ئاشۇرىدىغان سىرلار ئوخشايدۇنېپىز فىلىملەريېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەرياندا ، تەكشى بولكىنىڭ ئۆزى بولسا ۋەكىللىك قىلىدۇsubstrate.

ئۆزەك ياساشتا ، نېپىز پەردە ئىزولياتورلۇق ، ئۆتكۈزۈشچانلىقى ، پاسسىپلىق ، نۇر سۈمۈرۈلۈش قاتارلىق نۇرغۇن ئىقتىدارلىق روللارنى ئوينايدۇ ، ھەر بىر ئىقتىدار مەلۇم چۆكۈش تېخنىكىسىنى تەلەپ قىلىدۇ.

1. مېتال-ئورگانىك خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى (MOCVD)

MOCVD يۇقىرى سۈپەتلىك يېرىم ئۆتكۈزگۈچ نېپىز پەردە ۋە نانو قۇرۇلمىسىنى چۆكۈشكە ئىشلىتىلىدىغان يۇقىرى ئىلغار ۋە ئېنىق تېخنىكا. ئۇ LED ، لازېر ۋە ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى قاتارلىق ئۈسكۈنىلەرنى ياساشتا ھەل قىلغۇچ رول ئوينايدۇ.

MOCVD سىستېمىسىنىڭ مۇھىم تەركىبلىرى:

• گاز يەتكۈزۈش سىستېمىسى
  رېئاكتورنىڭ رېئاكسىيە ئۆيىگە ئېنىق كىرگۈزۈلۈشىگە مەسئۇل. بۇ ئېقىشنى كونترول قىلىشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:

• توشۇغۇچى گاز

• مېتال ئورگانىك ئالدىنئالا

• گىدرىد گازى
  بۇ سىستېمىغا ئۆسۈش بىلەن تازىلاش ھالىتىنى ئالماشتۇرۇش ئۈچۈن كۆپ يۆنىلىشلىك كلاپان ئىشلىتىلگەن.

• رېئاكسىيە پالاتاسى
  ئەمەلىي ماددى ئۆسۈش يۈز بېرىدىغان سىستېمىنىڭ يۈرىكى. زاپچاسلىرى:

  • گرافت سۈمۈرگۈچ (ئاستى ئاستى تۇتقۇچى)

  • ئىسسىقلىق ۋە تېمپېراتۇرا سېنزورى

  • نەق مەيداننى نازارەت قىلىدىغان ئوپتىك ئېغىز

  • ئاپتوماتىك ۋافېر قاچىلاش / چۈشۈرۈش ئۈچۈن ماشىنا ئادەم قوراللىرى

• ئۆسۈشنى كونترول قىلىش سىستېمىسى
  پروگرامما قىلغىلى بولىدىغان لوگىكىلىق كونتروللىغۇچ ۋە ساھىبجامال كومپيۇتېردىن تەركىب تاپىدۇ. بۇلار چۆكۈش جەريانىدا ئېنىق نازارەت قىلىش ۋە تەكرارلىنىشقا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

• نەق مەيداننى نازارەت قىلىش
  پىرومېتىر ۋە نۇر قايتۇرۇش ئەسۋابى قاتارلىق قوراللار:

  • كىنو قېلىنلىقى

  • يەر يۈزى تېمپېراتۇرىسى

  • ئەگرى سىزىق
    بۇلار دەل ۋاقتىدا ئىنكاس قايتۇرۇش ۋە تەڭشەشنى قوزغىتىدۇ.

• گاز بىر تەرەپ قىلىش سىستېمىسى
  ئىسسىقلىق پارچىلىنىش ياكى خىمىيىلىك كاتالىزاتور ئارقىلىق زەھەرلىك قوشۇمچە مەھسۇلاتلارنى بىر تەرەپ قىلىپ ، بىخەتەرلىك ۋە مۇھىتنىڭ ماسلىشىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

تاقالغان Showerhead (CCS) سەپلىمىسى:

تىك MOCVD رېئاكتوردا ، CCS لايىھىسى مۇنچا قۇرۇلمىسىدىكى ئالمىشىش ئارقىلىق گازنى بىردەك ئوكۇل قىلىشقا يول قويىدۇ. بۇ بالدۇر ئىنكاسلارنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈپ ، بىر تۇتاش ئارىلاشتۇرۇشنى كۈچەيتىدۇ.

• Theئايلانما گرافت سۈمۈرگۈچيەنىمۇ ئىلگىرىلىگەن ھالدا گازنىڭ چېگرا قەۋىتىنى بىرلىككە كەلتۈرۈشكە ياردەم بېرىدۇ.

2. Magnetron Sputtering

ماگنىتلىق پۈركۈش فىزىكىلىق ھور چۆكۈش ئۇسۇلى (PVD) بولۇپ ، نېپىز پەردە ۋە سىرلارنى ساقلاشتا كەڭ قوللىنىلىدۇ ، بولۇپمۇ ئېلېكترون ، ئوپتىكا ۋە ساپال بۇيۇملاردا.

خىزمەت پرىنسىپى:

1. نىشان ماتېرىيالى
   ئامانەت قويماقچى بولغان ماتېرىيال - مېتال ، ئوكسىد ، نىترىد قاتارلىقلار كاتودقا مۇقىملاشتۇرۇلغان.

2. ۋاكۇئۇم پالاتاسى
   بۇ جەريان بۇلغىنىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن يۇقىرى ۋاكۇئۇم ئاستىدا ئېلىپ بېرىلىدۇ.

3. پلازما ئەۋلاد
   ئىنېرت گازى ئادەتتە ئارگون بولۇپ ، پلازما ھاسىل قىلىدۇ.

4. ماگنىت مەيدانى قوللىنىش
   ماگنىت مەيدانى ئېلېكتروننى نىشانغا يېقىنلاشتۇرۇپ ، ئىئونلاشتۇرۇش ئۈنۈمىنى ئۆستۈرىدۇ.

5. Sputtering Process
   ئايونلار نىشاننى بومباردىمان قىلىپ ، كامېردىن ئۆتىدىغان ئاتوملارنى پارچىلايدۇ ۋە ئاستىغا قويىدۇ.

ماگنىت دولقۇنىنىڭ ئەۋزەللىكى:

• بىرلىككە كەلگەن كىنو قويۇشچوڭ رايونلاردا.

• مۇرەككەپ بىرىكمىلەرنى ئامانەت قويۇش ئىقتىدارىقېتىشما ۋە ساپال بۇيۇملارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.

• تەڭشىگىلى بولىدىغان جەريان پارامېتىرلىرىقېلىنلىقى ، تەركىبى ۋە مىكرو قۇرۇلمىسىنى ئېنىق كونترول قىلىش ئۈچۈن.

• يۇقىرى فىلىم سۈپىتىكۈچلۈك چاپلىشىش ۋە مېخانىك كۈچ بىلەن.

• كەڭ ماتېرىيال ماسلىشىشچانلىقى، مېتالدىن ئوكسىد ۋە نىترىدقىچە.

• تۆۋەن تېمپېراتۇرا مەشغۇلاتى، تېمپېراتۇرىغا سەزگۈر تارماقلارغا ماس كېلىدۇ.

3. پلازما كۈچەيتىلگەن خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى (PECVD)

PECVD كرېمنىي نىترىد (SiNx) ، كرېمنىي تۆت ئوكسىد (SiO₂) ۋە ئامورفوس كرېمنىيغا ئوخشاش نېپىز پەردىلەرنى چۆكۈشكە ئىشلىتىلىدۇ.

پرىنسىپ:

PECVD سىستېمىسىدا ئالدىدىكى گازلار ۋاكۇئۇملۇق ئۆيگە كىرگۈزۈلۈپ ، aپارقىراق قويۇپ بېرىش پلازمىسىئىشلىتىپ ھاسىل قىلىنغان:

• RF ھاياجانلىنىش

• DC يۇقىرى بېسىملىق

• مىكرو دولقۇن ياكى تومۇر مەنبەلىرى

پلازما گاز باسقۇچىدىكى رېئاكسىيەلەرنى قوزغىتىپ ، ئاستىرتتىن قويۇپ بېرىدىغان ئىنچىكە جانلىقلارنى ھاسىل قىلىپ ، نېپىز پەردە ھاسىل قىلىدۇ.

ئامانەت قويۇش قەدەملىرى:

1. پلازما شەكىللىنىش
   ئېلېكتر ماگنىت مەيدانىدىن ھاياجانلانغان ئالدىدىكى گازلار ئىئونلىنىپ رېئاكتىپ رادىكال ۋە ئىئون ھاسىل قىلىدۇ.

2. رېئاكسىيە ۋە قاتناش
   بۇ تۈرلەر ئىككىلەمچى ئىنكاسقا دۇچ كېلىدۇ.

3. Surface Reaction
   تارماق ئېلېمېنتقا يەتكەندىن كېيىن ، ئۇلار ئېلان بېرىدۇ ، ئىنكاس قايتۇرىدۇ ۋە پۇختا فىلىم ھاسىل قىلىدۇ. بەزى قوشۇمچە مەھسۇلاتلار گاز سۈپىتىدە قويۇپ بېرىلىدۇ.

PECVD پايدىسى:

• مۇنەۋۋەر بىرلىكفىلىم تەركىبى ۋە قېلىنلىقى.

• كۈچلۈك چاپلاشھەتتا بىر قەدەر تۆۋەن چۆكۈش تېمپېراتۇرىسىدىمۇ.

• يۇقىرى ئامانەت نىسبىتى، سانائەت كۆلەمدىكى ئىشلەپچىقىرىشقا ماس كېلىدۇ.

4. نېپىز فىلىم ئالاھىدىلىكى تېخنىكىسى

نېپىز پەردىلەرنىڭ خۇسۇسىيىتىنى چۈشىنىش سۈپەت كونترول قىلىشتا ئىنتايىن مۇھىم. كۆپ ئۇچرايدىغان تېخنىكىلار تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:

(1) رېنتىگېن نۇرى دىففراكسىيەسى (XRD)

• مەقسەت: خرۇستال قۇرۇلما ، رېشاتكا تۇراقلىقلىقى ۋە يۆنىلىشىنى تەھلىل قىلىڭ.

• پرىنسىپ: براگ قانۇنىغا ئاساسەن ، X نۇرىنىڭ كىرىستال ماتېرىيال ئارقىلىق قانداق پەرقلىنىدىغانلىقىنى ئۆلچەيدۇ.

• قوللىنىشچان پروگراممىلار: خرۇستاللوگرافىيە ، باسقۇچ ئانالىزى ، جىددىيلىكنى ئۆلچەش ۋە نېپىز فىلىم باھالاش.

(2) سىكاننېرلاش ئېلېكترون مىكروسكوپى (SEM)

• مەقسەت: يەر يۈزى مورفولوگىيىسى ۋە مىكرو قۇرۇلمىغا دىققەت قىلىڭ.

• پرىنسىپ: ئېلېكترونلۇق نۇر ئىشلىتىپ ئەۋرىشكە يۈزىنى سايىلەيدۇ. بايقالغان سىگناللار (مەسىلەن ، ئىككىلەمچى ۋە ئارقىغا يېنىش ئېلېكترون) يەر يۈزى تەپسىلاتلىرىنى ئاشكارىلايدۇ.

• قوللىنىشچان پروگراممىلار: ماتېرىيال ئىلمى ، نانو تېخنىكىسى ، بىئولوگىيە ۋە مەغلۇبىيەت ئانالىزى.

(3) ئاتوم كۈچى مىكروسكوپى (AFM)

• مەقسەت: ئاتوم ياكى نانومېتىر ئېنىقلىقتىكى رەسىم يۈزى.

• پرىنسىپ: ئۆتكۈر تەكشۈرۈش ئەسۋابى يەر يۈزىنى سىكانىرلايدۇ ، شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ئۆز-ئارا تەسىر كۈچىنى ساقلايدۇ. تىك يۆتكىلىش 3D يەر شەكلى ھاسىل قىلىدۇ.

• قوللىنىشچان پروگراممىلار: نانو قۇرۇلمىسى تەتقىقاتى ، يەر يۈزىنىڭ يىرىكلىكىنى ئۆلچەش ، بىئولوگىيىلىك تەتقىقات.