Wafer ياسىمىچىلىقىدىكى SPC سىستېمىسىنى چوڭقۇر چۈشىنىش

1. SPC سىستېمىسىنىڭ ئومۇمىي ئەھۋالى

SPC ستاتىستىكا تېخنىكىسىنى ئىشلىتىپ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنى نازارەت قىلىدىغان ۋە كونترول قىلىدىغان ئۇسۇل. ئۇنىڭ يادرولۇق ئىقتىدارى دەل ۋاقتىدا سانلىق مەلۇماتلارنى توپلاش ۋە ئانالىز قىلىش ئارقىلىق ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى نورمالسىزلىقنى بايقاش ، ئىنژېنېرلارنىڭ ۋاقتىدا تەڭشەش ۋە قارار چىقىرىشىغا ياردەم بېرىش. SPC نىڭ مەقسىتى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى ئوخشىماسلىقنى ئازايتىش ، مەھسۇلات سۈپىتىنىڭ مۇقىم بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىش ھەمدە ئۆلچەمگە يېتىش.

SPC قىستۇرما جەرياندا ئىشلىتىلىدۇ:

ھالقىلىق ئۈسكۈنىلەرنىڭ پارامېتىرلىرىنى نازارەت قىلىڭ (مەسىلەن ، كاۋچۇك نىسبىتى ، RF قۇۋۋىتى ، كامېر بېسىمى ، تېمپېراتۇرا قاتارلىقلار)

ئاساسلىق مەھسۇلات سۈپىتىنىڭ كۆرسەتكۈچلىرىنى تەھلىل قىلىڭ (مەسىلەن ، كەڭ بەلۋاغ كەڭلىكى ، چوڭقۇرلۇقى ، قىر يىرىكلىكى قاتارلىقلار)

ئىنژېنېرلار بۇ پارامېتىرلارنى نازارەت قىلىش ئارقىلىق ، ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىقتىدارىنىڭ ناچارلاشقانلىقى ياكى ئېغىپ كەتكەنلىكىنى كۆرسىتىپ بېرىدۇ.

2. SPC سىستېمىسىنىڭ ئاساسلىق تەركىبلىرى

SPC سىستېمىسى بىر قانچە ئاچقۇچلۇق مودۇلدىن تۈزۈلگەن:

سانلىق مەلۇمات توپلاش مودۇلى: ئۈسكۈنىلەر ۋە جەريان ئېقىمىدىن (مەسىلەن ، FDC ، EES سىستېمىسى ئارقىلىق) ھەقىقىي ۋاقىتتىكى سانلىق مەلۇماتلارنى توپلايدۇ ۋە مۇھىم پارامېتىرلار ۋە ئىشلەپچىقىرىش نەتىجىسىنى خاتىرىلەيدۇ.

كونترول جەدۋىلى مودۇلى: ستاتىستىكىلىق كونترول دىئاگراممىسى (مەسىلەن ، X-Bar جەدۋىلى ، R جەدۋىلى ، Cp / Cpk جەدۋىلى) ئارقىلىق جەرياننىڭ مۇقىملىقىنى تەسۋىرلەپ ، جەرياننىڭ كونترول قىلىنغان-قىلىنمىغانلىقىنى ئېنىقلاشقا ياردەم بېرىدۇ.

ئاگاھلاندۇرۇش سىستېمىسى: ھالقىلىق پارامېتىرلار كونترول چېكىدىن ئېشىپ كەتسە ياكى يۈزلىنىش ئۆزگىرىشىنى كۆرسەتسە ، ئاگاھلاندۇرۇش سىگنالى قوزغايدۇ ، ئىنژېنېرلار ھەرىكەتكە كېلىدۇ.

تەھلىل ۋە دوكلات قىلىش مودۇلى: SPC جەدۋىلىگە ئاساسەن نورمالسىزلىقنىڭ تۈپ سەۋەبىنى تەھلىل قىلىدۇ ۋە جەريان ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىقتىدار دوكلاتىنى قەرەللىك ھاسىل قىلىدۇ.

3. SPC دىكى كونترول دىئاگراممىسىنىڭ تەپسىلى چۈشەندۈرۈشى

كونترول دىئاگراممىسى SPC دا ئەڭ كۆپ قوللىنىلىدىغان قوراللارنىڭ بىرى بولۇپ ، «نورمال ئۆزگىرىش» (تەبىئىي جەرياننىڭ ئۆزگىرىشىدىن كېلىپ چىققان) بىلەن «بىنورمال ئۆزگىرىش» (ئۈسكۈنىنىڭ كاشىلا ياكى جەرياننىڭ بۇزۇلۇشىدىن كېلىپ چىققان) نى پەرقلەندۈرۈشكە ياردەم بېرىدۇ. ئورتاق كونترول جەدۋىلى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:

X-Bar ۋە R دىئاگراممىلىرى: ئىشلەپچىقىرىش گۇرۇپپىسىنىڭ ئىچىدىكى ئوتتۇرىچە سىزىق ۋە دائىرىنى نازارەت قىلىشقا ئىشلىتىلىدۇ ، بۇ جەرياننىڭ مۇقىم ياكى ئەمەسلىكىنى كۆزىتىدۇ.

Cp ۋە Cpk كۆرسەتكۈچلىرى: جەريان ئىقتىدارىنى ئۆلچەشتە ئىشلىتىلىدۇ ، يەنى جەريان چىقىرىش مىقدارى ئىزچىل تەلەپكە ماس كېلەمدۇ يوق. Cp يوشۇرۇن ئىقتىدارنى ئۆلچەيدۇ ، Cpk بولسا جەريان مەركىزىنىڭ ئۆلچەمدىن چەتنەپ كېتىشىنى ئويلايدۇ.

مەسىلەن ، قىچىشىش جەريانىدا ، سىز بەلكىم كاۋچۇك نىسبىتى ۋە يەر يۈزىنىڭ يىرىكلىكى قاتارلىق پارامېتىرلارنى نازارەت قىلىشىڭىز مۇمكىن. ئەگەر مەلۇم ئۈسكۈنىنىڭ كاۋچۇك نىسبىتى كونترول چېكىدىن ئېشىپ كەتسە ، كونترول دىئاگراممىسى ئارقىلىق بۇنىڭ تەبىئىي ئۆزگىرىش ياكى ئۈسكۈنىنىڭ كاشىلا كۆرۈلگەنلىكىنى كۆرسىتىپ بېرەلەيسىز.

4. SPC نى Etching ئۈسكۈنىلىرىدە قوللىنىش

قىرىش جەريانىدا ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ پارامېتىرلىرىنى كونترول قىلىش ئىنتايىن مۇھىم ، SPC تۆۋەندىكى ئۇسۇللار بىلەن جەرياننىڭ مۇقىملىقىنى ئاشۇرۇشقا ياردەم بېرىدۇ:

ئۈسكۈنىلەرنىڭ ھالىتىنى نازارەت قىلىش: FDC غا ئوخشاش سىستېمىلار قىستۇرما ئۈسكۈنىلەرنىڭ مۇھىم پارامېتىرلىرى (مەسىلەن ، RF توك ، گاز ئېقىمى) دىكى ھەقىقىي سانلىق مەلۇماتلارنى توپلايدۇ ۋە بۇ سانلىق مەلۇماتلارنى SPC كونترول جەدۋىلى بىلەن بىرلەشتۈرۈپ ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ يوشۇرۇن مەسىلىلىرىنى بايقىيالايدۇ. مەسىلەن ، كونترول جەدۋىلىدىكى RF قۇۋۋىتىنىڭ بېكىتىلگەن قىممەتتىن تەدرىجىي چەتنەپ كەتكەنلىكىنى كۆرسىڭىز ، تەڭشەش ياكى ئاسراش ئۈچۈن بالدۇر ھەرىكەت قوللانسىڭىز ، مەھسۇلات سۈپىتىگە تەسىر يەتكۈزۈشتىن ساقلىنالايسىز.

مەھسۇلات سۈپىتىنى نازارەت قىلىش: سىز SPC سىستېمىسىغا ئاچقۇچلۇق مەھسۇلات سۈپىتىنىڭ پارامېتىرلىرىنى (مەسىلەن ، چوڭقۇرلۇق ، كەڭلىك) كىرگۈزۈپ ، ئۇلارنىڭ مۇقىملىقىنى نازارەت قىلالايسىز. ئەگەر بەزى ھالقىلىق مەھسۇلات كۆرسەتكۈچلىرى نىشان قىممىتىدىن تەدرىجىي چەتنەپ كەتسە ، SPC سىستېمىسى ئاگاھلاندۇرۇش سىگنالى تارقىتىدۇ ، بۇ جەرياننى تەڭشەشنىڭ لازىملىقىنى كۆرسىتىپ بېرىدۇ.

ئالدىنى ئېلىش ئاسراش (PM): SPC ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئاسراش دەۋرىنى ئەلالاشتۇرۇشقا ياردەم بېرەلەيدۇ. ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىقتىدارى ۋە جەريان نەتىجىسى توغرىسىدىكى ئۇزۇن مۇددەتلىك سانلىق مەلۇماتلارنى تەھلىل قىلىش ئارقىلىق ، ئۈسكۈنىلەرنى ئاسراشنىڭ ئەڭ مۇۋاپىق ۋاقتىنى بەلگىلىيەلەيسىز. مەسىلەن ، RF قۇۋۋىتى ۋە ESC ئۆمرىنى نازارەت قىلىش ئارقىلىق ، تازىلاش ياكى زاپچاس ئالماشتۇرۇشنىڭ قاچان لازىملىقىنى ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ كاشىلا نىسبىتىنى ۋە ئىشلەپچىقىرىش ۋاقتىنى تۆۋەنلەتكىلى بولىدىغانلىقىنى بەلگىلىيەلەيسىز.

5. SPC سىستېمىسىنىڭ كۈندىلىك ئىشلىتىش ئۇسۇللىرى

كۈندىلىك مەشغۇلاتتا SPC سىستېمىسىنى ئىشلەتكەندە ، تۆۋەندىكى باسقۇچلارنى قوللانغىلى بولىدۇ:

ئاچقۇچ كونترول پارامېتىرلىرىغا ئېنىقلىما بېرىڭ: ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى ئەڭ مۇھىم پارامېتىرلارنى ئېنىقلاپ ، ئۇلارنى SPC نازارەتچىلىكىگە كىرگۈزۈڭ. بۇ پارامېتىرلار مەھسۇلات سۈپىتى ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىقتىدارى بىلەن زىچ مۇناسىۋەتلىك بولۇشى كېرەك.

كونترول چەكلىمىسى ۋە ئاگاھلاندۇرۇش چەكلىمىسىنى بەلگىلەڭ: تارىخى سانلىق مەلۇمات ۋە جەريان تەلىپىگە ئاساسەن ، ھەر بىر پارامېتىرغا مۇۋاپىق كونترول چەكلىمىسى ۋە ئاگاھلاندۇرۇش چەكلىمىسىنى بەلگىلەڭ. كونترول چەكلىمىسى ئادەتتە ± 3σ (ئۆلچەملىك ياتلىشىش) قىلىپ بېكىتىلىدۇ ، ئاگاھلاندۇرۇش چەكلىمىسى جەريان ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ كونكرېت شارائىتىنى ئاساس قىلىدۇ.

ئۈزلۈكسىز نازارەت قىلىش ۋە ئانالىز قىلىش: SPC كونترول جەدۋىلىنى قەرەللىك تەكشۈرۈپ ، سانلىق مەلۇمات يۈزلىنىشى ۋە ئۆزگىرىشىنى تەھلىل قىلىڭ. ئەگەر بەزى پارامېتىرلار كونترول چېكىدىن ئېشىپ كەتسە ، دەرھال ھەرىكەت قوللىنىشقا توغرا كېلىدۇ ، مەسىلەن ئۈسكۈنىنىڭ پارامېتىرلىرىنى تەڭشەش ياكى ئۈسكۈنىلەرنى ئاسراش دېگەندەك.

بىنورماللىقنى بىر تەرەپ قىلىش ۋە يىلتىز سەۋەبىنى تەھلىل قىلىش: بىنورماللىق يۈز بەرگەندە ، SPC سىستېمىسى ۋەقەگە مۇناسىۋەتلىك تەپسىلىي ئۇچۇرلارنى خاتىرىلەيدۇ. سىز بۇ ئۇچۇرغا ئاساسەن بىنورماللىقنىڭ تۈپ سەۋەبىنى ھەل قىلىشىڭىز ۋە تەھلىل قىلىشىڭىز كېرەك. FDC سىستېمىسى ، EES سىستېمىسى قاتارلىقلارنىڭ سانلىق مەلۇماتلىرىنى بىرلەشتۈرۈپ ، مەسىلىنىڭ ئۈسكۈنىلەرنىڭ كاشىلا ، جەرياننىڭ چەتنەپ كېتىشى ياكى تاشقى مۇھىت ئامىلىنىڭ سەۋەبىدىن ياكى ئەمەسلىكىنى تەھلىل قىلىش مۇمكىن.

ئۈزلۈكسىز ياخشىلاش: SPC سىستېمىسى خاتىرىلىگەن تارىخىي سانلىق مەلۇماتلارنى ئىشلىتىپ ، بۇ جەرياندىكى ئاجىز نۇقتىلارنى ئېنىقلاپ ، ياخشىلاش پىلانىنى ئوتتۇرىغا قويۇڭ. مەسىلەن ، چاتاش جەريانىدا ، ESC نىڭ ئۆمرى ۋە تازىلاش ئۇسۇلىنىڭ ئۈسكۈنىلەرنى ئاسراش دەۋرىگە كۆرسەتكەن تەسىرىنى تەھلىل قىلىڭ ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ مەشغۇلات پارامېتىرلىرىنى ئۈزلۈكسىز ئەلالاشتۇرۇڭ.

6. ئەمەلىي قوللىنىش دېلوسى

ئەمەلىي مىسال سۈپىتىدە ، سىز E-MAX قىستۇرما ئۈسكۈنىلىرىگە مەسئۇل ئىكەنلىكىڭىزنى پەرەز قىلايلى ، كامېر كاتود بالدۇر ئۇپراشنى باشتىن كەچۈرۈپ ، D0 (BARC كەمتۈك) قىممىتىنىڭ ئۆسۈشىنى كەلتۈرۈپ چىقاردى. SPC سىستېمىسى ئارقىلىق ئەركىن ئاسىيا رادىئوسىنىڭ قۇۋۋىتى ۋە كاۋچۇك نىسبىتىنى نازارەت قىلىش ئارقىلىق ، بۇ پارامېتىرلارنىڭ بېكىتىلگەن قىممەتتىن تەدرىجىي چەتنەپ كېتىش يۈزلىنىشىنى ھېس قىلىسىز. SPC ئاگاھلاندۇرۇشى قوزغالغاندىن كېيىن ، سىز FDC سىستېمىسىدىكى سانلىق مەلۇماتلارنى بىرلەشتۈرۈپ ، مەسىلىنىڭ كامېر ئىچىدىكى تېمپېراتۇرىنىڭ تۇراقسىزلىقىدىن كېلىپ چىققانلىقىنى ئېنىقلايسىز. ئاندىن سىز يېڭى تازىلاش ئۇسۇلى ۋە ئاسراش ئىستراتېگىيىسىنى يولغا قويۇپ ، ئاخىرىدا D0 قىممىتىنى 4.3 دىن 2.4 كە تۆۋەنلىتىسىز ، بۇ ئارقىلىق مەھسۇلات سۈپىتىنى ئۆستۈرىسىز.

7. XINKEHUI دا ئېرىشەلەيسىز.

XINKEHUI دە ، مەيلى كرېمنىيلىق ۋافېر ياكى SiC ۋافېر بولسۇن ، مۇكەممەل ۋافېرغا ئېرىشەلەيسىز. بىز ئىنچىكە ۋە ئۈنۈمنى ئاساس قىلىپ ، ھەر قايسى كەسىپلەرگە ئەلا سۈپەتلىك ۋافېر يەتكۈزۈش بىلەن شۇغۇللىنىمىز.