ئارتۇقچىلىقىئەينەك ئارقىلىق (TGV)كىرىمنىي Via (TSV) ئارقىلىق TGV ئۈستىدىكى جەريانلار ئاساسلىقى:
(1) ئېسىل يۇقىرى چاستوتىلىق ئېلېكتر ئالاھىدىلىكى. ئەينەك ماتېرىيال ئىزولياتور ماتېرىيالى ، دىئېلېكترىك تۇراقلىق كىرىمىنىي ماتېرىيالىنىڭ پەقەت ئۈچتىن بىر قىسمىغا توغرا كېلىدۇ ، زىيان ئامىلى كرېمنىي ماتېرىيالىنىڭكىدىن 2-3 زاكاز تۆۋەن بولىدۇ ، بۇ يەر ئاستى سۈيىنىڭ يوقىلىشى ۋە پارازىت قۇرتنىڭ تەسىرىنى زور دەرىجىدە تۆۋەنلىتىدۇ. ھەمدە يەتكۈزۈلگەن سىگنالنىڭ مۇكەممەللىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ
(2)چوڭ رازمېر ۋە دەرىجىدىن تاشقىرى نېپىز ئەينەك ئاستى ئاستىئېرىشىش ئاسان. Corning, Asahi ۋە SCHOTT ۋە باشقا ئەينەك ئىشلەپچىقارغۇچىلار دەرىجىدىن تاشقىرى چوڭ رازمېر (> 2m × 2m) ۋە دەرىجىدىن تاشقىرى نېپىز (<50µm) تاختا ئەينەك ۋە دەرىجىدىن تاشقىرى نېپىز ئەۋرىشىم ئەينەك ماتېرىياللار بىلەن تەمىنلەيدۇ.
3) تۆۋەن تەننەرخ. چوڭ رازمېرلىق دەرىجىدىن تاشقىرى نېپىز تاختاي ئەينەككە ئاسان ئېرىشىشنىڭ پايدىسى ، ھەمدە ئىزولياتور قەۋىتىنىڭ چۆكۈپ كېتىشىنىڭ ھاجىتى يوق ، ئەينەك ماسلاشتۇرغۇچ تاختىسىنىڭ ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخى كرېمنىينى ئاساس قىلغان ماسلاشتۇرغۇچ تاختىسىنىڭ 1/8 ئەتراپىدا.
4) ئاددىي جەريان. TGV نىڭ يەر ئاستى يۈزى ۋە ئىچكى دىۋارىغا ئىزولياتسىيىلىك قەۋەت قويۇشنىڭ ھاجىتى يوق ، دەرىجىدىن تاشقىرى نېپىز ماسلاشتۇرغۇچ تاختىسىدا شالاڭلىتىش تەلەپ قىلىنمايدۇ.
(5) كۈچلۈك مېخانىكىلىق مۇقىملىق. ماسلاشتۇرغۇچ تاختىسىنىڭ قېلىنلىقى 100µm دىن تۆۋەن بولغان تەقدىردىمۇ ، ئۇرۇش بېتى يەنىلا كىچىك بولىدۇ.
(6) قوللىنىشچان پروگراممىلارنىڭ كەڭلىكى ، ۋافېر دەرىجىلىك ئورالما ساھەسىدە قوللىنىلىۋاتقان يېڭىدىن بارلىققا كەلگەن ئۇزۇن مۇددەتلىك ئۆز-ئارا ئۇلىنىش تېخنىكىسى بولۇپ ، ۋافېر بىلەن ۋافېر ئوتتۇرىسىدىكى ئەڭ قىسقا ئارىلىقنى ئەمەلگە ئاشۇرۇش ئۈچۈن ، ئۆز-ئارا ئۇلىنىشنىڭ ئەڭ تۆۋەن مەيدانى يېڭى تېخنىكا يولى بىلەن تەمىنلەيدۇ ، ئېلېكتر كۈچى ناھايىتى ياخشى. ، ئىسسىقلىق ، مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەت ، RF ئۆزىكىدە ، ئالىي دەرىجىلىك MEMS سېنزورى ، يۇقىرى زىچلىقتىكى سىستېما بىر گەۋدىلىشىش ۋە ئۆزگىچە ئەۋزەللىكى بار باشقا رايونلار ، كېيىنكى ئەۋلاد 5G ، 6G يۇقىرى چاستوتىلىق ئۆزەك 3D بۇ بىرىنچى تاللاشنىڭ بىرى. كېيىنكى ئەۋلاد 5G ۋە 6G يۇقىرى چاستوتىلىق ئۆزەكلەرنىڭ 3D ئورالمىسى.
TGV نىڭ شەكىللىنىش جەريانى ئاساسلىقى قۇم بېسىش ، ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنىدا بۇرغىلاش ، ھۆل تەمرەتكە ، چوڭقۇر رېئاكتىپ ئىئون قىرىش ، فوتوسېنسىيىلىك قىرىش ، لازېر ئېتىش ، لازېر كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان چوڭقۇرلۇقنى ئۆز ئىچىگە ئېلىش ۋە قويۇپ بېرىش تۆشۈك ھاسىل قىلىشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
يېقىنقى تەتقىقات ۋە تەرەققىيات نەتىجىلىرى شۇنى ئىسپاتلىدىكى ، بۇ تېخنىكا چوڭقۇرلۇق ۋە كەڭلىك نىسبىتى 20: 1 بولغان تۆشۈك ۋە 5: 1 قارىغۇ تۆشۈك ئارقىلىق تەييارلىق قىلالايدۇ ھەمدە مورفولوگىيىسى ياخشى. لازېر كەلتۈرۈپ چىقارغان چوڭقۇر يېپىشقاق بولۇپ ، يەر يۈزىنىڭ يىرىكلىكىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ، ئۇ ھازىر ئەڭ تەتقىق قىلىنغان ئۇسۇل. 1-رەسىمدە كۆرسىتىلگەندەك ، ئادەتتىكى لازېر بۇرغىلاش ئەتراپىدا روشەن يېرىقلار بار ، لازېر كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان چوڭقۇر ئورەكنىڭ ئەتراپ ۋە يان تاملىرى پاكىز ۋە سىلىق.
بىر تەرەپ قىلىش جەريانىTGVئۆز-ئارا تەسىر كۆرسەتكۈچى 2-رەسىمدە كۆرسىتىلدى. ئومۇمىي لايىھە ئالدى بىلەن ئەينەك ئاستى قىسمىغا تۆشۈك تېشىپ ، ئاندىن توساق قەۋىتى ۋە ئۇرۇق قەۋىتىنى يان تام ۋە يۈزىگە قويۇش. توساق قەۋىتى Cu نىڭ ئەينەك ئاستى قىسمىغا تارقىلىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ ، شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، ئىككىسىنىڭ يېپىشقاقلىقىنى ئاشۇرىدۇ ، ئەلۋەتتە ، بەزى تەتقىقاتلاردا توساق قەۋىتىنىڭ ھاجىتى يوقلىقىنى بايقىدى. ئاندىن Cu ئېلېكتىرولىزلاش ئارقىلىق ئامانەت قويۇلغان ، ئاندىن ئۇلانغان ، Cu قەۋىتى CMP تەرىپىدىن ئېلىۋېتىلگەن. ئاخىرىدا ، RDL قايتا ھاسىل قىلىش قەۋىتى PVD سىرلىق تاش مەتبەئە تەرىپىدىن تەييارلىنىدۇ ، يېلىم ئېلىۋېتىلگەندىن كېيىن پاسسىپ قەۋىتى ھاسىل بولىدۇ.
. f
يىغىنچاقلىغاندا ،ئەينەك تۆشۈك (TGV)قوللىنىش ئىستىقبالى كەڭ ، نۆۋەتتىكى دۆلەت ئىچى بازىرى ئۆرلەش باسقۇچىدا تۇرۇۋاتىدۇ ، ئۈسكۈنىلەردىن مەھسۇلات لايىھىلەش ۋە تەتقىقات ۋە تەرەققىياتنىڭ ئېشىش سۈرئىتى دۇنيانىڭ ئوتتۇرىچە سەۋىيىسىدىن يۇقىرى.
ئەگەر دەخلى-تەرۇز بولسا ، ئالاقىلىشىشنى ئۆچۈرۈڭ
يوللانغان ۋاقتى: 7-ئاينىڭ 16-كۈنىدىن 24-كۈنىگىچە