كۆك ياقۇت ئىنگوتنىڭ ئۆسۈپ يېتىلىش ئۈسكۈنىلىرى Czochralski CZ 2inch-12inch كۆك ياقۇت ۋافېر ئىشلەپچىقىرىش ئۇسۇلى
خىزمەت پرىنسىپى
CZ ئۇسۇلى تۆۋەندىكى باسقۇچلار ئارقىلىق مەشغۇلات قىلىدۇ:
1. خام ئەشيا ئېرىتىش: يۇقىرى ساپلىقتىكى Al₂O₃ (ساپلىق> 99.999%) 2050-221 سېلسىيە گرادۇسلۇق كرېستال ئېرىقتا ئېرىپ كېتىدۇ.
2.
3. مۈرىنىڭ شەكىللىنىشى ۋە توپنىڭ ئۆسۈشى: تارتىش سۈرئىتى سائىتىگە 0.2-1 مىللىمېتىرغا تۆۋەنلەپ ، خرۇستال دىئامېتىرىنى نىشان چوڭلۇقىغا تەدرىجىي كېڭەيتىدۇ (مەسىلەن ، 4-12 دىيۇم).
4. قىزىتىش ۋە سوۋۇتۇش: خرۇستال مىنۇتىغا 0.1 ~ 0.5 سېلسىيە گرادۇستا سوۋۇتۇپ ، ئىسسىقلىق بېسىمى كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان يېرىلىشنى ئازايتىدۇ.
5. ماس كېلىدىغان خرۇستال تىپلار:
ئېلېكترونلۇق دەرىجىسى: يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئاستى قىسمى (TTV <5 mm)
ئوپتىكىلىق دەرىجىسى: ئۇلترا بىنەپشە نۇرلۇق لازېرلىق كۆزنەك (يەتكۈزۈش> 90% @ 200 nm)
كۆپەيتىلگەن ۋارىيانتلىرى: ياقۇت (Cr³⁺ قويۇقلۇقى 0.01–0.5 wt.%) ، كۆك ياقۇت تۇرۇبىسى
يادرولۇق سىستېما زاپچاسلىرى
1. ئېرىتىش سىستېمىسى
Iridium Crucible: 2300 ° C قا چىداملىق ، چىرىشكە چىداملىق ، چوڭ ئېرىتىشكە ماس كېلىدۇ (100-400 كىلوگىرام).
ئىندۇكسىيە قىزىتىش ئوچىقى: كۆپ رايون مۇستەقىل تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلىش (± 0.5 ° C) ، ئەلالاشتۇرۇلغان ئىسسىقلىق رېئاكسىيەسى.
2. تارتىش ۋە ئايلىنىش سىستېمىسى
يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى سېرۋو موتورى: ئېنىقلىق دەرىجىسى 0.01 مىللىمېتىر ، ئايلىنىش قويۇقلۇقى <0.01 مىللىمېتىر.
ماگنىتلىق سۇيۇقلۇق تامغىسى: ئۇدا ئۆسۈش ئۈچۈن ئالاقىسىز ئۇلىنىش (> 72 سائەت).
3. ئىسسىقلىق كونترول سىستېمىسى
PID يېپىق ھالقىلارنى كونترول قىلىش: ئىسسىقلىق مەيدانىنى مۇقىملاشتۇرۇش ئۈچۈن دەل ۋاقتىدا توك تەڭشەش (50 ~ 200 كىلوۋات).
ئىنېرت گازىنى قوغداش: Ar / N₂ ئارىلاشمىسى (% 99.999 ساپلىق) ئوكسىدلىنىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
4. ئاپتوماتلاشتۇرۇش ۋە نازارەت قىلىش
CCD دىئامېتىرىنى ئۆلچەش: ئەمەلىي ئىنكاس (توغرىلىق ± 0.01 مىللىمېتىر).
ئىنفىرا قىزىل نۇرلۇق تېرموگرافىيە: قاتتىق سۇيۇقلۇق كۆرۈنمە يۈزى مورفولوگىيىسىنى نازارەت قىلىدۇ.
CZ بىلەن KY ئۇسۇلى سېلىشتۇرۇش
پارامېتىر | CZ ئۇسۇلى | KY ئۇسۇلى |
Max. خرۇستال رازمېرى | 12 دىيۇم (300 مىللىمېتىر) | 400 مىللىمېتىر (نەشپۈت شەكىللىك ingot) |
زىچلىقى | <100 / cm² | <50 / cm² |
ئۆسۈش نىسبىتى | 0.5-5 mm / h | 0.1-2 mm / h |
ئېنېرگىيە سەرپىياتى | 50–80 كىلوۋات سائەت | 80-120 كىلوۋات سائەت |
قوللىنىشچان پروگراممىلار | LED تارماق زاپچاسلىرى ، GaN epitaxy | ئوپتىكىلىق كۆزنەك ، چوڭ كىرىش ئېغىزى |
تەننەرخى | ئوتتۇراھال (يۇقىرى ئۈسكۈنىلەرگە مەبلەغ سېلىش) | يۇقىرى (مۇرەككەپ جەريان) |
ئاچقۇچلۇق پروگراممىلار
1. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى
GaN Epitaxial Substrates: مىكرو LED ۋە لازېرلىق دىئود ئۈچۈن 2-8 دىيۇملۇق ۋافېر (TTV <10 mm).
SOI Wafers: 3D توپلاشتۇرۇلغان ئۆزەكنىڭ يۈزىنىڭ يىرىكلىكى <0.2 nm.
2. ئوپتىكىلىق ئېلېكترون
UV لازېر Windows: تاش مەتبەئە ئوپتىكىسىنىڭ 200 W / cm² توك زىچلىقىغا بەرداشلىق بېرىڭ.
ئىنفىرا قىزىل نۇر زاپچاسلىرى: ئىسسىقلىق تەسۋىر ھاسىل قىلىش ئۈچۈن سۈمۈرۈلۈش كوئېففىتسېنتى <10⁻³ cm⁻¹.
3. ئىستېمال ئېلېكترونلىرى
ئەقلىي ئىقتىدارلىق كامېرا قاپقىقى: Mohs نىڭ قاتتىقلىقى 9 ، 10 × سىزىلىشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى ياخشىلىنىدۇ.
ئەقلىي ئىقتىدارلىق سائەتنىڭ كۆرسىتىلىشى: قېلىنلىقى 0.3 - 0.5 مىللىمېتىر ، يەتكۈزۈش نىسبىتى% 92.
4. مۇداپىئە ۋە ئالەم قاتنىشى
يادرو رېئاكتورى Windows: رادىئاتسىيەگە چىدامچانلىقى 10¹⁶ n / cm².
يۇقىرى قۇۋۋەتلىك لازېر ئەينىكى: ئىسسىقلىق ئۆزگىرىشى <λ / 20 @ 1064 nm.
XKH نىڭ مۇلازىمىتى
1. ئۈسكۈنىلەرنى خاسلاشتۇرۇش
كۆلەملەشتۈرۈلگەن كامېرا لايىھىسى: 2 - 12 دىيۇملۇق ۋافېر ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن 200-400 مىللىمېتىرلىق سەپلىمە.
دوپپىنىڭ ئەۋرىشىملىكى: ئاز ئۇچرايدىغان توپا (Er / Yb) ۋە ئۆتكۈنچى مېتال (Ti / Cr) ماسلاشتۇرۇلغان ئوپتىكىلىق ئېلېكترون خۇسۇسىيىتى ئۈچۈن دوپپا ئىشلىتىشنى قوللايدۇ.
2. ئاخىرىدىن ئاخىرىغىچە قوللاش
جەرياننى ئەلالاشتۇرۇش: LED ، RF ئۈسكۈنىلىرى ۋە رادىئاتسىيە قاتتىقلاشتۇرۇلغان زاپچاسلارنىڭ ئالدىن دەلىللەنگەن رېتسېپلىرى (50+).
يەرشارى مۇلازىمەت تورى: 24/7 يىراقتىن دىئاگنوز قويۇش ۋە 24 ئاي كاپالەت بىلەن نەق مەيداننى ئاسراش.
3. تۆۋەن ئېقىن بىر تەرەپ قىلىش
ۋافېر ياساش: 2 - 12 دىيۇملۇق ۋافېر (C / A- ئايروپىلان) نى توغراش ، ئۇۋىلاش ۋە سىلىقلاش.
قوشۇلما قىممەت مەھسۇلاتلىرى:
ئوپتىكىلىق زاپچاسلار: UV / IR دېرىزىسى (قېلىنلىقى 0.5-50 مىللىمېتىر).
ئۈنچە-مەرۋايىت دەرىجىلىك ماتېرىياللار: Cr³⁺ ruby (GIA ئېتىراپنامىسى) ، Ti³⁺ يۇلتۇز كۆك ياقۇت.
4. تېخنىكىلىق رەھبەرلىك
گۇۋاھنامە: EMI غا ماس كېلىدىغان ۋافېر.
پاتېنت: CZ ئۇسۇلىدا يېڭىلىق يارىتىشتىكى يادرولۇق پاتېنت.
خۇلاسە
CZ ئۇسۇلى ئۈسكۈنىلىرى چوڭ-كىچىك ماسلىشىشچانلىقى ، دەرىجىدىن تاشقىرى تۆۋەن نۇقسان نىسبىتى ۋە يۇقىرى جەرياننىڭ مۇقىملىقىنى يەتكۈزۈپ ، LED ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە مۇداپىئە قوللىنىشچان پروگراممىلىرىنىڭ كەسىپ ئۆلچىمى قىلىدۇ. XKH ئۈسكۈنىلەرنى ئورۇنلاشتۇرۇشتىن ئۆسۈپ يېتىلىشتىن كېيىنكى بىر تەرەپ قىلىشقىچە ئەتراپلىق قوللاپ ، خېرىدارلارنىڭ تەننەرخى يۇقىرى ، يۇقىرى ئىقتىدارلىق كۆك ياقۇت كىرىستال ئىشلەپچىقىرىشىنى ئەمەلگە ئاشۇرالايدۇ.

