يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لازېرلىق كۆتۈرۈش ئۈسكۈنىسى قۇيۇش سۇيۇقلۇقىنى ئىنقىلابىيلاشتۇردى
تەپسىلىي دىئاگرامما
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لازېرلىق كۆتۈرۈش ئۈسكۈنىسىنىڭ مەھسۇلات تونۇشتۇرۇشى
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لازېرلىق كۆتۈرۈش ئۈسكۈنىسى لازېرلىق كۆتۈرۈش تېخنىكىسى ئارقىلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قۇيمىلارنى ئېنىق ۋە ئالاقىسىز نېپىزلىتىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن يۇقىرى دەرىجىلىك كەسپىي ھەل قىلىش چارىسى. بۇ ئىلغار سىستېما زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافلى ياساش جەريانلىرىدا، بولۇپمۇ يۇقىرى ئىقتىدارلىق ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى، LED ۋە رادىئو چاستوتا ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن ئىنتايىن نېپىز ۋافلى ياساشتا مۇھىم رول ئوينايدۇ. چوڭ مىقداردىكى قۇيمىلار ياكى ئىئانە قىلغۇچى ئاساسلاردىن نېپىز قەۋەتلەرنى ئايرىشقا شارائىت يارىتىش ئارقىلىق، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لازېرلىق كۆتۈرۈش ئۈسكۈنىسى مېخانىكىلىق كېسىش، ئۇۋىلاش ۋە خىمىيىلىك ئويۇش باسقۇچلىرىنى يوقىتىش ئارقىلىق قۇيمىلارنى نېپىزلىتىشتە ئىنقىلاب ئېلىپ بارىدۇ.
گاللىي نىترىد (GaN)، كرېمنىي كاربىد (SiC) ۋە ياقۇت قاتارلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قۇيمىلارنى ئەنئەنىۋى سۇيۇقلاندۇرۇش كۆپىنچە ئەمگەكنى كۆپ تەلەپ قىلىدۇ، ئىسراپچىلىققا ئۇچرايدۇ ۋە مىكرو يېرىقلارغا ياكى يۈزەكى بۇزۇلۇشلارغا ئاسان ئۇچرايدۇ. ئەكسىچە، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لازېرلىق كۆتۈرۈش ئۈسكۈنىسى بۇزمايدىغان، ئېنىق بىر تاللاش بىلەن تەمىنلەيدۇ، بۇ ماتېرىيالنىڭ يوقىلىشى ۋە يۈزەكى بېسىمنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش بىلەن بىرگە ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى ئاشۇرىدۇ. ئۇ كۆپ خىل كىرىستال ۋە بىرىكمە ماتېرىياللارنى قوللايدۇ ھەمدە ئالدى ياكى ئوتتۇرا ئېقىمدىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىگە مۇكەممەل بىرلەشتۈرۈلىدۇ.
بۇ ئۈسكۈنە تەڭشىگىلى بولىدىغان لازېر دولقۇن ئۇزۇنلۇقى، ماسلىشىشچان فوكۇس سىستېمىسى ۋە ۋاكۇئۇمغا ماس كېلىدىغان ۋافېر چاقى بىلەن، بولۇپمۇ تىك ئۈسكۈنە قۇرۇلمىسى ياكى گېتېروئېپىتاكسىيال قەۋەت يۆتكەش ئۈچۈن قۇيۇق پارچىلاش، لامېللا ياساش ۋە ئۇلترا نېپىز پەردە ئايرىشقا ناھايىتى ماس كېلىدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لازېرلىق كۆتۈرۈش ئۈسكۈنىسىنىڭ پارامېتىرى
| دولقۇن ئۇزۇنلۇقى | IR/SHG/THG/FHG |
|---|---|
| ئىمپۇلس كەڭلىكى | نانوسېكۇنت، پىكوسېكۇنت، فېمتوسېكۇنت |
| ئوپتىكىلىق سىستېما | مۇقىم ئوپتىكىلىق سىستېما ياكى گالۋانو-ئوپتىكىلىق سىستېما |
| XY باسقۇچى | 500 مىللىمېتىر × 500 مىللىمېتىر |
| بىر تەرەپ قىلىش دائىرىسى | 160 مىللىمېتىر |
| ھەرىكەت سۈرئىتى | ئەڭ يۇقىرى 1000 مىللىمېتىر/سېكۇنت |
| تەكرارلىنىشچانلىقى | ±1 μm ياكى ئۇنىڭدىن تۆۋەن |
| ئورۇننىڭ مۇتلەق توغرىلىقى: | ±5 μm ياكى ئۇنىڭدىن تۆۋەن |
| ۋافلىنىڭ چوڭلۇقى | 2–6 دىيۇم ياكى خاسلاشتۇرۇلغان |
| كونترول | Windows 10، 11 ۋە PLC |
| توك بىلەن تەمىنلەش توك بېسىمى | AC 200 V ±20 V، بىر باسقۇچلۇق، 50/60 kHz |
| تاشقى ئۆلچەملەر | 2400 مىللىمېتىر (كەڭلىك) × 1700 مىللىمېتىر (تېزلىك) × 2000 مىللىمېتىر (ئېگىزلىك) |
| ئېغىرلىقى | 1000 كىلوگرام |
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لازېرلىق كۆتۈرۈش ئۈسكۈنىسىنىڭ ئىشلەش پىرىنسىپى
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لازېر كۆتۈرۈش ئۈسكۈنىسىنىڭ ئاساسلىق مېخانىزمى ئىئانە قىلغۇچى قۇيما بىلەن ئېپىتاكسىيە ياكى نىشان قەۋىتى ئوتتۇرىسىدىكى چەكتە تاللاشچان فوتوتېرمىك پارچىلىنىش ياكى ئابلاتسىيەگە تايىنىدۇ. يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك ئۇلترا بىنەپشە نۇر لازېرى (ئادەتتە 248 نانومېتىردىكى KrF ياكى 355 نانومېتىر ئەتراپىدىكى قاتتىق ھالەتتىكى ئۇلترا بىنەپشە نۇر لازېرى) سۈزۈك ياكى يېرىم سۈزۈك ئىئانە قىلغۇچى ماتېرىيال ئارقىلىق مەركەزلەشتۈرۈلىدۇ، بۇ يەردە ئېنېرگىيە بەلگىلەنگەن چوڭقۇرلۇقتا تاللاپ سۈمۈرىلىدۇ.
بۇ يەرلىك ئېنېرگىيە سۈمۈرۈش ئارىلىق قىسمىدا يۇقىرى بېسىملىق گاز باسقۇچى ياكى ئىسسىقلىق كېڭىيىش قەۋىتى ھاسىل قىلىدۇ، بۇ قەۋەت ئۈستۈنكى ۋافېر ياكى ئۈسكۈنە قەۋىتىنىڭ قۇيما ئاساسىدىن پاكىز ئايرىلىشىنى باشلايدۇ. بۇ جەريان ئىمپۇلس كەڭلىكى، لازېر نۇرى، سىكانىرلاش سۈرئىتى ۋە z ئوقىنىڭ فوكۇس چوڭقۇرلۇقى قاتارلىق پارامېتىرلارنى تەڭشەش ئارقىلىق ئىنچىكە تەڭشىلىنىدۇ. نەتىجىدە، مېخانىكىلىق سۈركىلىشسىز ئانا قۇيما بىلەن پاكىز ئايرىلغان ئىنتايىن نېپىز پارچى ھاسىل بولىدۇ.
بۇ خىل لازېرلىق ئېلىۋېتىش ئۇسۇلى ئالماس سىم ئارىلاش ياكى مېخانىكىلىق چاپلاش جەريانىدا يۈزەكى قىرنىڭ يوقىلىشى ۋە يۈزەكى بۇزۇلۇشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. ئۇ يەنە كىرىستالنىڭ پۈتۈنلۈكىنى ساقلايدۇ ۋە كېيىنكى ئېقىمدا سىلىقلاش تەلىپىنى ئازايتىدۇ، بۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لازېرلىق ئېلىۋېتىش ئۈسكۈنىسىنى كېيىنكى ئەۋلاد ۋافلى ئىشلەپچىقىرىشتا ئويۇننى ئۆزگەرتىدىغان قورالغا ئايلاندۇرىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لازېرلىق كۆتۈرۈش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ قوللىنىلىشى
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لازېرلىق كۆتۈرۈش ئۈسكۈنىسى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ھەر خىل ئىلغار ماتېرىياللار ۋە ئۈسكۈنە تىپلىرىدا قۇيۇقنى سۇيۇلدۇرۇشتا كەڭ قوللىنىلىدۇ:
-
ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن GaN ۋە GaAs قۇيۇقلىرىنى نېپىزلىتىش
يۇقىرى ئۈنۈملۈك، تۆۋەن قارشىلىقلىق قۇۋۋەتلىك ترانزىستورلار ۋە دىئودلار ئۈچۈن نېپىز لېنتا ياساشقا شارائىت ھازىرلايدۇ.
-
SiC ئاساسىي قەۋىتىنى ئەسلىگە كەلتۈرۈش ۋە لاملا ئايرىش
تىك ئۈسكۈنە قۇرۇلمىسى ۋە لېفتىنى قايتا ئىشلىتىش ئۈچۈن، كۆپ مىقداردىكى SiC ئاساسىي تاختىلىرىدىن لېفتىنى كۆتۈرۈشكە يول قويىدۇ.
-
LED ۋافېر كېسىش
قېلىن ياقۇت تاشلىرىدىن GaN قەۋەتلىرىنى ئاجرىتىپ، ئىنتايىن نېپىز LED ئاساسىي تاختىلىرىنى ئىشلەپچىقىرىشنى ئاسانلاشتۇرىدۇ.
-
رادىئو چاستوتا ۋە مىكرو دولقۇن ئۈسكۈنىلىرىنى ياساش
5G ۋە رادار سىستېمىلىرىدا لازىم بولغان ئۇلترا نېپىز يۇقىرى ئېلېكترونلۇق ھەرىكەتچان ترانزىستور (HEMT) قۇرۇلمىلىرىنى قوللايدۇ.
-
ئېپىتاكسىيال قەۋەت يۆتكىلىشى
قايتا ئىشلىتىش ياكى گېتېروقۇرۇلمىلارغا بىرلەشتۈرۈش ئۈچۈن كىرىستاللىق قۇيمىلاردىن ئېپىتاكسىيال قەۋەتلەرنى ئېنىق ئايرىيدۇ.
-
نېپىز پەردە قۇياش ئېنېرگىيەسى باتارېيەلىرى ۋە فوتوۋولتائىكلار
يۇمشاق ياكى يۇقىرى ئۈنۈملۈك قۇياش ئېنېرگىيەسى باتارېيەلىرى ئۈچۈن نېپىز سۈمۈرگۈچ قەۋەتلىرىنى ئايرىشقا ئىشلىتىلىدۇ.
بۇ ساھەلەرنىڭ ھەر بىرىدە، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لازېرلىق كۆتۈرۈش ئۈسكۈنىسى قېلىنلىقنىڭ بىردەكلىكى، يۈزە سۈپىتى ۋە قەۋەتنىڭ پۈتۈنلۈكى ئۈستىدىن تەڭداشسىز كونترول قىلىش ئىقتىدارى بىلەن تەمىنلەيدۇ.
لازېر ئاساسىدىكى قۇيۇقنى سۇيۇلدۇرۇشنىڭ ئەۋزەللىكلىرى
-
نۆل-كېرف ماتېرىيال يوقىتىش
ئەنئەنىۋى ۋافېر كېسىش ئۇسۇلىغا سېلىشتۇرغاندا، لازېر ئۇسۇلى ماتېرىيالنىڭ ئىشلىتىلىش نىسبىتىنى دېگۈدەك %100 كە يەتكۈزىدۇ.
-
ئەڭ تۆۋەن بېسىم ۋە بۇرمىلىنىش
تېگىشسىز كۆتۈرۈش مېخانىكىلىق تەۋرىنىشنى يوقىتىپ، ۋاپېر ئېگىلىشى ۋە مىكرو يېرىقلارنىڭ شەكىللىنىشىنى ئازايتىدۇ.
-
يۈزە سۈپىتىنى ساقلاش
نۇرغۇن ئەھۋاللاردا، لازېر بىلەن ئېلىۋېتىش ئۈستۈنكى يۈزنىڭ پۈتۈنلۈكىنى ساقلاپ قالغاچقا، سۇيۇلدۇرغاندىن كېيىن سۈرتۈش ياكى سىلىقلاشنىڭ ھاجىتى يوق.
-
يۇقىرى ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارى ۋە ئاپتوماتلاشتۇرۇشقا تەييار
ئاپتوماتىك يۈكلەش/چۈشۈرۈش ئارقىلىق ھەر نۆۋەت يۈزلىگەن ئاساسىي ماتېرىيالنى بىر تەرەپ قىلالايدۇ.
-
كۆپ خىل ماتېرىياللارغا ماسلىشىشچان
GaN، SiC، سافىر، GaAs ۋە يېڭىدىن پەيدا بولغان III-V ماتېرىياللىرى بىلەن ماسلىشىدۇ.
-
مۇھىت جەھەتتىن بىخەتەر
سۇيۇقلۇق ئاساسلىق سۇيۇقلاندۇرۇش جەريانلىرىدا ئىشلىتىلىدىغان سۈرتكۈچ ماددىلار ۋە قاتتىق خىمىيىلىك ماددىلارنىڭ ئىشلىتىلىشىنى ئازايتىدۇ.
-
سۇبستراتنى قايتا ئىشلىتىش
ئىئانە قىلغۇچى قۇيمىلارنى كۆپ قېتىم كۆتۈرۈش دەۋرىيلىكىدە قايتا ئىشلەتكىلى بولىدۇ، بۇ ماتېرىيال تەننەرخىنى زور دەرىجىدە تۆۋەنلىتىدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لازېرلىق كۆتۈرۈش ئۈسكۈنىلىرى توغرىسىدا كۆپ سورىلىدىغان سوئاللار (FAQ)
-
1-سوئال: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لازېرلىق كۆتۈرۈش ئۈسكۈنىسى ۋافېر پارچىلىرى ئۈچۈن قانچىلىك قېلىنلىق دائىرىسىگە ئېرىشەلەيدۇ؟
A1:ئادەتتىكى كېسىشمە قېلىنلىقى ماتېرىيال ۋە سەپلىمىسىگە ئاساسەن 10 µm دىن 100 µm غىچە بولىدۇ.2-سوئال: بۇ ئۈسكۈنىنى SiC قاتارلىق تۇتۇقسىز ماتېرىياللاردىن ياسالغان قۇيۇقلارنى سۇيۇلدۇرۇشقا ئىشلەتكىلى بولامدۇ؟
A2:ھەئە. لازېر دولقۇن ئۇزۇنلۇقىنى تەڭشەش ۋە ئارا يۈز قۇرۇلۇشى (مەسىلەن، قۇربانلىق قەۋەتلىرى) ئارقىلىق، ھەتتا قىسمەن تۇتۇق بولمىغان ماتېرىياللارنىمۇ بىر تەرەپ قىلغىلى بولىدۇ.3-سوئال: لازېر نۇرى چىقىرىلىشتىن بۇرۇن، ئىئانە قىلغۇچى ئاساس قانداق تەڭشىلىدۇ؟
A3:بۇ سىستېما مىكرون ئاستىدىكى كۆرۈش ئاساسىدىكى تەڭشەش مودۇللىرىنى ئىشلىتىدۇ، ئۇلار ئىشەنچلىك بەلگىلەر ۋە يۈزەكى قايتۇرۇش سىكانىرلاش ئارقىلىق ئىنكاس قايتۇرىدۇ.4-سوئال: بىر قېتىم لازېرنى كۆتۈرۈش مەشغۇلاتىنىڭ مۆلچەرلەنگەن دەۋرىيلىك ۋاقتى قانچە؟
A4:ۋافېرنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى ۋە قېلىنلىقىغا ئاساسەن، ئادەتتىكى دەۋرىيلىك 2 مىنۇتتىن 10 مىنۇتقىچە داۋاملىشىدۇ.5-سوئال: بۇ جەريان پاكىز ئۆي مۇھىتىنى تەلەپ قىلامدۇ؟
A5:يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى مەشغۇلات جەريانىدا ئاساسىي قاتلامنىڭ پاكىزلىقى ۋە ئۈسكۈنە ئۈنۈمىنى ساقلاش ئۈچۈن، پاكىز ئۆينى بىرلەشتۈرۈش مەجبۇرىي بولمىسىمۇ، تەۋسىيە قىلىنىدۇ.
بىز ھەققىدە
XKH شىركىتى يۇقىرى تېخنىكىلىق تەرەققىيات، ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئالاھىدە ئوپتىكىلىق ئەينەك ۋە يېڭى كىرىستال ماتېرىياللارنى سېتىشقا ئىختىساسلاشقان. مەھسۇلاتلىرىمىز ئوپتىكىلىق ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى، ئىستېمال ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ۋە ھەربىي ساھەلەرگە مۇلازىمەت قىلىدۇ. بىز ياقۇت ئوپتىكىلىق زاپچاسلار، يانفون لىنزىسى قاپقىقى، كېرامىكا، LT، كرېمنىي كاربىد SIC، كۋارتس ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كىرىستال ۋاپشىلارنى تەمىنلەيمىز. ماھارەتلىك تەجرىبىمىز ۋە ئەڭ يېڭى ئۈسكۈنىلەر بىلەن، بىز ئۆلچەملىك بولمىغان مەھسۇلات پىششىقلاش ساھەسىدە ئۈستۈنلۈكنى قولغا كەلتۈرىمىز، ئالدىنقى قاتاردىكى ئوپتىكىلىق ئېلېكترون ماتېرىياللىرى يۇقىرى تېخنىكىلىق كارخانا بولۇشنى مەقسەت قىلىمىز.









