SiC كېرامىك چاك تەخسىسى كېرامىك سۈمۈرۈش قاچىلىرىنى ئېنىقلىق بىلەن پىششىقلاپ ئىشلەش خاسلاشتۇرۇلغان
ماتېرىيال ئالاھىدىلىكلىرى:
1. يۇقىرى قاتتىقلىق: كرېمنىي كاربىدنىڭ موھس قاتتىقلىقى 9.2-9.5 بولۇپ، ئالماستىن قالسىلا ئىككىنچى ئورۇندا تۇرىدۇ، ئۇپراشقا چىدامچانلىقى كۈچلۈك.
2. يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى: كرېمنىي كاربىدنىڭ ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى 120-200 W/m·K غىچە بولۇپ، ئىسسىقلىقنى تېز تارقىتىۋېتىدۇ ھەمدە يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق مۇھىتقا ماس كېلىدۇ.
3. تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى: كرېمنىي كاربىدنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى تۆۋەن (4.0-4.5×10⁻⁶/K)، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا يەنىلا ئۆلچەملىك مۇقىملىقىنى ساقلىيالايدۇ.
4. خىمىيىلىك مۇقىملىقى: كرېمنىي كاربىد كىسلاتاسى ۋە ئىشقارنىڭ چىرىشچانلىقىغا چىداملىق، خىمىيىلىك چىرىش مۇھىتىدا ئىشلىتىشكە ماس كېلىدۇ.
5. يۇقىرى مېخانىكىلىق كۈچ: كرېمنىي كاربىدى يۇقىرى ئېگىلىش كۈچى ۋە سىقىلىش كۈچىگە ئىگە بولۇپ، چوڭ مېخانىكىلىق بېسىمغا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ.
ئالاھىدىلىكلىرى:
1. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدە، ئىنتايىن نېپىز ۋاپېرلارنى ۋاكۇئۇم سۈمۈرۈش قاچىسىغا قويۇش كېرەك، ۋاكۇئۇم سۈمۈرۈش ۋاپېرلارنى بېكىتىشكە ئىشلىتىلىدۇ، ۋاپېرلاردا موملاش، نېپىزلىتىش، موملاش، تازىلاش ۋە كېسىش جەريانلىرى ئېلىپ بېرىلىدۇ.
2. كرېمنىي كاربىد سۈمۈرگۈچنىڭ ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ياخشى بولۇپ، موملاش ۋە موملاش ۋاقتىنى ئۈنۈملۈك قىسقارتىپ، ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى يۇقىرى كۆتۈرەلەيدۇ.
3. كرېمنىي كاربىد ۋاكۇئۇم سۈمۈرگۈچنىڭ كىسلاتا ۋە ئىشقارنىڭ چىرىش قارشىلىقىمۇ ياخشى.
4. ئەنئەنىۋى كورۇند توشۇغۇچى تاختىسى بىلەن سېلىشتۇرغاندا، يۈكلەش ۋە چۈشۈرۈش ۋاقتىنى قىسقارتىپ، قىزىتىش ۋە سوۋۇتۇش ئۈنۈمىنى ئاشۇرىدۇ؛ شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، ئۈستۈنكى ۋە ئاستىنقى تاختىلار ئارىسىدىكى ئۇپراشنى ئازايتىپ، تەكشىلىكنىڭ ئېنىقلىقىنى ساقلاپ، خىزمەت مۇددىتىنى تەخمىنەن %40 ئۇزارتالايدۇ.
5. ماتېرىيال نىسبىتى كىچىك، ئېغىرلىقى يېنىك. مەشغۇلاتچىلارنىڭ پالتىلارنى كۆتۈرۈشى ئاسان، توشۇش قىيىنچىلىقى سەۋەبىدىن كېلىپ چىققان سوقۇلۇش زىيىنىنىڭ خەۋپىنى تەخمىنەن %20 تۆۋەنلىتىدۇ.
6. چوڭلۇقى: ئەڭ چوڭ دىئامېتىرى 640 مىللىمېتىر؛ تۈزلۈكلىكى: 3um ياكى ئۇنىڭدىن كىچىك
قوللىنىش دائىرىسى:
1. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش
● ۋافېر پىششىقلاش:
فوتولىتوگرافىيە، ئويۇش، نېپىز پەردە قويۇش ۋە باشقا جەريانلاردا لامپىنى بېكىتىش ئۈچۈن، يۇقىرى ئېنىقلىق ۋە جەرياننىڭ مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. ئۇنىڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە چىرىشكە چىدامچانلىقى قاتتىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىغا ماس كېلىدۇ.
●ئېپىتاكسىيال ئۆسۈش:
SiC ياكى GaN ئېپىتاكسىيال ئۆسۈشتە، ۋافلىلارنى قىزىتىش ۋە بېكىتىش ئۈچۈن توشۇغۇچى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا تېمپېراتۇرا بىردەكلىكى ۋە كىرىستال سۈپىتىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ، ئۈسكۈنە ئىقتىدارىنى ياخشىلايدۇ.
2. فوتوئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى
●LED ئىشلەپچىقىرىش:
سافرىت ياكى SiC ئاساسىي ماتېرىيالىنى بېكىتىشتە، ھەمدە MOCVD جەريانىدىكى ئىسسىتىش توشۇغۇچىسى سۈپىتىدە، ئېپىتاكسىيە ئۆسۈشىنىڭ بىردەكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىش، LED يورۇقلۇق ئۈنۈمى ۋە سۈپىتىنى ياخشىلاش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ.
●لازېر دىئودى:
يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئۈسكۈنە سۈپىتىدە، لازېر دىئودىنىڭ چىقىرىش قۇۋۋىتى ۋە ئىشەنچلىكلىكىنى ئاشۇرۇش ئۈچۈن، ئاساسىي قاتلامنى مۇقىملاشتۇرۇش ۋە قىزىتىش ئارقىلىق جەريان تېمپېراتۇرىسىنىڭ مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
3. ئېنىقلىق بىلەن پىششىقلاپ ئىشلەش
●ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنى بىر تەرەپ قىلىش:
ئۇ ئوپتىكىلىق لىنزا ۋە سۈزگۈچ قاتارلىق ئېنىقلىقتىكى زاپچاسلارنى بېكىتىشتە ئىشلىتىلىدۇ، بۇ بىر تەرەپ قىلىش جەريانىدا يۇقىرى ئېنىقلىق ۋە تۆۋەن بۇلغىنىشنى كاپالەتلەندۈرىدۇ، ھەمدە يۇقىرى كۈچلۈك بىر تەرەپ قىلىشقا ماس كېلىدۇ.
● كېرامىكا پىششىقلاپ ئىشلەش:
يۇقىرى مۇقىملىق ئۈسكۈنىسى سۈپىتىدە، ئۇ كېرامىكا ماتېرىياللىرىنى ئېنىق پىششىقلاپ ئىشلەشكە ماس كېلىدۇ، يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە چىرىشچان مۇھىتتا پىششىقلاپ ئىشلەشنىڭ توغرىلىقى ۋە مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
4. ئىلمىي تەجرىبەلەر
●يۇقىرى تېمپېراتۇرا تەجرىبىسى:
يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق مۇھىتتا ئۈلگە بېكىتىش ئۈسكۈنىسى بولۇش سۈپىتى بىلەن، تېمپېراتۇرىنىڭ بىردەكلىكى ۋە ئۈلگە مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن 1600 سېلسىيە گرادۇستىن يۇقىرى تېمپېراتۇرا سىنىقىنى قوللايدۇ.
●ۋاكۇم سىنىقى:
ۋاكۇئۇم مۇھىتىدا ئۈلگە بېكىتىش ۋە قىزىتىش توشۇغۇچى سۈپىتىدە، سىناقنىڭ توغرىلىقى ۋە تەكرارلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن، ۋاكۇئۇم قاپلاش ۋە ئىسسىقلىق بىلەن بىر تەرەپ قىلىشقا ماس كېلىدۇ.
تېخنىكىلىق ئۆلچەملەر:
| (ماددىي مۈلۈك) | (بىرلىك) | (ssic) | |
| (SiC مەزمۇنى) |
| (Wt)% | >99 |
| (ئوتتۇرىچە دان چوڭلۇقى) |
| مىكرون | 4-10 |
| (زىچلىق) |
| كىلوگرام/دم3 | >3.14 |
| (كۆرۈنۈشلۈك تۆشۈكلۈك) |
| ئاۋاز نىسبىتى %1 | <0.5 |
| (ۋىكېرس قاتتىقلىقى) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| *(ئېگىلىش كۈچى) | 20 سېلسىيە گرادۇس | MPa | 450 |
| (سىقىش كۈچى) | 20 سېلسىيە گرادۇس | MPa | 3900 |
| (ئېلاستىك مودۇل) | 20 سېلسىيە گرادۇس | GPA | 420 |
| (سىنىش چىدامچانلىقى) |
| MPa/m'% | 3.5 |
| (ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى) | 20 سېلسىيە گرادۇس | W/(m*K) | 160 |
| (قارشىلىق) | 20 سېلسىيە گرادۇس | ئوم.cm | 106-108 |
|
| a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| 0ºC | 1700-يىل |
XKH شىركىتى نەچچە يىللىق تېخنىكىلىق توپلاش ۋە كەسىپ تەجرىبىسى بىلەن، خېرىدارنىڭ ئالاھىدە ئېھتىياجىغا ئاساسەن، چاقنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى، قىزىتىش ئۇسۇلى ۋە ۋاكۇئۇم ئادسوربسىيە لايىھىسى قاتارلىق مۇھىم پارامېتىرلارنى ماسلاشتۇرالايدۇ، بۇ مەھسۇلاتنىڭ خېرىدارنىڭ جەريانىغا مۇكەممەل ماسلىشىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. SiC كرېمنىي كاربىد كېرامىكا چاقلىرى ئېسىل ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى، يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇقىملىقى ۋە خىمىيىلىك مۇقىملىقى سەۋەبىدىن ۋافېر پىششىقلاش، ئېپىتاكسىيە ئۆسۈشى ۋە باشقا مۇھىم جەريانلاردا مۇھىم زاپچاسلارغا ئايلاندى. بولۇپمۇ SiC ۋە GaN قاتارلىق ئۈچىنچى ئەۋلاد يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللارنى ئىشلەپچىقىرىشتا، كرېمنىي كاربىد كېرامىكا چاقلىرىغا بولغان ئېھتىياج داۋاملىق ئېشىۋاتىدۇ. كەلگۈسىدە، 5G، ئېلېكترلىك ئاپتوموبىللار، سۈنئىي ئەقىل ۋە باشقا تېخنىكىلارنىڭ تېز تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ، كرېمنىي كاربىد كېرامىكا چاقلىرىنىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدە قوللىنىلىش ئىستىقبالى تېخىمۇ كەڭ بولىدۇ.
تەپسىلىي دىئاگرامما
