SiC ساپال ساپال قول / ئاخىرقى ئۈنۈم - يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشنىڭ ئىلغار ئىنچىكە بىر تەرەپ قىلىش
تەپسىلىي دىئاگرامما


مەھسۇلات ئومۇمىي ئەھۋالى

SiC ساپال ساپال قولى كۆپىنچە ساپال ئاخىرلاشتۇرغۇچ دەپمۇ ئاتىلىدۇ ، ئۇ يۇقىرى تېخنىكىلىق كەسىپلەردە ، بولۇپمۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە يورۇقلۇق ۋولت ئىشلەپچىقىرىش دائىرىسىدە مەخسۇس ۋافېر توشۇش ، توغرىلاش ۋە ئورۇن بەلگىلەش ئۈچۈن ياسالغان يۇقىرى ئىقتىدارلىق ئېنىقلىق بىر تەرەپ قىلىش زاپچىسى. يۇقىرى ساپلىقتىكى كرېمنىي كاربون ساپال بۇيۇملىرىنى ئىشلىتىپ ياسالغان ، بۇ زاپچاس ئالاھىدە مېخانىك كۈچ ، دەرىجىدىن تاشقىرى تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىش ۋە ئىسسىقلىق سوقۇشى ۋە چىرىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى بىرلەشتۈرگەن.
ئاليۇمىن ، داتلاشماس پولات ، ھەتتا كۋارتسدىن ياسالغان ئەنئەنىۋى ئاخىرقى ئۈنۈمگە ئوخشىمايدىغىنى ، SiC ساپال ئاخىرلاشتۇرغۇچ ۋاكۇئۇم ئۆي ، تازىلىق ئۆيى ۋە قاتتىق پىششىقلاپ ئىشلەش مۇھىتىدا تەڭداشسىز ئىقتىدار بىلەن تەمىنلەيدۇ ، ئۇلارنى كېيىنكى ئەۋلاد ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش ماشىنا ئادەملىرىنىڭ مۇھىم بىر قىسمى قىلىدۇ. بۇلغىنىشسىز ئىشلەپچىقىرىشقا بولغان ئېھتىياجنىڭ ئېشىشى ۋە ئۆزەك ياساشتا چىدامچانلىقى تېخىمۇ كۈچلۈك بولغاچقا ، ساپال ئاخىرلاشتۇرغۇچ ئىشلىتىش تېز سۈرئەتتە كەسىپ ئۆلچىمىگە ئايلىنىۋاتىدۇ.
ياسىمىچىلىق پرىنسىپى
The fabrication ofSiC ساپال ئاخىرلاشتۇرغۇچئىقتىدار ۋە چىدامچانلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدىغان بىر قاتار يۇقىرى ئېنىقلىق ، يۇقىرى ساپلىق جەريانلىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. ئادەتتە ئىككى ئاساسلىق جەريان ئىشلىتىلىدۇ:
رېئاكسىيە باغلانغان كرېمنىي كاربون (RB-SiC)
بۇ جەرياندا ، كرېمنىي كاربون پاراشوكى ۋە باغلىغۇچتىن ياسالغان ئالدىن ياسالغان يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا (~ 1500 سېلسىيە گرادۇس) ئېرىتىلگەن كرېمنىيغا سىڭىپ كىرىدۇ ، ئۇ قالدۇق كاربون بىلەن ئىنكاس قايتۇرىدۇ ، قويۇق ، قاتتىق بولغان SiC-Si بىرىكمىسىنى ھاسىل قىلىدۇ. بۇ ئۇسۇل ئېسىل ئۆلچەملىك كونترول بىلەن تەمىنلەيدۇ ھەمدە كەڭ كۆلەمدە ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن تېجەشلىك.
بېسىمسىز سىنتسىيلىق كاربون (SSiC)
SSiC پەۋقۇلئاددە يۇقىرى ، يۇقىرى ساپلىقتىكى SiC پاراشوكىنى پەۋقۇلئاددە يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا (> 2000 ° C) خۇرۇچ ياكى باغلاش باسقۇچى ئىشلەتمەي ياسالغان. نەتىجىدە% 100 كە يېقىن زىچلىقتىكى مەھسۇلات ۋە SiC ماتېرىياللىرى ئىچىدە ئەڭ يۇقىرى مېخانىكىلىق ۋە ئىسسىقلىق خۇسۇسىيىتى بار مەھسۇلات بارلىققا كېلىدۇ. ئۇ دەرىجىدىن تاشقىرى ھالقىلىق ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش پروگراممىلىرىغا ماس كېلىدۇ.
كېيىنكى بىر تەرەپ قىلىش
-
ئېنىق CNC ماشىنىسى: يۇقىرى تەكشىلىك ۋە پاراللېللىقنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ.
-
Surface Finishing: ئالماس سىلىقلاش يەر يۈزىنىڭ يىرىكلىكىنى <0.02 µm غا تۆۋەنلىتىدۇ.
-
تەكشۈرۈش: ئوپتىكىلىق ئارىلىق ئارىلىقى ، CMM ۋە بۇزغۇنچىلىققا ئۇچرىمايدىغان سىناقلار ھەر بىر پارچە ئەسەرنى دەلىللەيدۇ.
بۇ باسقۇچلارSiC ئاخىرلاشتۇرغۇچئىزچىل ۋافېر ئورۇنلاشتۇرۇش ئېنىقلىقى ، ئېسىل تەكشىلىك ۋە ئەڭ كىچىك زەررىچە ھاسىل قىلىدۇ.
ئاساسلىق ئىقتىدارلىرى ۋە پايدىسى
Feature | چۈشەندۈرۈش |
---|---|
دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى قاتتىقلىق | Vickers نىڭ قاتتىقلىقى> 2500 HV ، ئۇپراش ۋە ئۆزەك ياساشقا قارشى تۇرىدۇ. |
تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى | CTE ~ 4.5 × 10⁻⁶ / K ، ئىسسىقلىق ۋېلىسىپىت مىنىشنىڭ ئۆلچەملىك مۇقىملىقىنى قوزغىتىدۇ. |
خىمىيىلىك ئىنېرتسىيە | HF ، HCl ، پلازما گازى ۋە باشقا چىرىتكۈچى دورىلارغا چىداملىق. |
مۇنەۋۋەر ئىسسىقلىق زەربىسىگە قارشى تۇرۇش | ۋاكۇئۇم ۋە ئوچاق سىستېمىسىدا تېز قىزىتىش / سوۋۇتۇشقا ماس كېلىدۇ. |
كۈچلۈكلىكى ۋە كۈچلۈكلىكى | ئۇزۇن كاناي شەكىللىك چاتما قوراللارنى ياندۇرماي قوللايدۇ. |
Low Outgassing | دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ۋاكۇئۇم (UHV) مۇھىتىغا ماس كېلىدۇ. |
ISO 1-دەرىجىلىك تازىلىق ئۆيى تەييار | زاپچاسسىز مەشغۇلات تېخىمۇ مۇكەممەللىككە كاپالەتلىك قىلىدۇ. |
قوللىنىشچان پروگراممىلار
SiC ساپال ساپال قول / ئاخىرقى ئۈنۈم ئۈنۈمى ئىنتايىن ئېنىق ، پاكىزلىق ۋە خىمىيىلىك قارشىلىق تەلەپ قىلىدىغان كەسىپلەردە كەڭ قوللىنىلىدۇ. ئاساسلىق قوللىنىشچان سىنارىيەلەر تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش
-
چۆكمە ھالەتتە (CVD ، PVD) ، قاسراقلىق (RIE ، DRIE) ۋە تازىلاش سىستېمىسىدا Wafer قاچىلاش / چۈشۈرۈش.
-
FOUPs ، قەغەز ۋە جەريان قوراللىرى ئارىسىدا ماشىنا ئادەم ۋافېر توشۇش.
-
ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىش ياكى ئۇلاش جەريانىدا يۇقىرى تېمپېراتۇرىنى بىر تەرەپ قىلىش.
فوتوۋولت ھۈجەيرىسى ئىشلەپچىقىرىش
-
نازۇك كرېمنىيلىق ۋافېر ياكى قۇياش ئېنېرگىيىسى تارماق لىنىيىسىنى ئاپتوماتىك لىنىيىدە نازۇك توشۇش.
تەكشى تاختاي كۆرسىتىش (FPD) سانائىتى
-
OLED / LCD ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدا چوڭ ئەينەك تاختاي ياكى ئاستىنى يۆتكەش.
بىرىكمە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ / MEMS
-
GaN ، SiC ۋە MEMS توقۇلما لىنىيىسىدە ئىشلىتىلىدۇ ، بۇ يەردە بۇلغىنىشنى كونترول قىلىش ۋە ئورۇن بەلگىلەش ئېنىقلىقى ئىنتايىن مۇھىم.
ئۇنىڭ ئاخىرقى ئۈنۈم رولى سەزگۈر مەشغۇلات جەريانىدا نۇقسانسىز ، مۇقىم بىر تەرەپ قىلىشقا كاپالەتلىك قىلىشتا ئىنتايىن مۇھىم.
خاسلاشتۇرۇش ئىقتىدارى
ئوخشىمىغان ئۈسكۈنىلەر ۋە جەريان تەلىپىگە ماسلىشىش ئۈچۈن كەڭ كۆلەمدە خاسلاشتۇرۇش بىلەن تەمىنلەيمىز:
-
Fork Design: ئىككى يۈزلۈك ، كۆپ بارماق ياكى بۆلۈنگەن دەرىجىدىكى ئورۇنلاشتۇرۇش.
-
Wafer Size ماسلىشىشچانلىقى: 2 دىن 12 گىچە »ۋافېر.
-
Interfaces: OEM ماشىنا ئادەم قوراللىرى بىلەن ماسلىشالايدۇ.
-
قېلىنلىق ۋە يەر يۈزىگە بەرداشلىق بېرىش: مىكرو دەرىجىدىكى تەكشىلىك ۋە قىر يۇمىلاق ئۈستەل بار.
-
سىيرىلىشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارلىرى: بىخەتەر ۋافېرنى تۇتۇش ئۈچۈن ئىختىيارى يۈز شەكلى ياكى سىر.
ھەر بىرىساپال ئاخىرلاشتۇرغۇچخېرىدارلار بىلەن بىرلىشىپ لايىھەلەنگەن بولۇپ ، قورال قوراللىرىنىڭ ئۆزگىرىشى بىلەن ئېنىق ماسلىشىشقا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
دائىم سورايدىغان سوئاللار (سوئال)
1-سوئال: ئاخىرقى ئۈنۈم قوللىنىشچان پروگراممىسى ئۈچۈن SiC كۋارتستىن قانداق ياخشى؟
A1:كۋارتس ئادەتتە ئۇنىڭ ساپلىقى ئۈچۈن ئىشلىتىلگەن بولسىمۇ ، ئۇنىڭدا مېخانىكىلىق قاتتىقلىق كەمچىل بولۇپ ، يۈك ياكى تېمپېراتۇرا زەربىسىدە ئاسانلا بۇزۇلۇپ كېتىدۇ. SiC ئەۋزەل كۈچ ، ئۇپراشقا چىداملىق ۋە ئىسسىقلىق مۇقىملىقى بىلەن تەمىنلەيدۇ ، چۈشۈش ۋاقتى ۋە ۋافېرنىڭ بۇزۇلۇش خەۋپىنى كۆرۈنەرلىك تۆۋەنلىتىدۇ.
2-سوئال: بۇ ساپال چاتما قول بارلىق ماشىنا ئادەم ۋافېر تۇتقۇچلارغا ماس كېلەمدۇ؟
A2:شۇنداق ، بىزنىڭ ساپال ئاخىرقى ئۈنۈملىگۈچىلىرىمىز كۆپىنچە ئاساسلىق ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش سىستېمىسىغا ماسلىشالايدۇ ھەمدە ئېنىق ماشىنا سىزىلغان ئالاھىدە ماشىنا ئادەم مودېللىرىڭىزغا ماسلىشالايدۇ.
3-سوئال: ئۇ 300 مىللىمېتىرلىق ۋافېرنى ئۇرماي بىر تەرەپ قىلالامدۇ؟
A3:ئەلۋەتتە. SiC نىڭ قاتتىقلىقى ھەتتا نېپىز ، ئۇزۇن چاتما قوراللارنىڭ ھەرىكەت جەريانىدا ساڭگىلاپ كەتمەي ياكى ئېغىپ كەتمەي 300 مىللىمېتىرلىق ۋافېرنى بىخەتەر تۇتالايدۇ.
4-سوئال: SiC ساپال ئاخىرلاشتۇرغۇچنىڭ تىپىك مۇلازىمەت ئۆمرى نېمە؟
A4:مۇۋاپىق ئىشلىتىش ئارقىلىق ، ئىسسىقلىق ۋە مېخانىكىلىق بېسىمغا قارشى تۇرۇشچانلىقى كۈچلۈك بولغانلىقتىن ، SiC ئاخىرقى ئۈنۈملىگۈچى ئەنئەنىۋى كۋارتس ياكى ئاليۇمىن مودېللارغا قارىغاندا 5 ~ 10 ھەسسە ئۇزۇن بولىدۇ.
5-سوئال: ئالماشتۇرۇش ياكى تېز سۈرئەتتە تەقلىد قىلىش مۇلازىمىتى بىلەن تەمىنلەمسىز؟
A5:شۇنداق ، بىز تېز ئەۋرىشكە ئىشلەپچىقىرىشنى قوللايمىز ھەمدە CAD سىزمىلىرى ياكى ھازىرقى ئۈسكۈنىلەرنىڭ تەتۈر ماتورلۇق زاپچاسلىرى ئاساسىدا ئالماشتۇرۇش مۇلازىمىتى بىلەن تەمىنلەيمىز.
بىز ھەققىدە
XKH ئالاھىدە ئوپتىكىلىق ئەينەك ۋە يېڭى خرۇستال ماتېرىياللارنى يۇقىرى تېخنىكىلىق ئېچىش ، ئىشلەپچىقىرىش ۋە سېتىش بىلەن شۇغۇللىنىدۇ. مەھسۇلاتلىرىمىز ئوپتىكىلىق ئېلېكترون ، ئىستېمال ئېلېكترون ۋە ھەربىيلەرگە مۇلازىمەت قىلىدۇ. كۆك ياقۇت ئوپتىكىلىق زاپچاسلىرى ، يانفون لىنزىسى قاپقىقى ، ساپال بۇيۇملار ، LT ، كرېمنىي كاربون SIC ، Quartz ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كىرىستال ۋافېر بىلەن تەمىنلەيمىز. ماھارەتلىك ماھارەت ۋە ئالدىنقى قاتاردىكى ئۈسكۈنىلەر بىلەن بىز ئالدىنقى قاتاردىكى ئوپتىكىلىق ئېلېكترون ماتېرىياللىرى يۇقىرى تېخنىكىلىق كارخانا بولۇشنى نىشان قىلىپ ، ئۆلچەمسىز مەھسۇلات پىششىقلاپ ئىشلەشتە مۇنەۋۋەر.
