يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىداملىق Wafer توشۇغۇچى ئۈچۈن SiC ساپال تەخسە
كرېمنىي كاربىد ساپال تەخسى (SiC Tray)
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش ۋە LED ئىشلەپچىقىرىش قاتارلىق ئىلغار سانائەت قوللىنىشچان پروگراممىلىرى ئۈچۈن ياسالغان كرېمنىي كاربون (SiC) ماتېرىيالىنى ئاساس قىلغان يۇقىرى ئىقتىدارلىق ساپال تەركىب. ئۇنىڭ يادرولۇق ئىقتىدارلىرى ۋافېر توشۇغۇچى ، قىرىش جەريانى سۇپىسى ياكى يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق جەرياننى قوللاش ، ئالاھىدە ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىداملىق ۋە خىمىيىلىك مۇقىملىقتىن پايدىلىنىپ ، جەرياننىڭ بىردەكلىكى ۋە مەھسۇلاتنىڭ مەھسۇلات مىقدارىغا كاپالەتلىك قىلىشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
ئاچقۇچلۇق ئىقتىدارلىرى
1. Thermal Performance
- يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى: 140-300 W / m · K ، ئەنئەنىۋى گرافت (85 W / m · K) دىن كۆرۈنەرلىك ئېشىپ ، ئىسسىقلىقنىڭ تېز تارقىلىشىنى ئىلگىرى سۈرۈپ ، ئىسسىقلىق بېسىمىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
- تۆۋەن تېمپېراتۇرىنى كېڭەيتىش كوئېففىتسېنتى: 4.0 × 10⁻⁶ / ℃ (25-1000 ℃) ، كرېمنىي (2.6 × 10⁻⁶ / closely) بىلەن زىچ ماسلىشىپ ، ئىسسىقلىق ئۆزگىرىشى خەۋىپىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈردى.
2. مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەت
- يۇقىرى قۇۋۋەت: ئەۋرىشىم قۇۋۋىتى 20320 MPa (20 ℃) ، پىرىسلاش ۋە تەسىرگە چىداملىق.
- قاتتىقلىق دەرىجىسى: موخنىڭ قاتتىقلىقى 9.5 بولۇپ ، ئالماستىن قالسىلا ئىككىنچى ئورۇندا تۇرىدۇ.
3. خىمىيىلىك مۇقىملىق
- چىرىشكە چىداملىق: كۈچلۈك كىسلاتاغا چىداملىق (مەسىلەن ، HF ، H₂SO₄) ، جەريان جەريانى مۇھىتىغا ماس كېلىدۇ.
- ماگنىتسىز: ئىچكى ماگنىتلىق سەزگۈرلۈك <1 × 10⁻⁶ emu / g ، ئېنىق ئەسۋابلارغا ئارىلىشىشتىن ساقلىنىدۇ.
4. ھەددىدىن زىيادە مۇھىتقا بەرداشلىق بېرىش
- يۇقىرى تېمپېراتۇرىنىڭ چىدامچانلىقى: ئۇزۇن مۇددەتلىك مەشغۇلات تېمپېراتۇرىسى 1600–1900 to; قىسقا مۇددەتلىك قارشىلىق كۈچى 2200 up (ئوكسىگېنسىز مۇھىت).
- ئىسسىقلىق سوقۇشىغا قارشى تۇرۇش: تۇيۇقسىز تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشىگە (ΔT> 1000 ℃) يېرىلىپ كەتمەيدۇ.
قوللىنىشچان پروگراممىلار
| ئىلتىماس مەيدانى | كونكرېت سىنارىيە | تېخنىكىلىق قىممەت |
| يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش | Wafer etching (ICP) ، نېپىز پەردە چۆكمىسى (MOCVD) ، CMP سىلىقلاش | يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى بىردەك تېمپېراتۇرا مەيدانىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ۋافېرنىڭ بېتىنى كىچىكلىتىدۇ. |
| LED ئىشلەپچىقىرىش | Epitaxial نىڭ ئۆسۈشى (مەسىلەن ، GaN) ، ۋافېر بوياش ، ئورالما | كۆپ خىل كەمتۈكلۈكنى تۈگىتىپ ، LED يورۇقلۇق ئۈنۈمى ۋە ئۆمرىنى ئۆستۈرىدۇ. |
| فوتوۋولت سانائىتى | كرېمنىيلىق ۋافېرلىق ئوچاق ، PECVD ئۈسكۈنىلىرى قوللايدۇ | يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە ئىسسىقلىق زەربىسىگە چىداملىق ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئۆمرىنى ئۇزارتىدۇ. |
| لازېر ۋە ئوپتىكا | يۇقىرى قۇۋۋەتلىك لازېرلىق سوۋۇتۇش سۇيۇقلۇقى ، ئوپتىكىلىق سىستېما قوللايدۇ | يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ئىسسىقلىقنىڭ تېز تارقىلىشىنى ئىلگىرى سۈرۈپ ، ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنى مۇقىملاشتۇرىدۇ. |
| ئانالىز ئەسۋابلىرى | TGA / DSC ئۈلگە ئىگىلىرى | تۆۋەن ئىسسىقلىق سىغىمى ۋە تېز ئىسسىقلىق ئىنكاسى ئۆلچەشنىڭ توغرىلىقىنى ئۆستۈرىدۇ. |
ئارتۇقچىلىقلىرى
- ئۇنىۋېرسال ئىقتىدار: ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ، كۈچلۈكلىكى ۋە چىرىشكە چىدامچانلىقى ئاليۇمىن ۋە كرېمنىي نىترىد ساپال بۇيۇملىرىدىن خېلىلا ئېشىپ ، ئىنتايىن مەشغۇلات ئېھتىياجىنى قاندۇردى.
- يىنىك لايىھىلەش: زىچلىقى 3.1-3.2 g / cm³ (پولاتنىڭ% 40) ، ئېنىرتسىيە يۈكىنى ئازايتىپ ، ھەرىكەت ئېنىقلىقىنى ئاشۇرىدۇ.
- ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈش ۋە ئىشەنچلىك بولۇش: مۇلازىمەت مۇددىتى 1600 at 5 يىلدىن ئېشىپ ، ئىشتىن چۈشۈش ۋاقتىنى قىسقارتىپ ، تىجارەت تەننەرخىنى% 30 تۆۋەنلىتىدۇ.
- خاسلاشتۇرۇش: مۇرەككەپ قوللىنىشچان گېئومېتىرىيەنى قوللايدۇ.
تېخنىكىلىق ئۆلچىمى
| پارامېتىر تۈرى | كۆرسەتكۈچ |
| Physical Properties | |
| زىچلىقى | ≥3.10 g / cm³ |
| ئەۋرىشىم كۈچ (20 ℃) | 320–410 MPa |
| ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى (20 ℃) | 140–300 W / (m · K) |
| ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى (25-1000 ℃) | 4.0 × 10⁻⁶ / ℃ |
| خىمىيىلىك خۇسۇسىيەت | |
| كىسلاتاغا قارشى تۇرۇش (HF / H₂SO₄) | 24h سۇغا چۆمۈلگەندىن كېيىن چىرىش بولمايدۇ |
| ماشىنىنىڭ ئېنىقلىقى | |
| تەكشىلىك | ≤15 mm (300 × 300 mm) |
| Surface Roughness (Ra) | ≤0.4 mm |
XKH نىڭ مۇلازىمىتى
XKH ئىختىيارى تەرەققىيات ، ئىنچىكە پىششىقلاپ ئىشلەش ۋە سۈپەتنى كونترول قىلىشنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ئۇنىۋېرسال سانائەت ھەل قىلىش چارىسى بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئىختىيارىي تەرەققىيات ئۈچۈن ، ئۇ يۇقىرى ساپلىق (>% 99.999) ۋە يۇمىلاق (% 30-% 50 لىك جاراڭلىق) ماتېرىيال ھەل قىلىش لايىھىسى بىلەن تەمىنلەيدۇ ، 3D مودېل ۋە تەقلىد قىلىش ئارقىلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئالەم قاتنىشى قاتارلىق قوللىنىشچان پروگراممىلارنىڭ مۇرەككەپ گېئومېتىرىيىسىنى ئەلالاشتۇرىدۇ. ئىنچىكە پىششىقلاپ ئىشلەش ئاددىيلاشتۇرۇلغان جەريانغا ئەگىشىدۇ: پاراشوك پىششىقلاپ ئىشلەش → ئىزوتاتىك / قۇرۇق بېسىش → 2200 ° C سىنتلاش → CNC / ئالماس ئۇۋىلاش → تەكشۈرۈش ، نانومېتىر سەۋىيىسىدىكى سىلىقلاش ۋە ± 0.01 مىللىمېتىرلىق كەڭ قورساقلىق. سۈپەت كونترول قىلىش تولۇق جەريان سىنىقى (XRD تەركىبى ، SEM مىكرو قۇرۇلمىسى ، 3 نومۇرلۇق ئەگمە) ۋە تېخنىكىلىق قوللاش (جەرياننى ئەلالاشتۇرۇش ، 24/7 مەسلىھەت سوراش ، 48 سائەتلىك ئەۋرىشكە يەتكۈزۈش) نى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، ئىلغار سانائەت ئېھتىياجى ئۈچۈن ئىشەنچلىك ، يۇقىرى ئىقتىدارلىق زاپچاسلار بىلەن تەمىنلەيدۇ.
دائىم سورايدىغان سوئاللار (سوئال)
1-سوئال: قايسى كەسىپلەر كرېمنىي كاربون ساپال تەخسە ئىشلىتىدۇ؟
جاۋاب: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش (ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش) ، قۇياش ئېنېرگىيىسى (PECVD جەريانلىرى) ، داۋالاش ئۈسكۈنىلىرى (MRI زاپچاسلىرى) ۋە ئاۋىئاتسىيە-ئالەم (يۇقىرى تېمپېراتۇرا زاپچاسلىرى) قاتارلىقلاردا كەڭ كۆلەمدە ئىشلىتىلىدۇ.
2. سوئال: كرېمنىي كاربون قانداق قىلىپ كۋارتس / ئەينەك تەخسىدىن ئېشىپ كېتىدۇ؟
جاۋاب: تېخىمۇ يۇقىرى ئىسسىقلىق زەربىسىگە قارشى تۇرۇش كۈچى (1800 سېلسىيە گرادۇس بىلەن كۋارتسنىڭ 1100 سېلسىيە گرادۇسقىچە) ، ماگنىتلىق ئارىلىشىش نۆل ۋە ئۆمرى ئۇزۇن (5+ يىل بىلەن كۋارتسنىڭ 6-12 ئاي).
3. سوئال: كرېمنىي كاربون تەخسىسى كىسلاتالىق مۇھىتنى بىر تەرەپ قىلالامدۇ؟
جاۋاب: ھەئە. HF ، H2SO4 ۋە NaOH غا چىداملىق بولۇپ ، يىلىغا 0.01mm چىرىشتىن ساقلىنىپ ، خىمىيىلىك چىرىش ۋە ۋافېر تازىلاشقا ماس كېلىدۇ.
4-سوئال: كرېمنىيلىق كاربون تەخسى ئاپتوماتلاشتۇرۇشقا ماس كېلەمدۇ؟
جاۋاب: ھەئە. ۋاكۇئۇملۇق پىكاپ ۋە ماشىنا ئادەم بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن ، يەر يۈزى تەكشىلىكى <0.01mm بولۇپ ، ئاپتوماتىك فابىلاردا زەررىچىلەرنىڭ بۇلغىنىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
5. سوئال: ئەنئەنىۋى ماتېرىياللار بىلەن تەننەرخنى سېلىشتۇرۇش نېمە؟
جاۋاب: ئالدىنقى قاتاردىكى تەننەرخ (3-5x كۋارتس) ، ئەمما ئۆمرىنىڭ ئۇزارتىلىشى ، چۈشۈش ۋاقتىنىڭ تۆۋەنلىشى ۋە يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقىدىن ئېنېرگىيە تېجەش سەۋەبىدىن TCO نىڭ% 30-% 50 تۆۋەن بولىدۇ.
