SiC substrate 3inch 350um قېلىنلىقى HPSI تىپى Prime Grade Dummy دەرىجىسى
خاسلىقى
پارامېتىر | ئىشلەپچىقىرىش دەرىجىسى | Research Grade | Dummy Grade | بىرلىك |
Grade | ئىشلەپچىقىرىش دەرىجىسى | Research Grade | Dummy Grade | |
دىئامېتىرى | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | mm |
قېلىنلىق | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
Wafer Orientation | ئوق ئۈستىدە: <0001> ± 0.5 ° | ئوق ئۈستىدە: <0001> ± 2.0 ° | ئوق ئۈستىدە: <0001> ± 2.0 ° | ئۇنۋان |
Micropipe Density (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm - 2 ^ -2−2 |
ئېلېكتر قارشىلىق كۈچى | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω · cm |
Dopant | Undoped | Undoped | Undoped | |
دەسلەپكى تەكشى يۆنىلىش | {1-100} ± 5.0 ° | {1-100} ± 5.0 ° | {1-100} ± 5.0 ° | ئۇنۋان |
دەسلەپكى تەكشىلىك ئۇزۇنلۇقى | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | mm |
ئىككىلەمچى تەكشى ئۇزۇنلۇق | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
ئىككىلەمچى تۈز يۆنىلىش | 90 ° CW دەسلەپكى تەكشىلىكتىن ± 5.0 ° | 90 ° CW دەسلەپكى تەكشىلىكتىن ± 5.0 ° | 90 ° CW دەسلەپكى تەكشىلىكتىن ± 5.0 ° | ئۇنۋان |
Edge Exclusion | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV / TTV / Bow / Warp | 3/10 / ± 30/40 | 3/10 / ± 30/40 | 5/15 / ± 40/45 | µm |
Surface Roughness | سى يۈزى: CMP ، C يۈزى: سىلىقلانغان | سى يۈزى: CMP ، C يۈزى: سىلىقلانغان | سى يۈزى: CMP ، C يۈزى: سىلىقلانغان | |
يېرىقلار (يۇقىرى زىچلىقتىكى نۇر) | ياق | ياق | ياق | |
Hex Plates (يۇقىرى زىچلىقتىكى نۇر) | ياق | ياق | جۇغلانما رايونى% 10 | % |
كۆپ ئىقتىدارلىق رايونلار (يۇقىرى زىچلىقتىكى نۇر) | جۇغلانما رايونى% 5 | جۇغلانما رايونى% 20 | جۇغلانما رايونى% 30 | % |
سىزىلغان (يۇقىرى زىچلىقتىكى نۇر) | ≤ 5 سىزىلغان ، جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤ 150 | ≤ 10 سىزىلغان ، ئومۇمىي ئۇزۇنلۇقى ≤ 200 | ≤ 10 سىزىلغان ، ئومۇمىي ئۇزۇنلۇقى ≤ 200 | mm |
Edge Chipping | ھېچقايسىسى ≥ 0.5 مىللىمېتىر كەڭلىك / چوڭقۇرلۇق | 2 رۇخسەت قىلىنغان ≤ 1 مىللىمېتىر كەڭلىك / چوڭقۇرلۇق | 5 رۇخسەت قىلىنغان ≤ 5 مىللىمېتىر كەڭلىك / چوڭقۇرلۇق | mm |
Surface بۇلغىنىش | ياق | ياق | ياق |
قوللىنىشچان پروگراممىلار
1. يۇقىرى قۇۋۋەتلىك ئېلېكترون
SiC ۋافېرنىڭ ئەۋزەل ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە كەڭ بەلۋاغ ئۇلارنى يۇقىرى قۇۋۋەتلىك ، يۇقىرى چاستوتىلىق ئۈسكۈنىلەرگە ماسلاشتۇرىدۇ:
Power MOSFETs ۋە IGBTs توكقا ئايلاندۇرۇش ئۈچۈن.
● ئىلغار ئېلېكتر ماتورلۇق توك سىستېمىسى ، تەتۈر توك قاچىلىغۇچ ۋە توك قاچىلىغۇچنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
● ئەقلىي ئىقتىدارلىق تور ئۇل ئەسلىھەلىرى ۋە قايتا ھاسىل بولىدىغان ئېنېرگىيە سىستېمىسى.
2. RF ۋە Microwave سىستېمىسى
SiC تارماق لىنىيىسى يۇقىرى چاستوتىلىق RF ۋە مىكرو دولقۇنلۇق پروگراممىلارنى ئەڭ تۆۋەن سىگنال يوقىتىدۇ.
● تېلېگراف ۋە سۈنئىي ھەمراھ سىستېمىسى.
Aer ئالەم بوشلۇقى رادار سىستېمىسى.
5G ئىلغار 5G تور زاپچاسلىرى.
3. ئوپتىكىلىق ئېلېكترون ۋە سېنزور
SiC نىڭ ئۆزگىچە ئالاھىدىلىكلىرى ھەر خىل ئوپتىكىلىق ئېلېكترونلۇق قوللىنىشچان پروگراممىلارنى قوللايدۇ:
Environment مۇھىتنى نازارەت قىلىش ۋە سانائەت سېزىش ئۈچۈن UV تەكشۈرگۈچ.
● LED ۋە لازېرلىق قاتتىق ھالەتتىكى يورۇتۇش ۋە ئېنىق ئەسۋابلار.
ئالەم قاتنىشى ۋە ماشىنا سانائىتىنىڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق سېنزورى.
4. تەتقىقات ۋە تەرەققىيات
دەرىجىنىڭ كۆپ خىللىقى (ئىشلەپچىقىرىش ، تەتقىقات ، دۇممىي) ئىلىم-پەن ۋە سانائەتتە ئالدىنقى قاتاردىكى تەجرىبە ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئەسلى نۇسخىسىنى تەمىنلەيدۇ.
ئارتۇقچىلىقى
● ئىشەنچلىك:دەرىجىدىكى قارشىلىق ۋە مۇقىملىق.
● Customization:ئوخشىمىغان ئېھتىياجغا ماس كېلىدىغان يۆنىلىش ۋە قېلىنلىق.
● يۇقىرى ساپلىق:يېپىلمىغان تەركىبلەر ئەڭ ئاز نىجاسەتكە مۇناسىۋەتلىك ئۆزگىرىشلەرگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
● Scalability:ئاممىۋى ئىشلەپچىقىرىش ۋە تەجرىبە تەتقىقاتىنىڭ تەلىپىگە ماس كېلىدۇ.
3 دىيۇملۇق يۇقىرى ساپلىقتىكى SiC ۋافېر يۇقىرى ئىقتىدارلىق ئۈسكۈنىلەر ۋە يېڭىلىق يارىتىشچان تېخنىكىلىق ئىلگىرىلەشلەرنىڭ دەرۋازىسى. سۈرۈشتۈرۈش ۋە تەپسىلىي چۈشەندۈرۈش ئۈچۈن بۈگۈن بىز بىلەن ئالاقىلىشىڭ.
خۇلاسە
3 دىيۇملۇق يۇقىرى ساپلىق كرېمنىي كاربون (SiC) Wafers ئىشلەپچىقىرىش ، تەتقىقات ۋە Dummy Grades دا بار ، يۇقىرى قۇۋۋەتلىك ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ، RF / مىكرو دولقۇنلۇق سىستېما ، ئوپتىكىلىق ئېلېكترون ۋە ئىلغار تەتقىق قىلىپ ئېچىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن ئالىي دەرىجىلىك تارماق. بۇ ۋافېرلاردا قارشىلىق دەرىجىسى يۇقىرى (ئىشلەپچىقىرىش دەرىجىسى ئۈچۈن ≥1E10 Ω · cm) ، مىكرو تۇرۇبا زىچلىقى (cm1 cm - 2 ^ -2−2) ۋە يەر يۈزىنىڭ سۈپىتى ئالاھىدە ياخشى بولمىغان يېرىم ئىزولياتسىيىلىك خۇسۇسىيەتكە ئىگە. ئۇلار توك ئۆزگەرتىش ، تېلېگراف ، ئۇلترا بىنەپشە نۇر ۋە LED تېخنىكىسى قاتارلىق يۇقىرى ئىقتىدارلىق قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن ئەلالاشتۇرۇلغان. خاسلاشتۇرغىلى بولىدىغان يۆنىلىش ، يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە كۈچلۈك مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەتكە ئىگە ، بۇ SiC ۋافېرلىرى كەسىپلەر ئارا ئۈنۈملۈك ، ئىشەنچلىك ئۈسكۈنىلەرنى ياساش ۋە بۆسۈش خاراكتېرلىك يېڭىلىق يارىتىدۇ.