كرېمنىي كاربىد كېرامىك ئۇچى ئېففېكتورى (قول/قول تىپى)

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

كرېمنىي كاربىد كېرامىك ئۇچى ئۈنۈملىگۈچ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش، فوتونىكا، ئاپتوماتلاشتۇرۇش روبوتچىلىقى ۋە ئىلغار ماتېرىيال بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى بىر تەرەپ قىلىش زاپچاسلىرى. چاتال قول/قول شەكلىدە لايىھەلەنگەن كرېمنىي كاربىد كېرامىك ئۇچى ئۈنۈملىگۈچ ئالاھىدە ئۆلچەملىك مۇقىملىق، ئىنتايىن يۇقىرى قاتتىقلىق ۋە ئىنتايىن تۆۋەن زەررىچە ھاسىل قىلىش ئىقتىدارى بىلەن تەمىنلەيدۇ، بۇ ئۇنى سەزگۈر ۋافېر ۋە ئاساسىي قاتلام يۆتكەش مەشغۇلاتى ئۈچۈن ئەڭ ماس كېلىدۇ.

بىزگە ئېلخەت ئەۋەتىڭ

ئالاھىدىلىكلەر

تەپسىلىي دىئاگرامما

كرېمنىي كاربىد كېرامىك ئۇچى ئېففېكتورى (قول/قول تىپى)

كۋارتس ئەينەكنىڭ ئومۇمىي ئەھۋالى

بۇكرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىيېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش، فوتونىكا، ئاپتوماتلاشتۇرۇش روبوتچىلىقى ۋە ئىلغار ماتېرىيال بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى بىر تەرەپ قىلىش زاپچاسلىرى. چاتال قول/قول شەكلىدە لايىھەلەنگەن،كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىئالاھىدە ئۆلچەملىك مۇقىملىق، ئىنتايىن يۇقىرى قاتتىقلىق ۋە ئىنتايىن تۆۋەن زەررىچە ھاسىل قىلىش ئىقتىدارى بىلەن تەمىنلەيدۇ، بۇ ئۇنى سەزگۈر ۋافېر ۋە ئاساسىي قاتلام يۆتكەش مەشغۇلاتى ئۈچۈن ئەڭ ماس كېلىدۇ.

ئەنئەنىۋى مېتال ياكى پولىمېر ئۇچىدىكى قوراللاردىن پەرقلىق ھالدا،كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىيۇقىرى تېمپېراتۇرا، خىمىيىلىك تەسىر ۋە ۋاكۇئۇم مۇھىتىدا شەكىلنىڭ توغرىلىقىنى ساقلىيالايدۇ. ئۇنىڭ ئىنتايىن ياپىلاق تىرەش يۈزى كرېمنىي لېنتىلىرى، ئەينەك ئاساسلىرى، ساپفىر ئوپتىكىسى، SiC لېنتىلىرى ۋە باشقا نازۇك ماتېرىياللارنىڭ مۇقىم بىر تەرەپ قىلىنىشىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. يېنىك، ئەمما قاتتىق قۇرۇلمىسى بىلەن،كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىروبوت تېز سۈرئەتتە تېزلىنىش جەريانىدا تىترەشنى ئازايتىدۇ، ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارىنى ئاشۇرىدۇ ۋە مېخانىكىلىق بېسىمنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ.

نۆل بۇلغىنىشسىز ئىقتىدار ئۈچۈن لايىھەلەنگەن،كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىFOUP يۈك ئېغىزى، EFEM مودۇلى، لىتوگرافىيە سىستېمىسى، ۋاكۇئۇم يۆتكەش قوراللىرى ۋە مېترولوگىيە پونكىتلىرىدا كەڭ قوللىنىلىدۇ، بۇ ئارقىلىق ئاپتوماتلاشتۇرۇش ئۈسكۈنىلىرى بىلەن قىممەتلىك ماتېرىياللار ئوتتۇرىسىدا ئىشەنچلىك، يۇقىرى ساپلىقتىكى ئۇلىنىشنى تەمىنلەيدۇ.

ئىشلەپچىقىرىش پرىنسىپى

بۇكرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىيۇقىرى ساپلىق، يۇقىرى زىچلىق ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىكلىكنى كاپالەتلەندۈرىدىغان ئالاھىدە كېرامىكا ئىشلەپچىقىرىش خىزمەت ئېقىمى ئارقىلىق ئىشلەپچىقىرىلىدۇ. ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا قاتتىق سۈپەت كونترولى ھەر بىر ... نىڭ ... غا كاپالەتلىك قىلىدۇ.كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىيېرىم ئۆتكۈزگۈچ دەرىجىلىك ئاپتوماتىك سىستېمىلارنىڭ قاتتىق تەلىپىگە ئۇيغۇن كېلىدۇ.

1. ماتېرىيال تەييارلاش

ئىشلەپچىقىرىش يۇقىرى ساپلىقتىكى SiC پاراشوكلىرىنى تاللاشتىن باشلىنىدۇ. بۇ پاراشوكلار مېخانىكىلىق كۈچلۈكلۈك ۋە ساپلىقنى بەلگىلەيدۇ.كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىزەررىچىلەرنىڭ مۇكەممەل ئورالمىسىغا ئېرىشىش ۋە بىردەك زىچلىشىشنى ئىلگىرى سۈرۈش ئۈچۈن ئالاھىدە باغلىغۇچى ماددىلار ۋە پىشۇرۇش قوشۇمچە ماددىلار ئارىلاشتۇرۇلىدۇ.

2. شەكىللەندۈرۈش ۋە ئالدىن ياساش

يېشىل بەدەنكرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىئىزوستاتىك بېسىش ياكى كېرامىكا قۇيۇش قېلىپلاش ئۇسۇلى ئارقىلىق شەكىللىنىدۇ. بۇ، ئىچكى كەمتۈكلۈكلەرنى ئەڭ ئاز چەكتە تۇتۇپ، بېسىمغا قارشى تەڭپۇڭ قۇرۇلمىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. بۇ باسقۇچتا چاقماق شەكىللىك گېئومېتىرىيە ۋافلىنىڭ دىئامېتىرى ۋە روبوت ئورنىتىش يۈزىگە ماس كېلىدىغان شەكىللىنىدۇ.

3. يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىششىقلاپ ئىشلەش

شەكىللەنگەن زاپچاس 2000 سېلسىيە گرادۇستىن يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ۋاكۇئۇم ياكى ئىنېرت ئاتموسفېرادا پىشۇرۇلىدۇ. بۇ باسقۇچتا،كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىنەزەرىيەۋى زىچلىققا يېقىنلىشىپ، ئېسىل قاتتىقلىق، ئىسسىقلىق سوقۇلۇشىغا چىداملىق ۋە خىمىيىلىك مۇقىملىقنى تەمىنلەيدۇ. بۇ باسقۇچ زاپچاسنىڭ مېخانىكىلىق پۈتۈنلۈكىنى بەلگىلەيدۇ.

4. CNC ئېنىقلىق بىلەن پىششىقلاش

سىلىندىرلاش، ئالماس سىلىقلاش ۋە كۆپ ئوقلۇق CNC پىششىقلاش ئۇسۇلى ماتېرىيالنىڭ گېئومېتىرىيەسىنى تېخىمۇ ياخشىلايدۇ.كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورى. ۋافېرنىڭ تېگىش يۈزى، ئورنىتىش تۆشۈكلىرى، تەڭشەش ئويمانلىقى ۋە چاتال ئارىلىقى قاتارلىق مۇھىم ئالاھىدىلىكلەر ±0.01 مىللىمېتىرغىچە بولغان چىدامچانلىق بىلەن پىششىقلاپ ئىشلىنىدۇ.

5. يۈزەكى پىششىقلاش ۋە تازىلاش

ئاخىرىدا،كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىئۇلترا ئىنچىكە سىلىقلاش ۋە يۇقىرى ساپلىقتىكى ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى تازىلاش باسقۇچىدىن ئۆتىدۇ. بۇ باسقۇچ يۈزەكى پۇچۇقلۇقنى ئازايتىدۇ ۋە مىكرو زەررىچىلەرنى يوقىتىپ، پاكىز ئۆينىڭ ماسلىشىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. قوشۇمچە CVD-SiC سىرلىرى ياكى پلازماغا چىداملىق قەۋەتلەر چىدامچانلىقىنى تېخىمۇ ئاشۇرالايدۇ.

بۇ ئىنچىكە ئىشلەپچىقىرىش ئۇسۇلى ھەر بىر نەرسىنىڭكرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىيۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئاپتوماتلاشتۇرۇش مۇھىتىدا ئىشەنچلىك ئىشلەيدۇ.

قوللىنىشچان پروگراممىلار

بۇكرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىپاكىزلىق، ئېنىقلىق ۋە ئىشەنچلىكلىك مەسىلىسى يوق كەسىپلەر ئۈچۈن لايىھەلەنگەن. ئۇنىڭ چاتال قول/قول لايىھىسى ئۇنى روبوت قوللار، تاللاش-ئورۇنلاشتۇرۇش سىستېمىسى، ۋاكۇئۇم يۆتكەش قوراللىرى ۋە ئىلغار تەكشۈرۈش سۇپىلىرىغا ماس كېلىدۇ.

1. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ زاۋۇتلىرىدا،كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىكەڭ كۆلەمدە ئىشلىتىلىدۇ:

ۋافېرنىڭ يۈك قاچىلاش/چۈشۈرۈشى
FOUP تۈرگە ئايرىش
ۋاكۇئۇم كامېراسى توشۇش
ئويۇش، لىتوگرافىيە ۋە چۆكمە جەريانلىرى

ئىنتايىن پاكىز ۋە قاتتىقكرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىۋاپپېرنىڭ سىيرىلىپ چۈشۈشى، ئېگىلىپ كېتىشى ۋە بۇلغىنىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ، 150 مىللىمېتىردىن 300 مىللىمېتىرغىچە بولغان ۋاپپېرلارنى قوللايدۇ.

2. فوتونىكا ۋە ئوپتوئېلېكترون

نازۇك لىنزىلار، ئوپتىكىلىق ئۈسكۈنىلەر، GaN ئاساسىي قەۋىتى ۋە فوتون چىپلىرىنى بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن،كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىتىترەشسىز مۇقىملىقنى تەمىنلەيدۇ. ئۇنىڭ مېتال ئەمەس تەبىئىتى ماگنىتلىق ئارىلىشىش ۋە ئوپتىكىلىق بۇلغىنىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.

3. كۆرسىتىش ۋە تاختا ئىشلەپچىقىرىش

OLED، QLED ۋە LCD تاختىلىرى ئىشلەپچىقىرىشتا،كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىنېپىز ئەينەك ۋە ئالاھىدە ئاساسلارنى بىخەتەر يۆتكىيەلەيدۇ. ئۇنىڭ خىمىيىلىك جەھەتتىن ئىنېرتلىق يۈزى قالدۇقلار ۋە يۈزەكى بۇزۇلۇشلاردىن ساقلايدۇ.

4. ئاۋىئاتسىيە ۋە ۋاكۇئۇم روبوتچىلىقى

يۇقىرى ۋاكۇئۇملۇق كامېرالار ۋە ئاۋىئاتسىيە قۇراشتۇرۇش لىنىيىلىرىدە،كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىئۆلچەمنىڭ توغرىلىقىنى ساقلاپ قېلىش بىلەن بىرگە، يۇقىرى تېمپېراتۇرا، رادىئاتسىيە تەسىرى ۋە چىرىشچان گازلارغا بەرداشلىق بېرىدۇ.

بۇ كەسىپلەرنىڭ ھەممىسىدە،كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىمېتال ۋە پولىمېر ئورنىنى ئالىدىغان مەھسۇلاتلاردىن ئىزچىل ئۈستۈن تۇرىدۇ.

كۆپ سورىلىدىغان سوئاللار – كۆپ سورىلىدىغان سوئاللار

1-سوئال: كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورى خاسلاشتۇرۇلغان چوڭلۇقلارنى قوللىيالايدۇ؟

ھەئە.كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىھەر قانداق تاختاي، تاختاي ياكى ئاساسىي تاختىنىڭ چوڭ-كىچىكلىكىگە ماس كېلىدۇ. چاتال ئارىلىقى، قېلىنلىقى، ئېغىرلىقى ۋە ئورنىتىش تۆشۈكىنىڭ شەكلىنى تولۇق خاسلاشتۇرغىلى بولىدۇ.

2-سوئال: كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورى ۋاكۇئۇم مۇھىتىغا ماس كېلەمدۇ؟

ئەلۋەتتە.كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىگاز چىقىرىش مىقدارى ئىنتايىن تۆۋەن ۋە مېتال بۇلغىنىشى يوق، شۇڭا ئۇ UHV ۋە پاكىز ئۆي مۇھىتى ئۈچۈن ئەڭ ماس كېلىدۇ.

3-سوئال: SiC ئاخىرقى ئېففېكتورىنىڭ ئاليۇمىن ياكى پولاتقا قارىغاندا قانداق ئەۋزەللىكلىرى بار؟

A كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورىتەمىنلەيدۇ:

قاتتىقلىق-ئېغىرلىق نىسبىتى يۇقىرى
تۆۋەنرەك ئىسسىقلىق كېڭىيىشى
ئۇپراشقا چىدامچانلىقى يۇقىرى
پلازما ۋە خىمىيىلىك ماددىلارغا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى ياخشىراق
نۆل چىرىش

بىز ھەققىدە

XKH شىركىتى يۇقىرى تېخنىكىلىق تەرەققىيات، ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئالاھىدە ئوپتىكىلىق ئەينەك ۋە يېڭى كىرىستال ماتېرىياللارنى سېتىشقا ئىختىساسلاشقان. مەھسۇلاتلىرىمىز ئوپتىكىلىق ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى، ئىستېمال ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ۋە ھەربىي ساھەلەرگە مۇلازىمەت قىلىدۇ. بىز ياقۇت ئوپتىكىلىق زاپچاسلار، يانفون لىنزىسى قاپقىقى، كېرامىكا، LT، كرېمنىي كاربىد SIC، كۋارتس ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كىرىستال ۋاپشىلارنى تەمىنلەيمىز. ماھارەتلىك تەجرىبىمىز ۋە ئەڭ يېڭى ئۈسكۈنىلەر بىلەن، بىز ئۆلچەملىك بولمىغان مەھسۇلات پىششىقلاش ساھەسىدە ئۈستۈنلۈكنى قولغا كەلتۈرىمىز، ئالدىنقى قاتاردىكى ئوپتىكىلىق ئېلېكترون ماتېرىياللىرى يۇقىرى تېخنىكىلىق كارخانا بولۇشنى مەقسەت قىلىمىز.