كرېمنىي كاربون ئالماس سىم كېسىش ماشىنىسى 4/6/8/12 دىيۇملۇق SiC بىرىكمە پىششىقلاپ ئىشلەش

كرېمنىي كاربون ئالماس سىم كېسىش ماشىنىسى 4/6/8/12 ديۇملۇق SiC ingot پىششىقلاپ ئىشلەش ئالاھىدە رەسىم

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

كرېمنىي كاربون ئالماس سىم كېسىش ماشىنىسى بىر خىل يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى پىششىقلاپ ئىشلەش ئۈسكۈنىسى بولۇپ ، ئۇ كرېمنىي كاربون (SiC) بىرىكمە پارچىسىغا بېغىشلانغان بولۇپ ، ئالماس سىم ساۋ تېخنىكىسىنى ئىشلىتىپ ، يۇقىرى سۈرئەتلىك يۆتكىلىشچان ئالماس سىمى (سىزىق دىئامېتىرى 0.1 ~ 0.3mm) ئارقىلىق SiC كۆپ ئىقتىدارلىق سىم كېسىش ئارقىلىق يۇقىرى ئېنىقلىق ، تۆۋەن زىيانلىق ۋافېر تەييارلىقىنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ. بۇ ئۈسكۈنىلەر SiC ئېلېكتر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ (MOSFET / SBD) ، رادىئو چاستوتىلىق ئۈسكۈنىسى (GaN-on-SiC) ۋە ئوپتىكىلىق ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى ئاستى پىششىقلاپ ئىشلەشتە كەڭ قوللىنىلىدۇ ، SiC كەسىپ زەنجىرىدىكى مۇھىم ئۈسكۈنىلەر.

بىزگە ئېلخەت ئەۋەتىڭ

مەھسۇلات تەپسىلاتى

مەھسۇلات خەتكۈچلىرى

خىزمەت پرىنسىپى ：

1. Ingot نى ئوڭشاش: SiC ingot (4H / 6H-SiC) كېسىش سۇپىسىغا قۇرۇلما ئارقىلىق مۇقىملاشتۇرۇلۇپ ، ئورۇننىڭ توغرىلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ (± 0.02mm).

3. كېسىش يەم-خەشەكلىرى: كىرىش ئېغىزى بەلگىلەنگەن يۆنىلىش بويىچە ئوزۇقلىنىدۇ ، ئالماس سىزىق بىرلا ۋاقىتتا كۆپ پاراللېل سىزىق (100 ~ 500 قۇر) بىلەن كېسىلىپ ، كۆپ ۋافېر ھاسىل قىلىدۇ.

4. سوۋۇتۇش ۋە ئۆزەكنى ئېلىۋېتىش: كېسىش رايونىغا سوۋۇتقۇچ (دىئونلانغان سۇ + خۇرۇچ) پۈركۈپ ، ئىسسىقلىقنىڭ زىيىنىنى ئازايتىش ۋە ئۆزەكنى چىقىرىۋېتىش.

ئاچقۇچلۇق پارامېتىرلار:

1. كېسىش سۈرئىتى: مىنۇتىغا 0.2 ~ 1.0mm (خىرۇستال يۆنىلىش ۋە SiC نىڭ قېلىنلىقىغا ئاساسەن).

2. سىزىق جىددىيلىكى: 20 ~ 50N (سىزىقنى بۇزۇش بەك ئاسان ، كېسىش توغرىلىقىغا بەك تۆۋەن).

3. تېخىمۇ قويۇق قېلىنلىق: ئۆلچەملىك 350 ~ 500 مىللىمېتىر ، ۋافېر 100 مىللىمېتىرغا يېتىدۇ.

ئاساسلىق ئىقتىدارلىرى:

(1) كېسىش توغرىلىقى
قېلىنلىقىغا بەرداشلىق بېرىش: mm 5μm (@ 350μm wafer) ، ئادەتتىكى مىناميوت كېسىشتىن ياخشى (± 20μm).

يەر يۈزىنىڭ يىرىكلىكى: Ra <0.5μm (كېيىنكى پىششىقلاپ ئىشلەش مىقدارىنى ئازايتىش ئۈچۈن قوشۇمچە ئۇلاش تەلەپ قىلىنمايدۇ).

ئۇرۇش بېتى: <10 mm (كېيىنكى سىلىقلاشنىڭ قىيىنلىقىنى ئازايتىڭ).

(2) بىر تەرەپ قىلىش ئۈنۈمى
كۆپ لىنىيىلىك كېسىش: بىر قېتىمدا 100 ~ 500 پارچە كېسىش ، ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارىنى 3 ~ 5 ھەسسە ئاشۇرۇش (يەككە سىزىق كېسىش بىلەن).

لىنىيەنىڭ ئۆمرى: ئالماس لىنىيىسى 100 ~ 300 كىلومىتىر SiC نى كېسىپ تاشلىيالايدۇ.

(3) زىياننى بىر تەرەپ قىلىش
قىرغاقنى پارچىلاش: <15μm (ئەنئەنىۋى كېسىش> 50μm) ، ۋافېرنىڭ ھوسۇلىنى ياخشىلاش.

يەر ئاستى بۇزۇلۇش قەۋىتى: <5μm (سىلىقلاشنى ئېلىۋېتىشنى ئازايتىڭ).

(4) مۇھىت ئاسراش ۋە ئىقتىساد
مىناميوت بۇلغىنىش يوق: مىناميوت كېسىشكە سېلىشتۇرغاندا تاشلاندۇق سۇيۇقلۇق بىر تەرەپ قىلىش تەننەرخى تۆۋەنلىدى.

ماتېرىيالدىن پايدىلىنىش: زىياننى ئازايتىش <100μm / كەسكۈچ ، SiC خام ئەشياسىنى تېجەش.

كېسىش ئۈنۈمى:

1. ۋافېرنىڭ سۈپىتى: يەر يۈزىدە ماكروسكوپ يېرىق يوق ، مىكروسكوپتىكى كەمتۈكلۈكلەر (كونترول قىلغىلى بولىدىغان يۆتكىلىشنى كېڭەيتىش). قوپال سىلىق ئۇلىنىشقا بىۋاسىتە كىرەلەيدۇ ، جەريان ئېقىمىنى قىسقارتالايدۇ.

2. ئىزچىللىق: تۈركۈمدىكى ۋافېرنىڭ قېلىنلىق پەرقى <± 3% بولۇپ ، ئاپتوماتىك ئىشلەپچىقىرىشقا ماس كېلىدۇ.

3. قوللىنىشچانلىقى: 4H / 6H-SiC بىرىكمە كېسىشنى قوللايدۇ ، ئۆتكۈزگۈچ / يېرىم يېپىق تىپقا ماس كېلىدۇ.

تېخنىكىلىق ئۆلچەم ：

Specification	تەپسىلاتى
رازمېرى (L × W × H)	2500x2300x2500 ياكى خاسلاشتۇرۇڭ
ماتېرىيال چوڭلۇقى دائىرىسىنى بىر تەرەپ قىلىش	4 ، 6 ، 8 ، 10 ، 12 دىيۇملۇق كرېمنىي كاربون
يەر يۈزى يىرىك	Ra≤0.3u
ئوتتۇرىچە كېسىش سۈرئىتى	0.3mm / min
ئېغىرلىقى	5.5t
كېسىش جەريانىنى تەڭشەش باسقۇچلىرى	≤30 قەدەم
ئۈسكۈنىلەرنىڭ شاۋقۇنى	≤80 dB
پولات سىم جىددىيلىكى	0 ~ 110N (0.25 سىم جىددىيلىكى 45N)
پولات سىم سۈرئىتى	0 ~ 30m / S.
ئومۇمىي قۇۋۋەت	50kw
ئالماس سىم دىئامېتىرى	≥0.18mm
تەكشىلىكنى ئاخىرلاشتۇرۇڭ	.050.05mm
كېسىش ۋە بۇزۇلۇش نىسبىتى	≤1% (ئىنسانلارنىڭ سەۋەبى ، كرېمنىي ماتېرىيالى ، سىزىق ، ئاسراش ۋە باشقا سەۋەبلەر بۇنىڭ سىرتىدا)

XKH مۇلازىمىتى:

XKH كرېمنىي كاربون ئالماس سىم كېسىش ماشىنىسىنىڭ پۈتكۈل جەريان مۇلازىمىتى بىلەن تەمىنلەيدۇ ، ئۇ ئۈسكۈنىلەرنى تاللاش (سىم دىئامېتىرى / سىم سۈرئىتىنى ماسلاشتۇرۇش) ، جەريان ئېچىش (كېسىش پارامېتىرىنى ئەلالاشتۇرۇش) ، ئىستېمال بۇيۇملىرى بىلەن تەمىنلەش (ئالماس سىم ، يېتەكچى چاق) ۋە سېتىشتىن كېيىنكى قوللاش (ئۈسكۈنىلەرنى ئاسراش ، سۈپەتنى تۆۋەنلىتىش) ، خېرىدارلارنىڭ يۇقىرى مەھسۇلات (% 95) ، تۆۋەن تەننەرخلىق SiC ۋافېر ئىشلەپچىقىرىشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. ئۇ يەنە 4-8 ھەپتىلىك يېتەكلەش ۋاقتى بىلەن خاسلاشتۇرۇلغان يېڭىلاش (دەرىجىدىن تاشقىرى نېپىز كېسىش ، ئاپتوماتىك قاچىلاش ۋە چۈشۈرۈش دېگەندەك) بىلەن تەمىنلەيدۇ.