كرېمنىي كاربىد (SiC) گورىزونتال ئوچاق تۇرۇبىسى

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

كرېمنىي كاربىد (SiC) گورىزونتال ئوچاق تۇرۇبىسى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش، فوتوۋولت ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئىلغار ماتېرىيال پىششىقلاش قاتارلىق ساھەلەردە ئىشلىتىلىدىغان يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق گاز باسقۇچى رېئاكسىيەلىرى ۋە ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىشنىڭ ئاساسلىق جەريان كامېراسى ۋە بېسىم چېگرىسى سۈپىتىدە خىزمەت قىلىدۇ.

بىزگە ئېلخەت ئەۋەتىڭ

ئالاھىدىلىكلەر

تەپسىلىي دىئاگرامما

مەھسۇلات ئورنىنى بېكىتىش ۋە قىممەت تەكلىپى

بۇ تۇرۇبا بىر پارچە، قوشۇمچە ماتېرىياللار بىلەن ئىشلەپچىقىرىلغان SiC قۇرۇلمىسى ۋە زىچ CVD-SiC قوغداش قەۋىتى بىلەن بىرلەشتۈرۈلگەن بولۇپ، ئالاھىدە ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى، ئەڭ تۆۋەن بۇلغىنىش، كۈچلۈك مېخانىكىلىق پۈتۈنلۈك ۋە ئالاھىدە خىمىيىلىك قارشىلىق بىلەن تەمىنلەيدۇ.
ئۇنىڭ لايىھىسى تېمپېراتۇرىنىڭ بىردەكلىكى، مۇلازىمەت ۋاقتىنىڭ ئۇزارتىلىشى ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك مۇقىم ئىشلىشىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.

ئاساسلىق ئەۋزەللىكلەر

سىستېمىنىڭ تېمپېراتۇرا مۇقىملىقى، پاكىزلىقى ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئومۇمىي ئۈنۈمىنى (OEE) ئاشۇرىدۇ.
تازىلاش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدىغان بوش ۋاقىتنى قىسقارتىدۇ ۋە ئالماشتۇرۇش دەۋرىنى ئۇزارتىدۇ، ئومۇمىي ئىگىدارلىق تەننەرخىنى (TCO) تۆۋەنلىتىدۇ.
يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ئوكسىدلىنىش ۋە خلورغا باي خىمىيىلىك ماددىلارنى ئەڭ تۆۋەن خەتەر بىلەن بىر تەرەپ قىلالايدىغان ئۇزۇن ئۆمۈرلۈك كامېرا بىلەن تەمىنلەيدۇ.

قوللىنىلىدىغان ئاتموسفېرا ۋە جەريان كۆزنىكى

رېئاكتىپ گازلار: ئوكسىگېن (O₂) ۋە باشقا ئوكسىدلىنىش ئارىلاشمىلىرى
توشۇغۇچى/قوغدىغۇچى گازلارئازوت (N₂) ۋە ئىنتايىن ساپ ئىنېرت گازلار
ماس كېلىدىغان تۈرلەر: تەركىبىدە خلور بار گازلارنىڭ ئاز مىقداردا بولۇشى (قورسىقى ۋە تۇرۇش ۋاقتى رېتسېپ بىلەن كونترول قىلىنىدۇ)

ئادەتتىكى جەريانلارقۇرۇق/ھۆل ئوكسىدلىنىش، قىزىتىش، دىففۇزىيە، LPCVD/CVD چۆكمىسى، يۈزەكى ئاكتىپلاشتۇرۇش، فوتوۋولت پاسسىۋلاشتۇرۇش، فۇنكسىيەلىك نېپىز پەردە ئۆسۈش، كاربونلاشتۇرۇش، نىترىدلاشتۇرۇش ۋە باشقىلار.

ئىشلىتىش شەرتلىرى

تېمپېراتۇرا: ئۆي تېمپېراتۇرىسى 1250 سېلسىيە گرادۇسقىچە (ئىسسىتقۇچ لايىھىسى ۋە ΔT غا ئاساسەن %10-15 بىخەتەرلىك چېكىگە يول قويۇڭ)
بېسىم: تۆۋەن بېسىم/LPCVD ۋاكۇئۇم سەۋىيەسىدىن ئاتموسفېراغا يېقىن مۇسبەت بېسىمغىچە (ھەر بىر سېتىۋېلىش زاكازىنىڭ ئاخىرقى ئۆلچىمى)

ماتېرىياللار ۋە قۇرۇلما مەنتىقى

مونولىت SiC گەۋدىسى (قوشۇمچە ئىشلەپچىقىرىلغان)

يۇقىرى زىچلىقتىكى β-SiC ياكى كۆپ باسقۇچلۇق SiC، يەككە تەركىب سۈپىتىدە ياسالغان - ئېقىش ياكى بېسىم نۇقتىلىرىنى پەيدا قىلىدىغان پەيلەش ئۇلىنىشى ياكى تىكىش ئورنى يوق.
يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى تېز ئىسسىقلىق ئىنكاسى ۋە ئوق/رادىئال تېمپېراتۇرا بىردەكلىكىنى تەمىنلەيدۇ.
تۆۋەن، مۇقىم ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى (CTE) يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئۆلچەم مۇقىملىقى ۋە ئىشەنچلىك پېچەتلەشنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.

CVD SiC فۇنكسىيەلىك قاپلاش

زەررىچە ھاسىل بولۇشى ۋە مېتال ئىئونلىرىنىڭ قويۇپ بېرىلىشىنى توسۇش ئۈچۈن، ئورنىدا چۆكتۈرۈلگەن، ئىنتايىن ساپ (يۈزە/سىرتما بۇلغىمىلىرى < 5 ppm).
ئوكسىدلىنىش ۋە خلور تەركىبىدىكى گازلارغا قارشى ئىنتايىن ياخشى خىمىيىلىك ئىنېرتلىق بولۇپ، تامغا ھۇجۇم قىلىش ياكى قايتا چۆكۈشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
چىرىشكە چىداملىقلىق ۋە ئىسسىقلىق ئىنكاسىنى تەڭشەش ئۈچۈن رايونغا خاس قېلىنلىق تاللاشلىرى.

بىرلەشتۈرۈلگەن پايداكۈچلۈك SiC گەۋدىسى قۇرۇلمىنىڭ كۈچلۈكلۈكى ۋە ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى بىلەن تەمىنلەيدۇ، CVD قەۋىتى بولسا ئەڭ يۇقىرى ئىشەنچلىكلىك ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمى ئۈچۈن پاكىزلىق ۋە چىرىشكە قارشى تۇرۇشنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.

ئاساسلىق ئىقتىدار نىشانلىرى

ئۈزلۈكسىز ئىشلىتىش تېمپېراتۇرىسى:≤ 1250 سېلسىيە گرادۇس
كۆپ مىقداردىكى ئاساسىي قاتلامنىڭ بۇلغىمىلىرى:< 300 ppm
CVD-SiC يۈزەكى بۇلغىمىلار:< 5 ppm
ئۆلچەمگە بولغان چىدامچانلىقى: OD ±0.3–0.5 مىللىمېتىر؛ بىر تەرەپلىكلىك ≤ 0.3 مىللىمېتىر/مېتىر (تېخىمۇ قاتتىقراق بولسا بولىدۇ)
ئىچكى تامنىڭ پۇختىلىقى: Ra ≤ 0.8–1.6 µm (سىلىقلانغان ياكى ئەينەككە يېقىن رەڭ تاللاشقا بولىدۇ)
گېلىي ئېقىش سۈرئىتى: ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s
ئىسسىقلىق سوقۇلۇشىغا چىداملىق: قايتا-قايتا ئىسسىق/سوغۇق دەۋرىيلىكىگە چىداملىق بولۇپ، يېرىلىش ياكى يېرىلىشقا ئۇچرىمايدۇ.
پاكىز ئۆينى يىغىش: ISO 5–6 دەرىجىلىك، زەررىچە/مېتال-ئىئون قالدۇق دەرىجىسىگە ئىگە

سەپلىمىلەر ۋە تاللاشلار

گېئومېتىرىيە: OD 50–400 مىللىمېتىر (باھالاش ئارقىلىق چوڭراق)، ئۇزۇن بىر پارچە قۇرۇلمىغا ئىگە؛ تام قېلىنلىقى مېخانىكىلىق كۈچ، ئېغىرلىق ۋە ئىسسىقلىق ئېقىمىغا ماسلاشتۇرۇلغان.
ئاخىرقى لايىھەلەر: فىلانس، قوڭغۇراق ئېغىزى، نىشكا، ئورۇن بەلگىلەش ھالقىسى، O شەكىللىك ئويۇقلار ۋە خاسلاشتۇرۇلغان پومپا چىقىرىش ياكى بېسىم ئېغىزلىرى.
ئىقتىدارلىق پورتلارتېرمو جۈپ ئۆتكۈزۈش، كۆزىتىش ئەينىكى ئورۇندۇقلىرى، ئايلانما گاز كىرىش ئېغىزلىرى — بۇلارنىڭ ھەممىسى يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا، سۇ چىقىرىشتىن ساقلىنىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن.
قاپلاش لايىھەلىرىئىچكى تام (سۈكۈتتىكى)، تاشقى تام ياكى تولۇق قاپلاش؛ يۇقىرى سوقۇلۇش رايونلىرى ئۈچۈن نىشانلىق قوغداش ياكى دەرىجە بويىچە قېلىنلىق.
يۈزەكى بىر تەرەپ قىلىش ۋە پاكىزلىقكۆپ خىل داغلىق دەرىجىسى، ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى/DI تازىلاش ۋە خاسلاشتۇرۇلغان پىشۇرۇش/قۇرۇتۇش ئۇسۇللىرى.
قوشۇمچە زاپچاسلار: گرافىت/كېرامىك/مېتال فلانكلار، پېچەتلەر، ئورۇن بەلگىلەش ئۈسكۈنىلىرى، بىر تەرەپ قىلىش يەڭلىرى ۋە ساقلاش بۆشۈكلىرى.

ئىقتىدار سېلىشتۇرۇش

مېترىك	SiC تۇرۇبىسى	كۋارتس تۇرۇبىسى	ئاليۇمىن تۇرۇبىسى	گرافىت تۇرۇبىسى
ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى	ئېگىز، بىردەك	تۆۋەن	تۆۋەن	يۇقىرى
يۇقىرى تېمپېراتۇرا كۈچى / سۈركىلىش كۈچى	ناھايىتى ياخشى	ئادىل	ياخشى	ياخشى (ئوكسىدلىنىشقا سەزگۈر)
ئىسسىقلىق سوقۇشى	ناھايىتى ياخشى	ئاجىز	ئوتتۇراھال	ناھايىتى ياخشى
پاكىزلىق / مېتال ئىئونلىرى	ناھايىتى ياخشى (تۆۋەن)	ئوتتۇراھال	ئوتتۇراھال	نامرات
ئوكسىدلىنىش ۋە Cl-خىمىيە	ناھايىتى ياخشى	ئادىل	ياخشى	ناچار (ئوكسىدلىنىدۇ)
باھا بىلەن مۇلازىمەت مۇددىتىنىڭ پەرقى	ئوتتۇرا / ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈش	تۆۋەن / قىسقا	ئوتتۇرا / ئوتتۇرا	ئوتتۇرا / مۇھىت چەكلىمىسى بار

كۆپ سورىلىدىغان سوئاللار (FAQ)

س1. نېمە ئۈچۈن 3D بېسىپ چىقىرىلغان مونولىت SiC گەۋدىسىنى تاللايسىز؟
A. ئۇ ئېقىش ياكى بېسىمنى مەركەزلەشتۈرۈش مۇمكىن بولغان تىكىشلەر ۋە لېنتىلارنى يوقىتىدۇ، ھەمدە مۇرەككەپ گېئومېتىرىيەلەرنى مۇقىم ئۆلچەم ئېنىقلىقى بىلەن قوللايدۇ.

س2. SiC تەركىبىدە خىلور بار گازلارغا چىداملىقمۇ؟
A. ھەئە. CVD-SiC بەلگىلەنگەن تېمپېراتۇرا ۋە بېسىم چەكلىمىسى ئىچىدە يۇقىرى دەرىجىدە ئىنېرتلىق. يۇقىرى تەسىرگە ئۇچرىغان رايونلار ئۈچۈن، يەرلىك قېلىن قاپلاملار ۋە پۇختا تازىلاش/چىقىرىش سىستېمىسى تەۋسىيە قىلىنىدۇ.

س3. ئۇنىڭ ئۈنۈمى كۋارتس تۇرۇبىلىرىدىن قانداق ياخشى؟
A. SiC ئۇزۇنراق ئىشلىتىش ئۆمرى، تېمپېراتۇرا بىردەكلىكى، زەررىچە/مېتال ئىئون بۇلغىنىشىنىڭ تۆۋەنلىشى ۋە TCO نىڭ ياخشىلىنىشى بىلەن تەمىنلەيدۇ، بولۇپمۇ ~900 سېلسىيە گرادۇستىن يۇقىرى ياكى ئوكسىدلىنىش/خلورلۇق ئاتموسفېرادا.

س4. تۇرۇبا تېز سۈرئەتتە ئىسسىقلىقنىڭ ئۆرلىشىگە بەرداشلىق بېرەلەمدۇ؟
A. شۇنداق، ئەڭ چوڭ ΔT ۋە رامپا سۈرئىتى كۆرسەتمىلىرىگە ئەمەل قىلىنغان بولسا. يۇقىرى κ SiC گەۋدىسىنى نېپىز CVD قەۋىتى بىلەن بىرلەشتۈرۈش تېز ئىسسىقلىق ئۆزگىرىشىنى قوللايدۇ.

5-سوئال. قاچان ئالماشتۇرۇش كېرەك؟
A. ئەگەر تۇرۇبا يېرىقلىرى، سىرلاش ئۆڭكۈرلىرى ياكى سۇيۇقلۇقنىڭ ئېقىپ كېتىشى، ئېقىش نىسبىتىنىڭ ئېشىشى، تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشىنىڭ كۆرۈنەرلىك دەرىجىدە ئۆزگىرىشى ياكى زەررىچىلەرنىڭ نورمالسىز شەكىللىنىشىنى بايقىسىڭىز، تۇرۇبىنى ئالماشتۇرۇڭ.

بىز ھەققىدە

XKH شىركىتى يۇقىرى تېخنىكىلىق تەرەققىيات، ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئالاھىدە ئوپتىكىلىق ئەينەك ۋە يېڭى كىرىستال ماتېرىياللارنى سېتىشقا ئىختىساسلاشقان. مەھسۇلاتلىرىمىز ئوپتىكىلىق ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى، ئىستېمال ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ۋە ھەربىي ساھەلەرگە مۇلازىمەت قىلىدۇ. بىز ياقۇت ئوپتىكىلىق زاپچاسلار، يانفون لىنزىسى قاپقىقى، كېرامىكا، LT، كرېمنىي كاربىد SIC، كۋارتس ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كىرىستال ۋاپشىلارنى تەمىنلەيمىز. ماھارەتلىك تەجرىبىمىز ۋە ئەڭ يېڭى ئۈسكۈنىلەر بىلەن، بىز ئۆلچەملىك بولمىغان مەھسۇلات پىششىقلاش ساھەسىدە ئۈستۈنلۈكنى قولغا كەلتۈرىمىز، ئالدىنقى قاتاردىكى ئوپتىكىلىق ئېلېكترون ماتېرىياللىرى يۇقىرى تېخنىكىلىق كارخانا بولۇشنى مەقسەت قىلىمىز.