Ti/Cu مېتال قاپلانغان كرېمنىي ۋافېرى (تىتان/مىس)
تەپسىلىي دىئاگرامما
ئومۇمىي ئەھۋال
بىزنىڭTi/Cu مېتال قاپلانغان كرېمنىي ۋافېرلىرىيۇقىرى سۈپەتلىك كرېمنىي (ياكى قوشۇمچە ئەينەك/كۋارتز) ئاساسى بىلەن قاپلانغانتىتان يېپىشتۇرۇش قەۋىتىۋە بىرمىس ئۆتكۈزگۈچ قەۋەتئىشلىتىشئۆلچەملىك ماگنىترون پۈركۈشTi ئارىلىق قەۋىتى يېپىشقاقلىق ۋە جەرياننىڭ مۇقىملىقىنى كۆرۈنەرلىك دەرىجىدە ياخشىلايدۇ، Cu ئۈستۈنكى قەۋىتى بولسا ئېلېكتر ئۇلىنىش ۋە كېيىنكى مىكرو ئىشلەپچىقىرىشقا ماس كېلىدىغان تۆۋەن قارشىلىقلىق، بىردەك يۈزە بىلەن تەمىنلەيدۇ.
بۇ تاختايلار تەتقىقات ۋە سىناق كۆلىمىدىكى قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بولۇپ، كۆپ خىل چوڭلۇقتا ۋە قارشىلىق دائىرىسىدە بار بولۇپ، قېلىنلىقى، ئاساسىي قەۋەت تىپى ۋە قاپلاش سەپلىمىسىگە ماسلىشىش ئىقتىدارىغا ئىگە.
ئاساسلىق ئالاھىدىلىكلەر
-
كۈچلۈك يېپىشقاقلىق ۋە ئىشەنچلىكلىكTi چاپلىشىش قەۋىتى پەردىنىڭ Si/SiO₂ غا يېپىشىشىنى كۈچەيتىدۇ ۋە بىر تەرەپ قىلىش چىدامچانلىقىنى ئاشۇرىدۇ
-
يۇقىرى ئۆتكۈزۈشچانلىق يۈزىCu قاپلىمىسى ئالاقىلىشىش ئۈسكۈنىلىرى ۋە سىناق قۇرۇلمىلىرى ئۈچۈن ئەلا ئېلېكتر ئىقتىدارى بىلەن تەمىنلەيدۇ
-
كەڭ دائىرىلىك خاسلاشتۇرۇش دائىرىسى: ۋافېر چوڭلۇقى، قارشىلىق كۈچى، يۆنىلىشى، ئاساسىي قەۋەت قېلىنلىقى ۋە پىلاستىنكا قېلىنلىقى تەلەپ بويىچە تەمىنلىنىدۇ
-
پىششىقلاپ ئىشلەشكە تەييار ئاساسىي ماددىلار: ئادەتتىكى تەجرىبىخانا ۋە زاۋۇت خىزمەت ئېقىمى (لىتوگرافىيە، ئېلېكترو قاپلاش قۇرۇلمىسى، ئۆلچەش قاتارلىقلار) بىلەن ماس كېلىدۇ.
-
ماتېرىياللار يۈرۈشلۈكى بار: Ti/Cu دىن باشقا، بىز يەنە Au، Pt، Al، Ni، Ag مېتال قاپلانغان ۋاپلېرلارنىمۇ تەمىنلەيمىز.
تىپىك قۇرۇلما ۋە چۆكمە
-
ئۈيۈمئاساسىي قەۋەت + Ti يېپىشتۇرۇش قەۋىتى + Cu قاپلاش قەۋىتى
-
ئۆلچەملىك جەريانماگنىترونلۇق پۈركۈش
-
تاللاش جەريانلىرىئىسسىقلىق پارغا ئايلاندۇرۇش / ئېلېكترو قاپلاش (قېلىراق Cu ئېھتىياجى ئۈچۈن)
كۋارتس ئەينەكنىڭ مېخانىكىلىق خۇسۇسىيىتى
| بۇيۇم | تاللاشلار |
|---|---|
| ۋافلىنىڭ چوڭلۇقى | 2"، 4"، 6"، 8""؛ 10×10 مىللىمېتىر؛ خاسلاشتۇرۇلغان توغراش چوڭلۇقى |
| ئۆتكۈزۈشچانلىق تىپى | P تىپلىق / N تىپلىق / ئىچكى يۇقىرى قارشىلىق (Un) |
| يۆنىلىش | <100>، <111> قاتارلىقلار. |
| قارشىلىق | <0.0015 Ω · cm; 1-10 Ω · cm; > 1000–10000 Ω · cm |
| قېلىنلىقى (µm) | 2": 200/280/400/500؛ 4": 450/500/525؛ 6": 625/650/675؛ 8": 650/700/725/775؛ خاسلاشتۇرۇلغان |
| ئاساسىي ماتېرىياللار | كرېمنىي؛ قوشۇمچە كۋارتس، BF33 ئەينەك قاتارلىقلار. |
| پىلاستىنكا قېلىنلىقى | 10 nm / 50 nm / 100 nm / 150 nm / 300 nm / 500 nm / 1 µm (خاسلاشتۇرغىلى بولىدۇ) |
| مېتال پىلاستىنكا تاللاشلىرى | Ti / Cu; Au, Pt, Al, Ni, Ag قاتارلىقلار بار |
قوللىنىشچان پروگراممىلار
-
ئوملۇق ئالاقە ۋە ئۆتكۈزگۈچ ئاساسلارئۈسكۈنە تەتقىقات ۋە تەرەققىيات ۋە ئېلېكتر سىنىقى ئۈچۈن
-
ئېلېكترو قاپلاش ئۈچۈن ئۇرۇق قەۋەتلىرى(RDL، MEMS قۇرۇلمىلىرى، قېلىن Cu يىغىلىشى)
-
سول-گېل ۋە نانوماتېرىيال ئۆسۈش سۇبستراتلىرىنانو ۋە نېپىز پەردە تەتقىقاتى ئۈچۈن
-
مىكروسكوپىيە ۋە يۈزە ئۆلچەش(SEM/AFM/SPM ئەۋرىشكە تەييارلاش ۋە ئۆلچەش)
-
بىئو/خىمىيىلىك يۈزلەرمەسىلەن ھۈجەيرە يېتىشتۈرۈش سۇپىلىرى، ئاقسىل/DNA مىكروچىپلىرى ۋە رېفلىكتومېترىيە سۇبستراتلىرى
سوئاللار (Ti / Cu مېتال قاپلانغان كرېمنىي ۋافېر)
1-سوئال: نېمە ئۈچۈن Cu قەۋىتىنىڭ ئاستىغا Ti قەۋىتى ئىشلىتىلىدۇ؟
A: تىتان سۈپىتىدە ئىشلەيدۇچاپلىشىش (باغلىنىش) قەۋىتى، مىسنىڭ ئاساسىي قاتلامغا چاپلىشىشىنى ياخشىلايدۇ ۋە يۈزەكى مۇقىملىقنى ئاشۇرىدۇ، بۇ بىر تەرەپ قىلىش ۋە پىششىقلاش جەريانىدا پوستىنىڭ چۈشۈپ كېتىشى ياكى قېپىنىڭ چۈشۈپ كېتىشىنى ئازايتىشقا ياردەم بېرىدۇ.
2-سوئال: ئادەتتىكى Ti/Cu قېلىنلىقىنىڭ سەپلىمىسى قانداق؟
A: ئورتاق بىرىكمىلەر تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇTi: ئون نەچچە nm (مەسىلەن، 10–50 nm)ۋەCu: 50–300 نانومېتىرچاچرىتىلغان پىلاستىنكىلار ئۈچۈن. قېلىنراق Cu قەۋىتى (µm دەرىجىسى) كۆپىنچە ئۇسۇل ئارقىلىق قولغا كەلتۈرۈلىدۇپۈركۈلگەن Cu ئۇرۇق قەۋىتىگە ئېلېكتروكاپلاش، ئىلتىماسىڭىزغا ئاساسەن.
3-سوئال: ۋاپپېرنىڭ ئىككى تەرىپىنى قاپلىسىڭىز بولامدۇ؟
A: ھەئە.بىر تەرەپلىك ياكى ئىككى تەرەپلىك سىرلاشتەلەپ بويىچە ئىشلىتىشكە بولىدۇ. زاكاز قىلغاندا ئېھتىياجىڭىزنى ئېنىق كۆرسىتىڭ.
بىز ھەققىدە
XKH شىركىتى يۇقىرى تېخنىكىلىق تەرەققىيات، ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئالاھىدە ئوپتىكىلىق ئەينەك ۋە يېڭى كىرىستال ماتېرىياللارنى سېتىشقا ئىختىساسلاشقان. مەھسۇلاتلىرىمىز ئوپتىكىلىق ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى، ئىستېمال ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ۋە ھەربىي ساھەلەرگە مۇلازىمەت قىلىدۇ. بىز ياقۇت ئوپتىكىلىق زاپچاسلار، يانفون لىنزىسى قاپقىقى، كېرامىكا، LT، كرېمنىي كاربىد SIC، كۋارتس ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كىرىستال ۋاپشىلارنى تەمىنلەيمىز. ماھارەتلىك تەجرىبىمىز ۋە ئەڭ يېڭى ئۈسكۈنىلەر بىلەن، بىز ئۆلچەملىك بولمىغان مەھسۇلات پىششىقلاش ساھەسىدە ئۈستۈنلۈكنى قولغا كەلتۈرىمىز، ئالدىنقى قاتاردىكى ئوپتىكىلىق ئېلېكترون ماتېرىياللىرى يۇقىرى تېخنىكىلىق كارخانا بولۇشنى مەقسەت قىلىمىز.










