يېرىم ئۆتكۈزگۈچ، فوتونىكا ئوپتىكىلىق قوللىنىشچان پروگراممىلىرى ئۈچۈن يۇقىرى ساپلىقتىكى ئېرىتىلگەن كۋارتس ۋاپلېنكىلىرى 2″4″6″8″12″
تەپسىلىي دىئاگرامما
كۋارتس ئەينەكنىڭ ئومۇمىي ئەھۋالى
كۋارتس لېنتىلىرى بۈگۈنكى رەقەملىك دۇنيانى ھەرىكەتلەندۈرىدىغان سانسىز زامانىۋى ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئاساسىنى تەشكىل قىلىدۇ. ئەقلىي تېلېفونىڭىزدىكى يول باشلاش سىستېمىسىدىن تارتىپ 5G ئاساسىي پونكىتلىرىنىڭ ئاساسىغىچە، كۋارتس يۇقىرى ئىقتىدارلىق ئېلېكترون ۋە فوتونىك ئۈسكۈنىلەردە تەلەپ قىلىنىدىغان مۇقىملىق، ساپلىق ۋە ئېنىقلىقنى جىمجىتلىق بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئەۋرىشىملىك توك يولىنى قوللاش، MEMS سېنزورلىرىنى قوزغىتىش ياكى كۋانت ھېسابلاشنىڭ ئاساسىنى شەكىللەندۈرۈش بولسۇن، كۋارتسنىڭ ئۆزگىچە ئالاھىدىلىكلىرى ئۇنى كەسىپلەرنىڭ ھەممىسىدە كەم بولسا بولمايدىغان قىلىدۇ.
«ئېرىشكەن كرېمنىي» ياكى «ئېرىشكەن كۋارتس»، بۇ كۋارتسنىڭ (SiO2) ئامورف باسقۇچى. بوروسىلىكات ئەينەك بىلەن سېلىشتۇرغاندا، ئېرىتىلگەن كرېمنىينىڭ قوشۇمچە ماددىلار يوق؛ شۇڭا ئۇ ساپ شەكلىدە، يەنى SiO2 دا مەۋجۇت. ئېرىتىلگەن كرېمنىي نورمال ئەينەككە سېلىشتۇرغاندا ئىنفىرا قىزىل ۋە ئۇلترابىنەفشە نۇر سپېكتىرىدا يۇقىرى ئۆتكۈزۈشچانلىققا ئىگە. ئېرىتىلگەن كرېمنىي ئىنتايىن ساپ SiO2 نى ئېرىتىش ۋە قايتا قېتىش ئارقىلىق ھاسىل بولىدۇ. يەنە بىر تەرەپتىن، سۈنئىي ئېرىتىلگەن كرېمنىي SiCl4 قاتارلىق كرېمنىيغا باي خىمىيىلىك ماددىلاردىن ياسىلىدۇ، ئۇلار گازلاشتۇرۇلۇپ، ئاندىن H2 + O2 ئاتموسفېراسىدا ئوكسىدلىنىدۇ. بۇ ئەھۋالدا ھاسىل بولغان SiO2 چاڭ-توزانلىرى ئاساستا كرېمنىيغا ئېرىتىلىدۇ. ئېرىتىلگەن كرېمنىي بۆلەكلىرى ۋافلىلارغا كېسىلىدۇ، ئاندىن ۋافلىلار ئاخىرىدا سىلىقلىنىدۇ.
كۋارتس ئەينەك ۋافېرىنىڭ ئاساسلىق ئالاھىدىلىكلىرى ۋە پايدىلىرى
-
ئىنتايىن يۇقىرى ساپلىق (≥99.99% SiO2)
ماتېرىيال بۇلغىنىشىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش كېرەك بولغان ئىنتايىن پاكىز يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە فوتونىك جەريانلار ئۈچۈن ئەڭ ماس كېلىدۇ. -
كەڭ تېرمىك ئىشلىتىش دائىرىسى
1100 سېلسىيە گرادۇستىن يۇقىرى سوغۇق تېمپېراتۇرىدا قۇرۇلمىنىڭ پۈتۈنلۈكىنى ساقلايدۇ، بۇزۇلۇش ياكى پارچىلىنىشتىن ساقلايدۇ. -
ئۇلترا بىنەپشە ۋە ئىنفىرا قىزىل نۇر ئۆتكۈزۈشچانلىقى ناھايىتى ياخشى
چوڭقۇر ئۇلترابىنەفشە نۇر (DUV) دىن يېقىن ئىنفىرا قىزىل نۇر (NIR) غىچە بولغان ئوپتىكىلىق ئېنىقلىقنى ئەلالاشتۇرۇپ، ئېنىق ئوپتىكىلىق قوللىنىشچان پروگراممىلارنى قوللايدۇ. -
تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى
تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى ئاستىدا ئۆلچەم مۇقىملىقىنى كۈچەيتىپ، بېسىمنى ئازايتىدۇ ۋە جەرياننىڭ ئىشەنچلىكلىكىنى ئاشۇرىدۇ. -
يۇقىرى دەرىجىلىك خىمىيىلىك قارشىلىق
كۆپىنچە كىسلاتا، ئىشقار ۋە ئېرىتكۈچىلەرگە قارشى تۇرالمايدۇ، بۇ ئۇنى خىمىيىلىك جەھەتتىن ئاكتىپ مۇھىتلارغا ناھايىتى ماس كېلىدۇ. -
يۈزەكى رەڭنىڭ يۇمشاقلىقى
ئىنتايىن سىلىق، بىر تەرەپلىك ياكى ئىككى تەرەپلىك سىلىقلانغان، فوتون ۋە MEMS تەلىپىگە ماس كېلىدىغان شەكىلدە بار.
كۋارتس ئەينەك ۋافېرىنى ئىشلەپچىقىرىش جەريانى
ئېرىتىلگەن كۋارتس ۋافرىلىرى بىر قاتار كونترول قىلىنىدىغان ۋە ئېنىق باسقۇچلار ئارقىلىق ئىشلەپچىقىرىلىدۇ:
-
خام ماتېرىيال تاللاش
يۇقىرى ساپلىقتىكى تەبىئىي كۋارتس ياكى سۈنئىي SiO₂ مەنبەلىرىنى تاللاش. -
ئېرىتىش ۋە قېتىش
كۋارتس ئېلېكتر ئوچاقلىرىدا تەخمىنەن 2000 سېلسىيە گرادۇستا كونترول قىلىنىدىغان ئاتموسفېرا ئاستىدا ئېرىتىلىدۇ، بۇ ئارقىلىق قوشۇلۇشلار ۋە كۆپۈكچىلەرنى يوقىتىشقا بولىدۇ. -
بلوك شەكىللەندۈرۈش
ئېرىتىلگەن كرېمنىي قاتتىق بۆلەك ياكى قۇيمىلارغا سوۋۇتۇلىدۇ. -
ۋافلى كېسىش
ئېنىق ئالماس ياكى سىم ئاررالار قۇيۇلغان تاشلارنى ۋافېر شەكلىدە كېسىش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ. -
سۈرتۈش ۋە سىلىقلاش
ئىككى يۈز يۈزى تەكشىلەنگەن ۋە سىلىقلانغان بولۇپ، ئېنىق ئوپتىكىلىق، قېلىنلىق ۋە داغلىق ئۆلچىمىگە ماس كېلىدۇ. -
تازىلاش ۋە تەكشۈرۈش
ۋافلىلار ISO 100/1000 دەرىجىلىك تازىلىق ئۆيلىرىدە تازىلىنىدۇ ھەمدە نۇقسانلار ۋە ئۆلچەم ماسلىشىشچانلىقىنى قاتتىق تەكشۈرۈشتىن ئۆتكۈزۈلىدۇ.
كۋارتس ئەينەك ۋافېرىنىڭ خۇسۇسىيەتلىرى
| ئۆلچەم | بىرلىك | 4" | 6" | 8" | 10" | 12 دىيۇم |
|---|---|---|---|---|---|---|
| دىئامېتىر / چوڭلۇق (ياكى كۋادرات) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| چىدامچانلىق (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| قېلىنلىقى | mm | 0.10 ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى | 0.30 ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى | 0.40 ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى | 0.50 ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى | 0.50 ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى |
| ئاساسلىق پايدىلىنىش تۈزلەڭلىكى | mm | 32.5 | 57.5 | يېرىم ئۆڭكۈر | يېرىم ئۆڭكۈر | يېرىم ئۆڭكۈر |
| LTV (5mm×5mm) | μm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| TTV | μm | <2 | <3 | <3 | <5 | <5 |
| ياي | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| بۇرمىلاش | μm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5mm×5mm) < 0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| قىرنى يۇمىلاقلاش | mm | SEMI M1.2 ئۆلچىمىگە ماس كېلىدۇ / IEC62276 غا قاراڭ | ||||
| يۈزە تىپى | بىر تەرەپ سىلىقلانغان / قوش تەرەپ سىلىقلانغان | |||||
| سىلىقلانغان يان تەرەپ Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| ئارقا تەرەپ ئۆلچىمى | μm | ئادەتتىكى 0.2-0.7 ياكى خاسلاشتۇرۇلغان | ||||
كۋارتس ۋە باشقا شەفاف ماتېرىياللار
| مۈلۈك | كۋارتس ئەينەك | بوروسىلىكات ئەينەك | ياقۇت | ئۆلچەملىك ئەينەك |
|---|---|---|---|---|
| ئەڭ يۇقىرى ئىشلىتىش تېمپېراتۇرىسى | ~1100°C | ~500°C | ~2000°C | ~200°C |
| UV ئۆتكۈزۈش | ناھايىتى ياخشى (JGS1) | نامرات | ياخشى | ناھايىتى ناچار |
| خىمىيىلىك قارشىلىق | ناھايىتى ياخشى | ئوتتۇراھال | ناھايىتى ياخشى | نامرات |
| پاكلىق | ئىنتايىن يۇقىرى | تۆۋەندىن ئوتتۇراھالغىچە | يۇقىرى | تۆۋەن |
| ئىسسىقلىق كېڭىيىشى | ناھايىتى تۆۋەن | ئوتتۇراھال | تۆۋەن | يۇقىرى |
| چىقىم | ئوتتۇراھالدىن يۇقىرىغىچە | تۆۋەن | يۇقىرى | ناھايىتى تۆۋەن |
كۋارتس ئەينەك ۋافېرى ھەققىدە كۆپ سورىلىدىغان سوئاللار
1-سوئال: ئېرىتىلگەن كۋارتس بىلەن ئېرىتىلگەن كۋارتسنىڭ پەرقى نېمە؟
ئىككىسى SiO₂ نىڭ ئامورف شەكلى بولسىمۇ، ئېرىتىلگەن كۋارتس ئادەتتە تەبىئىي كۋارتس مەنبەلىرىدىن كېلىدۇ، ئېرىتىلگەن كۋارتس بولسا سۈنئىي ئۇسۇلدا ئىشلەپچىقىرىلىدۇ. فۇنكسىيە جەھەتتىن قارىغاندا، ئۇلار ئوخشاش ئىقتىدارغا ئىگە، ئەمما ئېرىتىلگەن كۋارتسنىڭ ساپلىقى ۋە بىر خىللىقى سەل يۇقىرى بولۇشى مۇمكىن.
2-سوئال: ئېرىتىلگەن كۋارتس ۋافېرلىرىنى يۇقىرى ۋاكۇئۇملۇق مۇھىتتا ئىشلەتكىلى بولامدۇ؟
ھەئە. گاز چىقىرىش خۇسۇسىيىتى تۆۋەن ۋە ئىسسىقلىققا قارشى تۇرۇش كۈچى يۇقىرى بولغاچقا، ئېرىتىلگەن كۋارتس ۋافېرلىرى ۋاكۇئۇم سىستېمىسى ۋە ئاۋىئاتسىيە ئىشلىرىغا ناھايىتى ماس كېلىدۇ.
3-سوئال: بۇ لېنتىلار چوڭقۇر ئۇلترا بىنەپشە نۇرلۇق لازېر ئىشلىتىش ئۈچۈن ماس كېلەمدۇ؟
ئەلۋەتتە. ئېرىتىلگەن كۋارتسنىڭ نۇر ئۆتكۈزۈشچانلىقى ~185 نانومېتىرغىچە بولۇپ، DUV ئوپتىكىسى، لىتوگرافىيە ماسكىسى ۋە ئېكسىمېر لازېر سىستېمىسىغا ئەڭ ماس كېلىدۇ.
4-سوئال: سىز خاسلاشتۇرۇلغان ۋافتا ياساشنى قوللامسىز؟
ھەئە. بىز سىزنىڭ كونكرېت قوللىنىش تەلىپىڭىزگە ئاساسەن، دىئامېتىر، قېلىنلىق، يۈزەكى سۈپەت، تۈزلۈك/ئوچۇقلۇق ۋە لازېرلىق نەقىشلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالغان تولۇق خاسلاشتۇرۇش مۇلازىمىتى بىلەن تەمىنلەيمىز.
بىز ھەققىدە
XKH شىركىتى يۇقىرى تېخنىكىلىق تەرەققىيات، ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئالاھىدە ئوپتىكىلىق ئەينەك ۋە يېڭى كىرىستال ماتېرىياللارنى سېتىشقا ئىختىساسلاشقان. مەھسۇلاتلىرىمىز ئوپتىكىلىق ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى، ئىستېمال ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ۋە ھەربىي ساھەلەرگە مۇلازىمەت قىلىدۇ. بىز ياقۇت ئوپتىكىلىق زاپچاسلار، يانفون لىنزىسى قاپقىقى، كېرامىكا، LT، كرېمنىي كاربىد SIC، كۋارتس ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كىرىستال ۋاپشىلارنى تەمىنلەيمىز. ماھارەتلىك تەجرىبىمىز ۋە ئەڭ يېڭى ئۈسكۈنىلەر بىلەن، بىز ئۆلچەملىك بولمىغان مەھسۇلات پىششىقلاش ساھەسىدە ئۈستۈنلۈكنى قولغا كەلتۈرىمىز، ئالدىنقى قاتاردىكى ئوپتىكىلىق ئېلېكترون ماتېرىياللىرى يۇقىرى تېخنىكىلىق كارخانا بولۇشنى مەقسەت قىلىمىز.











