ماۋزۇ: ئۆزەك ياساشتا FOUP دېگەن نېمە؟

مەزمۇن جەدۋىلى

1. FOUP نىڭ ئومۇمىي ئەھۋالى ۋە يادرولۇق ئىقتىدارلىرى

2. FOUP نىڭ قۇرۇلمىسى ۋە لايىھىلەش ئالاھىدىلىكى

3. FOUP نىڭ تۈرگە ئايرىش ۋە قوللىنىش قوللانمىسى

4. FOUP نىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى رولى ۋە ئەھمىيىتى

5. تېخنىكىلىق رىقابەت ۋە كەلگۈسى تەرەققىيات يۈزلىنىشى

6.XKH نىڭ خاسلاشتۇرۇلغان ھەل قىلىش چارىسى ۋە مۇلازىمەت قوللىشى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ، ئالدى ئېچىۋېتىلگەن بىرلەشمە پود (FOUP) ۋافېرنى قوغداش ، توشۇش ۋە ساقلاشتا ئىشلىتىلىدىغان ھالقىلىق قاچا. ئۇنىڭ ئىچكى قىسمىغا 25 مىللىمېتىر 300 مىللىمېتىرلىق ۋافېر سىغىدۇ ، ئۇنىڭ ئاساسلىق زاپچاسلىرى ئالدى ئېچىلىدىغان قاچا ۋە ئېچىش ۋە تاقاش ئۈچۈن مەخسۇس ئىشىك رامكىسىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. FOUP 12 دىيۇملۇق ۋافېر ئىچىدىكى ئاپتوماتىك توشۇش سىستېمىسىدىكى يادرولۇق توشۇغۇچى. ئۇ ئادەتتە يېپىق ھالەتتە توشۇلىدۇ ، ئۈسكۈنىلەرنى يۈكلەش ئېغىزىغا ئىتتىرىلگەندىلا ئاندىن ئېچىلىدۇ ، ۋافېرلارنى ئۈسكۈنىلەرنىڭ قاچىلاش / چۈشۈرۈش ئېغىزىغا يۆتكىگىلى بولىدۇ.

FOUP نىڭ لايىھىسى مىكرو مۇھىت تەلىپىگە ماسلاشتۇرۇلغان. ئۇنىڭغا ئارقا تەرىپىگە ۋافېر قىستۇرۇش ئورنى قويۇلغان بولۇپ ، قاپاق مەخسۇس ئاچقۇچنىڭ قىسمىغا ماسلاشتۇرۇلغان قىلىپ لايىھەلەنگەن. ۋافېر بىر تەرەپ قىلىدىغان ماشىنا ئادەملەر 1-دەرىجىلىك پاكىز ھاۋا مۇھىتىدا مەشغۇلات قىلىدۇ ، يەتكۈزۈش جەريانىدا ۋافېرلارنىڭ بۇلغىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. ئۇنىڭدىن باشقا ، FOUP ئاپتوماتىك ماتېرىيال بىر تەرەپ قىلىش سىستېمىسى (AMHS) ئارقىلىق جەريان قوراللىرى ئارىسىدا يۆتكىلىدۇ. زامانىۋى ۋافېر فابلىرى كۆپىنچە توشۇش ئۈچۈن ئۈستۈنكى تۆمۈر يول سىستېمىسىنى ئىشلىتىدۇ ، بىر قانچە كونا فابىلار يەر يۈزىدىكى ئاپتوماتىك يېتەكچى ماشىنا (AGV) نى ئىشلىتىشى مۇمكىن.

FOUP ئاپتوماتىك ۋافېر يۆتكەپلا قالماي ، ساقلاش ئىقتىدارىغىمۇ مۇلازىمەت قىلىدۇ. نۇرغۇنلىغان ياساش باسقۇچلىرى سەۋەبىدىن ، ۋافېرلار پۈتكۈل جەرياننى تاماملاشقا نەچچە ئاي ۋاقىت كېتىشى مۇمكىن. يۇقىرى ئايلىق ئىشلەپچىقىرىش مىقدارى بىلەن بىرلەشتۈرۈلگەندە ، بۇ فاب ئىچىدىكى ئونمىڭلىغان ۋافېرنىڭ ھەر ۋاقىت توختىماي توشۇش ياكى ۋاقىتلىق ساقلاشتىن دېرەك بېرىدۇ. ساقلاش جەريانىدا ، FOUP نى قەرەللىك ھالدا ئازوت بىلەن تازىلاپ ، بۇلغىمىلارنىڭ ۋافېر بىلەن ئۇچرىشىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىپ ، پاكىز ۋە ئىشەنچلىك ئىشلەپچىقىرىش جەريانىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

1. FOUP نىڭ رولى ۋە ئەھمىيىتى

FOUP نىڭ يادرولۇق ئىقتىدارى ۋافېرلارنى تاشقى زەربە ۋە بۇلغىنىشتىن قوغداش ، بولۇپمۇ يۆتكىلىش جەريانىدا مەھسۇلاتقا تەسىر كۆرسىتىشتىن ساقلىنىش. ئۇ گاز تازىلاش ۋە يەرلىك ئاتموسفېرانى كونترول قىلىش (LAC) قاتارلىق ئۇسۇللار ئارقىلىق نەملىكنىڭ ئۈنۈملۈك ئالدىنى ئالىدۇ ، كېيىنكى ئىشلەپچىقىرىش قەدىمىنى ساقلاش بىلەن بىللە ، ۋافېرلارنىڭ بىخەتەر ھالەتتە تۇرۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. ئۇنىڭ پېچەتلەنگەن ۋە كونترول قىلىنغان سىستېمىسى پەقەت زۆرۈر بىرىكمىلەر ۋە ئېلېمېنتلارنىڭ كىرىشىگە يول قويىدۇ ، بۇ VOC ، ئوكسىگېن ۋە نەملىكنىڭ ۋافېرغا بولغان پايدىسىز تەسىرىنى كۆرۈنەرلىك تۆۋەنلىتىدۇ.

25 دانە ۋافېر قاچىلانغان FOUP نىڭ ئېغىرلىقى 9 كىلوگىرامغا يېتىدىغان بولغاچقا ، ئۇنى توشۇش چوقۇم ئاپتوماتىك ماتېرىيال بىر تەرەپ قىلىش سىستېمىسى (AMHS) غا تايىنىشى كېرەك. بۇنى قۇلايلاشتۇرۇش ئۈچۈن ، FOUP تۇتاشتۇرۇش تاختىسى ، مىخ ۋە تۆشۈكلەرنىڭ ھەر خىل بىرىكمىلىرى بىلەن لايىھەلەنگەن بولۇپ ، ئاسان پەرقلەندۈرۈش ۋە تۈرگە ئايرىش ئۈچۈن RFID ئېلېكترونلۇق بەلگە ئورنىتىلغان. بۇ ئاپتوماتىك بىر تەرەپ قىلىش ئاساسەن قولدا مەشغۇلات قىلىشنى تەلەپ قىلمايدۇ ، خاتالىق نىسبىتىنى زور دەرىجىدە تۆۋەنلىتىدۇ ھەمدە ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنىڭ بىخەتەرلىكى ۋە توغرىلىقىنى ئۆستۈرىدۇ.

2. FOUP نىڭ قۇرۇلمىسى ۋە تۈرگە ئايلىنىشى

FOUP نىڭ تىپىك ئۆلچىمى كەڭلىكى تەخمىنەن 420 مىللىمېتىر ، چوڭقۇرلۇقى 335 مىللىمېتىر ، ئېگىزلىكى 335 مىللىمېتىر. ئۇنىڭ ئاساسلىق قۇرۇلما تەركىبلىرى تۆۋەندىكىلەرنى كۆتۈرۈش ئۈچۈن ئۈستۈنكى OHT (موگۇ بېشى) ؛ ئۈسكۈنىلەرنىڭ ۋافېرغا كىرىش ئالدى ئىشىكى يان تەرەپ تۇتقۇچ ، ئوخشىمىغان رەڭدىكى جەريان رايونلىرىنى پەرقلەندۈرۈش ئۈچۈن دائىم رەڭلىك كودلىنىدۇ. ئۇچۇر كارتىلىرىنى قويۇش ئۈچۈن كارتا رايونى ھەمدە ئاستىدىكى RFID بەلگىسى FOUP ئۈچۈن بىردىنبىر پەرقلىگۈچ رولىنى ئوينايدۇ ، قورال ۋە ئۈستۈنكى كۆتۈرۈلۈش ئۇنى تونۇيالايدۇ. بۇ بازىغا يەنە قوراللار بىلەن ماسلاشتۇرۇش ۋە جەريان رايونلىرىنى پەرقلەندۈرۈش ئۈچۈن تۆت پەرقلەندۈرۈش ۋە ئورۇن بەلگىلەش تۆشۈكى ئورنىتىلغان.

ئىشلىتىشكە ئاساسەن ، FOUP لار PRD (ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن) ، ENG (قۇرۇلۇش ۋافېرلىرى ئۈچۈن) ۋە MON (كۆزەتكۈچى ۋافېر ئۈچۈن) دىن ئىبارەت ئۈچ خىلغا ئايرىلىدۇ. PRD FOUP نى مەھسۇلات ئىشلەپچىقىرىشقا ئىشلىتىشكە بولىدۇ ، ENG تىپلىرى تەتقىق قىلىپ ئېچىش ياكى سىناق قىلىشقا ماس كېلىدۇ ، MON تىپلىرى CMP ۋە DIFF غا ئوخشاش باسقۇچلارنى نازارەت قىلىشقا بېغىشلانغان. دىققەت قىلىشقا تېگىشلىكى شۇكى ، PRD FOUP نى ENG ۋە MON ئۈچۈن ئىشلىتىشكە بولىدۇ ، ENG تىپلىرىنى MON ئۈچۈن ئىشلىتىشكە بولىدۇ ، ئەمما تەتۈر مەشغۇلات سۈپەتلىك خەتەر ئېلىپ كېلىدۇ.

بۇلغىنىش دەرىجىسىگە ئايرىپ ، FOUP نى FE FOUP (ئالدى تەرەپ جەريانى ، مېتالسىز) ، BE FOUP (ئارقا ئارقا جەريان ، مېتال ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ) ۋە NI FOUP ، CU FOUP ۋە CO FOUP غا ئوخشاش ئالاھىدە مېتال جەريانلارغا بۆلۈشكە بولىدۇ. ئوخشىمىغان جەرياندىكى FOUP ئادەتتە يان تۇتقۇچ ياكى ئىشىك تاختىسىنىڭ رەڭگى بىلەن پەرقلىنىدۇ. ئالدىنقى باسقۇچتىكى FOUP نى ئارقا باسقۇچلۇق جەرياندا ئىشلىتىشكە بولىدۇ ، ئەمما ئارقا سەپتىكى FOUP نى ھەرگىزمۇ ئالدىنقى باسقۇچتا ئىشلىتىشكە بولمايدۇ ، چۈنكى بۇ بۇلغىنىش خەۋپىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتىكى مۇھىم توشۇغۇچى بولۇش سۈپىتى بىلەن ، FOUP يۇقىرى ئاپتوماتلاشتۇرۇش ۋە قاتتىق بۇلغىنىشنى كونترول قىلىش ئارقىلىق ، ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ۋافېرلارنىڭ بىخەتەرلىكى ۋە پاكىزلىقىغا كاپالەتلىك قىلىپ ، ئۇنى زامانىۋى ۋافېر زاۋۇتىدىكى كەم بولسا بولمايدىغان ئۇل ئەسلىھەگە ئايلاندۇردى.

خۇلاسە

XKH خېرىدارلارنى يۇقىرى دەرىجىدە خاسلاشتۇرۇلغان ئالدى ئېچىۋېتىلگەن بىرلەشمە Pod (FOUP) ھەل قىلىش چارىسى بىلەن تەمىنلەشكە ۋەدە بېرىدۇ ، سىزنىڭ كونكرېت جەريان تەلىپىڭىز ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ كۆرۈنمە يۈزى ئۆلچىمىگە قاتتىق ئەمەل قىلىدۇ. ئىلغار ماتېرىيال تېخنىكىسى ۋە ئىنچىكە ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىن پايدىلىنىپ ، ھەر بىر FOUP مەھسۇلاتلىرىنىڭ ئالاھىدە ھاۋا ئۆتكۈزۈشچانلىقى ، پاكىزلىقى ۋە مېخانىك مۇقىملىقىنى يەتكۈزۈشىگە كاپالەتلىك قىلىمىز. تېخنىكا گۇرۇپپىمىز چوڭقۇر كەسىپ تەجرىبىسىگە ئىگە بولۇپ ، تاللاش مەسلىھەتچىلىكى ۋە قۇرۇلمىنى ئەلالاشتۇرۇشتىن تارتىپ تازىلاش ۋە ئاسراشقىچە بولغان FOUP بىلەن ئاپتوماتىك ماتېرىيال بىر تەرەپ قىلىش سىستېمىسى (AMHS) شۇنداقلا پىششىقلاپ ئىشلەش ئۈسكۈنىلىرى ئارىسىدىكى مۇكەممەل بىر گەۋدىلىشىش ۋە ئۈنۈملۈك ھەمكارلىققا كاپالەتلىك قىلىدۇ. بىز ئىزچىل تۈردە ۋافېرنىڭ بىخەتەرلىكى ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى ئاشۇرۇشنى يادرولۇق نىشانىمىز سۈپىتىدە ئالدىنقى ئورۇنغا قويدۇق. يېڭىلىق يارىتىشچان مەھسۇلاتلار ۋە ھەممىنى ئۆز ئىچىگە ئالغان تېخنىكىلىق مۇلازىمەتلەر ئارقىلىق ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىڭىزنى پۇختا كاپالەت بىلەن تەمىنلەيمىز ، ئاخىرىدا ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمى ۋە مەھسۇلات ئۈنۈمىنى ئۆستۈرىمىز.