SiC كېرامىك چاتال قولى / ئۇچى ئېففېكتورى - يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن ئىلغار ئېنىقلىق بىر تەرەپ قىلىش

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

SiC كېرامىك چاتال قولى، كۆپىنچە كېرامىك ئۇچى ئېففېكتورى دەپ ئاتىلىدۇ، يۇقىرى تېخنىكىلىق كەسىپلەردە، بولۇپمۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە فوتوۋولت ئىشلەپچىقىرىشتا ۋافېر توشۇش، تەڭشەش ۋە ئورۇنلاشتۇرۇش ئۈچۈن مەخسۇس ئىجاد قىلىنغان يۇقىرى ئىقتىدارلىق ئېنىقلىق بىر تەرەپ قىلىش زاپچاسى. يۇقىرى ساپلىقتىكى كرېمنىي كاربىد كېرامىكىسىدىن ياسالغان بۇ زاپچاس ئالاھىدە مېخانىكىلىق كۈچ، ئىنتايىن تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ۋە ئىسسىقلىق زەربىسى ۋە چىرىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى بىلەن بىرلەشتۈرۈلگەن.


ئالاھىدىلىكلەر

تەپسىلىي دىئاگرامما

4_ 副本
3_ 副本

مەھسۇلاتقا ئومۇمىي نەزەر

SiC كېرامىك چاتال قولى، كۆپىنچە كېرامىك ئۇچى ئېففېكتورى دەپ ئاتىلىدۇ، يۇقىرى تېخنىكىلىق كەسىپلەردە، بولۇپمۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە فوتوۋولت ئىشلەپچىقىرىشتا ۋافېر توشۇش، تەڭشەش ۋە ئورۇنلاشتۇرۇش ئۈچۈن مەخسۇس ئىجاد قىلىنغان يۇقىرى ئىقتىدارلىق ئېنىقلىق بىر تەرەپ قىلىش زاپچاسى. يۇقىرى ساپلىقتىكى كرېمنىي كاربىد كېرامىكىسىدىن ياسالغان بۇ زاپچاس ئالاھىدە مېخانىكىلىق كۈچ، ئىنتايىن تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ۋە ئىسسىقلىق زەربىسى ۋە چىرىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى بىلەن بىرلەشتۈرۈلگەن.

ئاليۇمىن، داتلاشماس پولات ياكى ھەتتا كۋارتستىن ياسالغان ئەنئەنىۋى ئاخىرقى ئۈنۈم بەرگۈچىلەردىن پەرقلىق ھالدا، SiC كېرامىك ئاخىرقى ئۈنۈم بەرگۈچىلىرى ۋاكۇئۇم كامېراسى، پاكىز ئۆيلەر ۋە قاتتىق بىر تەرەپ قىلىش مۇھىتىدا تەڭداشسىز ئىقتىدار بىلەن تەمىنلەيدۇ، بۇ ئۇلارنى كېيىنكى ئەۋلاد ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش روبوتلىرىنىڭ مۇھىم بىر قىسمىغا ئايلاندۇرىدۇ. بۇلغىنىشسىز ئىشلەپچىقىرىشقا بولغان ئېھتىياجنىڭ ئېشىشى ۋە چىدامچانلىقنىڭ كۈچەيتىلىشىگە ئەگىشىپ، كېرامىك ئاخىرقى ئۈنۈم بەرگۈچىلەرنى ئىشلىتىش تېز سۈرئەتتە كەسىپ ئۆلچىمىگە ئايلىنىۋاتىدۇ.

ئىشلەپچىقىرىش پرىنسىپى

نىڭ ياسىلىشىSiC كېرامىك ئۇچى ئېففېكتورلىرىبىر قاتار يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى، يۇقىرى ساپلىقتىكى جەريانلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ، بۇ جەريانلار ئىقتىدار ۋە چىدامچانلىقنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. ئادەتتە ئىككى ئاساسلىق جەريان ئىشلىتىلىدۇ:

رېئاكسىيە بىلەن باغلانغان كرېمنىي كاربىدى (RB-SiC)

بۇ جەرياندا، كرېمنىي كاربىد پاراشوكى ۋە باغلىغۇچى ماددىدىن ياسالغان ئالدىن شەكىل يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا (~1500°C) ئېرىتىلگەن كرېمنىي بىلەن سىڭىپ كىرىدۇ، بۇ كرېمنىي قالدۇق كاربون بىلەن رېئاكسىيەلىشىپ، زىچ، قاتتىق SiC-Si بىرىكمىسىنى ھاسىل قىلىدۇ. بۇ ئۇسۇل ئۆلچەمنى ناھايىتى ياخشى كونترول قىلىش ئىقتىدارى بىلەن تەمىنلەيدۇ ھەمدە چوڭ كۆلەملىك ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن ئەرزان.

بېسىمسىز سىنتېرلانغان كرېمنىي كاربىدى (SSiC)

SSiC قوشۇمچە ماددىلار ياكى باغلاش باسقۇچى ئىشلەتمەي، ئىنتايىن يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا (>2000°C) ئىنتايىن نېپىز، يۇقىرى ساپلىقتىكى SiC پاراشوكىنى پىشۇرۇش ئارقىلىق ياسىلىدۇ. بۇنىڭ نەتىجىسىدە، زىچلىقى %100 كە يېقىن بولۇپ، SiC ماتېرىياللىرى ئىچىدە ئەڭ يۇقىرى مېخانىكىلىق ۋە ئىسسىقلىق خۇسۇسىيىتىگە ئىگە مەھسۇلات ھاسىل بولىدۇ. ئۇ ئىنتايىن مۇھىم ۋافلى بىر تەرەپ قىلىش قوللىنىشچان پروگراممىلىرى ئۈچۈن ئەڭ ماس كېلىدۇ.

كېيىنكى بىر تەرەپ قىلىش

  • ئېنىق CNC پىششىقلاش: يۇقىرى تۈزلۈك ۋە پاراللېللىققا ئېرىشىدۇ.

  • يۈزەكى پۈشۈرۈشئالماس سىلىقلاش يۈزىنىڭ پۇختىلىقىنى <0.02 µm غىچە تۆۋەنلىتىدۇ.

  • تەكشۈرۈشھەر بىر پارچىنى تەكشۈرۈش ئۈچۈن ئوپتىكىلىق ئارىلىشىش ئۆلچەش، CMM ۋە بۇزغۇنچىلىقسىز سىناق ئىشلىتىلىدۇ.

بۇ قەدەملەر شۇنىڭغا كاپالەتلىك قىلىدۇكى،SiC ئاخىرقى ئۈنۈم بەرگۈچىمۇقىم ۋافتا ئورۇنلاشتۇرۇش توغرىلىقى، ئەلا تۈزلۈك ۋە ئەڭ تۆۋەن زەررىچە ھاسىل قىلىش ئىقتىدارىنى تەمىنلەيدۇ.

ئاساسلىق ئالاھىدىلىكلەر ۋە پايدىلار

ئالاھىدىلىك چۈشەندۈرۈش
ئىنتايىن يۇقىرى قاتتىقلىق ۋىككېرس قاتتىقلىقى > 2500 HV، ئۇپراشقا ۋە يېرىلىشقا چىداملىق.
تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى CTE ~4.5×10⁻⁶/K بولۇپ، ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكىدە ئۆلچەملىك مۇقىملىقنى قوللايدۇ.
خىمىيىلىك ئىنېرتلىق HF، HCl، پلازما گازلىرى ۋە باشقا چىرىتىش خاراكتېرلىك ماددىلارغا چىداملىق.
ئىسسىقلىق سوقۇلۇشىغا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى ناھايىتى ياخشى ۋاكۇئۇم ۋە ئوچاق سىستېمىلىرىدا تېز قىزىتىش/سوۋۇتۇشقا ماس كېلىدۇ.
يۇقىرى قاتتىقلىق ۋە كۈچلۈكلۈك ئۇزۇن كونسورلۇق چاتال قوللىرىنى ئېگىلىپ كەتمەي قوللايدۇ.
گاز چىقىرىش مىقدارى تۆۋەن ئۇلترا يۇقىرى ۋاكۇئۇم (UHV) مۇھىتى ئۈچۈن ئەڭ ماس كېلىدۇ.
ISO 1 دەرىجىلىك تازىلاش ئۆيى تەييار زەررىچەسىز ئىشلەش ۋافلىنىڭ پۈتۈنلۈكىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.

 

قوللىنىشچان پروگراممىلار

SiC كېرامىك چاتال قولى / ئۇچى ئېففېكتورى ئىنتايىن ئېنىقلىق، پاكىزلىق ۋە خىمىيىلىك ماددىلارغا قارشى تۇرۇشنى تەلەپ قىلىدىغان كەسىپلەردە كەڭ قوللىنىلىدۇ. ئاساسلىق قوللىنىش ئەھۋاللىرى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش

  • چۆكمە (CVD, PVD)، ئويۇش (RIE, DRIE) ۋە تازىلاش سىستېمىلىرىدا لېفتىنى قاچىلاش/چۈشۈرۈش.

  • FOUP، كاسسىتا ۋە پىششىقلاپ ئىشلەش قوراللىرى ئارىسىدا روبوتلۇق ۋافېر توشۇش.

  • ئىسسىقلىق بىلەن بىر تەرەپ قىلىش ياكى قىزىتىش جەريانىدا يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا بىر تەرەپ قىلىش.

فوتوۋولت ھۈجەيرە ئىشلەپچىقىرىش

  • ئاپتوماتلاشتۇرۇلغان لىنىيەلەردە نازۇك كرېمنىي ۋاپپېرلىرى ياكى قۇياش نۇرى ئاساسلىرىنى نازۇك توشۇش.

ياپلاق تاختا كۆرسىتىش (FPD) سانائىتى

  • OLED/LCD ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدا چوڭ ئەينەك تاختىلار ياكى ئاساسىي تاختىلارنى يۆتكەش.

بىرىكمە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ / MEMS

  • GaN، SiC ۋە MEMS ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىلىرىدە ئىشلىتىلىدۇ، بۇ لىنىيىلەردە بۇلغىنىشنى كونترول قىلىش ۋە ئورۇن بەلگىلەشنىڭ توغرىلىقى ئىنتايىن مۇھىم.

ئۇنىڭ ئاخىرقى ئۈنۈم بېرىش رولى، بولۇپمۇ سەزگۈر مەشغۇلاتلار جەريانىدا نۇقسانسىز ۋە مۇقىم بىر تەرەپ قىلىشنى كاپالەتلەندۈرۈشتە ئىنتايىن مۇھىم.

خاسلاشتۇرۇش ئىقتىدارى

بىز ھەر خىل ئۈسكۈنىلەر ۋە جەريان تەلىپىنى قاندۇرۇش ئۈچۈن كەڭ كۆلەمدە خاسلاشتۇرۇش مۇلازىمىتى بىلەن تەمىنلەيمىز:

  • چاتال لايىھەسىئىككى تىشلىك، كۆپ بارماقلىق ياكى بۆلۈنگەن دەرىجىلىك لايىھەلەر.

  • ۋافلىنىڭ چوڭ-كىچىكلىكىنىڭ ماسلىشىشى2 دىيۇمدىن 12 دىيۇمغىچە بولغان ۋافلىلار.

  • ئورنىتىش ئارايۈزلىرىOEM روبوت قوللىرى بىلەن ماس كېلىدۇ.

  • قېلىنلىق ۋە يۈزەكى چىدامچانلىقمىكرون دەرىجىلىك تۈزلۈك ۋە گىرۋىكىنى يۇمىلاقلاشتۇرۇش مۇمكىن.

  • سىيرىلىپ كېتىشكە قارشى تۇرۇش ئالاھىدىلىكلىرى: ۋېفېرنىڭ مۇقىم تۇتۇلۇشى ئۈچۈن قوشۇمچە يۈزەكى تېكىستۇرا ياكى سىرلاشلار.

ھەر بىرىكېرامىكا ئاخىرقى ئۈنۈمقورال ئۆزگەرتىشى ئەڭ ئاز بولغاندا ئېنىق ماسلىشىشنى كاپالەتلەندۈرۈش ئۈچۈن خېرىدارلار بىلەن بىرلىكتە لايىھەلەنگەن.

كۆپ سورىلىدىغان سوئاللار (FAQ)

1-سوئال: ئاخىرقى ئۈنۈم بېرىش ئۈچۈن SiC كۋارتستىن قانداق قىلىپ ياخشى؟
A1:كۋارتس ئادەتتە ساپلىقى ئۈچۈن ئىشلىتىلسىمۇ، ئۇنىڭ مېخانىكىلىق چىدامچانلىقى يوق ھەمدە يۈك ياكى تېمپېراتۇرا زەربىسى ئاستىدا سۇنۇپ كېتىشكە مايىل. SiC يۇقىرى چىدامچانلىق، ئۇپراشقا چىداملىق ۋە ئىسسىقلىق مۇقىملىقى بىلەن تەمىنلەيدۇ، توختاپ قېلىش ۋە تاختاينىڭ بۇزۇلۇش خەۋپىنى زور دەرىجىدە ئازايتىدۇ.

2-سوئال: بۇ كېرامىكا چاتال قولى بارلىق روبوت ۋافېر بىر تەرەپ قىلغۇچلىرىغا ماس كېلەمدۇ؟
A2:شۇنداق، بىزنىڭ كېرامىكا ئۇچى ئۈنۈملىرىمىز كۆپىنچە ئاساسلىق ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش سىستېمىلىرىغا ماس كېلىدۇ ھەمدە ئېنىق قۇرۇلۇش سىزمىلىرى ئارقىلىق سىزنىڭ ئالاھىدە روبوت مودېللىرىڭىزغا ماسلاشتۇرغىلى بولىدۇ.

3-سوئال: ئۇ 300 مىللىمېتىرلىق ۋافلىلارنى بۇرمىلىنىپ كەتمەي بىر تەرەپ قىلالامدۇ؟
A3:ئەلۋەتتە. SiC نىڭ يۇقىرى قاتتىقلىقى، ھەتتا نېپىز، ئۇزۇن چاتال قوللارنىڭمۇ 300 مىللىمېتىرلىق ۋافرىلارنى ھەرىكەت جەريانىدا ئېگىلىپ ياكى ئېگىلىپ كەتمەي، پۇختا تۇتۇشىغا شارائىت ھازىرلايدۇ.

4-سوئال: SiC كېرامىكا ئاخىرقى ئۈنۈم بەرگۈچىنىڭ ئادەتتىكى ئىشلىتىش ئۆمرى قانچە؟
A4:توغرا ئىشلەتكەندە، SiC ئاخىرقى ئۈنۈم بەرگۈچىسى ئەنئەنىۋى كۋارتس ياكى ئاليۇمىن مودېللىرىغا قارىغاندا 5 ھەسسىدىن 10 ھەسسىگىچە ئۇزۇنراق ئىشلىيەلەيدۇ، چۈنكى ئۇ ئىسسىقلىق ۋە مېخانىكىلىق بېسىمغا ئىنتايىن ياخشى چىدامچان.

5-سوئال: سىز ئالماشتۇرۇش ياكى تېز سۈرئەتلىك ئۈلگە ياساش مۇلازىمىتى بىلەن تەمىنلەمسىز؟
A5:شۇنداق، بىز تېز سۈرئەتتە ئەۋرىشكە ئىشلەپچىقىرىشنى قوللايمىز ھەمدە CAD سىزمىلىرىغا ئاساسەن ئالماشتۇرۇش مۇلازىمىتى ياكى مەۋجۇت ئۈسكۈنىلەردىن تەتۈر قۇرۇلۇش قىلىنغان زاپچاسلار بىلەن تەمىنلەيمىز.

بىز ھەققىدە

XKH شىركىتى يۇقىرى تېخنىكىلىق تەرەققىيات، ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئالاھىدە ئوپتىكىلىق ئەينەك ۋە يېڭى كىرىستال ماتېرىياللارنى سېتىشقا ئىختىساسلاشقان. مەھسۇلاتلىرىمىز ئوپتىكىلىق ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى، ئىستېمال ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ۋە ھەربىي ساھەلەرگە مۇلازىمەت قىلىدۇ. بىز ياقۇت ئوپتىكىلىق زاپچاسلار، يانفون لىنزىسى قاپقىقى، كېرامىكا، LT، كرېمنىي كاربىد SIC، كۋارتس ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كىرىستال ۋاپشىلارنى تەمىنلەيمىز. ماھارەتلىك تەجرىبىمىز ۋە ئەڭ يېڭى ئۈسكۈنىلەر بىلەن، بىز ئۆلچەملىك بولمىغان مەھسۇلات پىششىقلاش ساھەسىدە ئۈستۈنلۈكنى قولغا كەلتۈرىمىز، ئالدىنقى قاتاردىكى ئوپتىكىلىق ئېلېكترون ماتېرىياللىرى يۇقىرى تېخنىكىلىق كارخانا بولۇشنى مەقسەت قىلىمىز.

567

  • ئالدىنقىسى:
  • كېيىنكىسى:

  • ئۇچۇرىڭىزنى بۇ يەرگە يېزىپ بىزگە ئەۋەتىڭ