ICP ئۈچۈن 4 دىيۇملۇق 6 دىيۇملۇق ۋافلىلىق تۇتقۇچ ئۈچۈن SiC كېرامىك تاختا/تەخسە

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

SiC كېرامىك تاختىسى يۇقىرى ساپلىقتىكى كرېمنىي كاربىدتىن ياسالغان يۇقىرى ئىقتىدارلىق زاپچاس بولۇپ، ئىنتايىن ئىسسىقلىق، خىمىيىلىك ۋە مېخانىكىلىق مۇھىتلاردا ئىشلىتىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن. ئالاھىدە قاتتىقلىقى، ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە چىرىشكە چىدامچانلىقى بىلەن داڭلىق بولغان SiC تاختىسى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ، LED، فوتوۋولت ۋە ئاۋىئاتسىيە سانائىتىدە لېنتا توشۇغۇچى، توسقۇچى ياكى قۇرۇلما زاپچاس سۈپىتىدە كەڭ قوللىنىلىدۇ.

بىزگە ئېلخەت ئەۋەتىڭ

ئالاھىدىلىكلەر

SiC كېرامىك تاختىسى ئابستراكت

SiC تاختىسى 1600 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان ئالاھىدە ئىسسىقلىق مۇقىملىقى ۋە ئاكتىپ گازلار ۋە پلازما مۇھىتىغا ئەلا چىدامچانلىقى بىلەن يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئويۇش، چۆكمە قىلىش ۋە تارقىلىش جەريانلىرىدا مۇقىم ئىقتىدارنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. ئۇنىڭ زىچ، تۆشۈكسىز مىكرو قۇرۇلمىسى زەررىچە ھاسىل بولۇشىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈپ، ۋاكۇئۇم ياكى پاكىز ئۆيلەردە ئىنتايىن پاكىز قوللىنىشقا ئەڭ ماس كېلىدۇ.

SiC كېرامىك تاختىسىنىڭ قوللىنىلىشى

1. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش

SiC كېرامىك تاختىلىرى ئادەتتە CVD (خىمىيىلىك پار چۆكمىسى)، PVD (فىزىكىلىق پار چۆكمىسى) ۋە ئويۇش سىستېمىسى قاتارلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىدە ۋافېر توشۇغۇچى، سۇسېپتور ۋە تۈۋرۈك تاختىلىرى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ. ئۇلارنىڭ ئېسىل ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ئۇلارنىڭ تېمپېراتۇرا تەقسىملىنىشىنىڭ بىردەكلىكىنى ساقلىشىغا يول قويىدۇ، بۇ يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ۋافېر پىششىقلاپ ئىشلەش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم. SiC نىڭ چىرىشچان گاز ۋە پلازماغا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى قاتتىق مۇھىتتا چىدامچانلىقنى كاپالەتلەندۈرىدۇ، زەررىچە بۇلغىنىشىنى ئازايتىش ۋە ئۈسكۈنىلەرنى ئاسراشقا ياردەم بېرىدۇ.

2. LED سانائىتى – ICP ئويۇش

LED ئىشلەپچىقىرىش ساھەسىدە، SiC تاختىلىرى ICP (ئىندۇكسىيەلىك بىرلەشتۈرۈلگەن پلازما) ئويۇش سىستېمىسىنىڭ مۇھىم تەركىبىي قىسمى. ئۇلار لېنتا تۇتقۇچ رولىنى ئويناپ، پلازما بىر تەرەپ قىلىش جەريانىدا سافرىت ياكى GaN لېنتىلىرىنى تىرەپ تۇرىدىغان مۇقىم ۋە ئىسسىقلىققا چىداملىق سۇپا بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئۇلارنىڭ ئېسىل پلازما قارشىلىقى، يۈزەكى تۈزلۈكى ۋە ئۆلچەملىك مۇقىملىقى يۇقىرى ئويۇش توغرىلىقى ۋە بىردەكلىكىنى كاپالەتلەندۈرۈشكە ياردەم بېرىپ، LED چىپلىرىنىڭ مەھسۇلات مىقدارى ۋە ئۈسكۈنىنىڭ ئىقتىدارىنى ئاشۇرىدۇ.

3. فوتوۋولتائىك (PV) ۋە قۇياش ئېنېرگىيەسى

SiC كېرامىك تاختىلىرى قۇياش ئېنېرگىيەسى باتارېيەسى ئىشلەپچىقىرىشتا، بولۇپمۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا سىنتېرلاش ۋە قىزىتىش باسقۇچلىرىدا ئىشلىتىلىدۇ. ئۇلارنىڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئىنېرتلىقلىقى ۋە بۇرمىلىنىشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى كرېمنىي ۋافرىلىرىنىڭ مۇقىم پىششىقلىنىشىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا، ئۇلارنىڭ تۆۋەن بۇلغىنىش خەۋپى فوتوۋولت باتارېيەسىنىڭ ئۈنۈمىنى ساقلاش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.

SiC كېرامىك تاختىسىنىڭ خۇسۇسىيىتى

1. ئالاھىدە مېخانىكىلىق كۈچ ۋە قاتتىقلىق

SiC كېرامىك تاختىلىرى ناھايىتى يۇقىرى مېخانىكىلىق كۈچلۈكلۈككە ئىگە بولۇپ، ئادەتتىكى ئېگىلىش كۈچى 400 MPa دىن ئاشىدۇ، ۋىكېرس قاتتىقلىقى >2000 HV غا يېتىدۇ. بۇ ئۇلارنى مېخانىكىلىق ئۇپراش، سۈركىلىش ۋە دېفورماتسىيەگە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىغا ئىگە قىلىپ، يۇقىرى يۈك ياكى قايتا-قايتا ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكى ئاستىدا ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.

2. يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى

SiC نىڭ ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ناھايىتى ياخشى (ئادەتتە 120–200 W/m·K) بولۇپ، ئۇنىڭ يۈزىدە ئىسسىقلىقنى تەكشى تارقىتىشىغا شارائىت ھازىرلايدۇ. بۇ خۇسۇسىيەت ۋاپېل ئويۇش، چۆكمە قىلىش ياكى سىنتلاش قاتارلىق جەريانلاردا ئىنتايىن مۇھىم بولۇپ، تېمپېراتۇرا بىردەكلىكى مەھسۇلات مىقدارى ۋە سۈپىتىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ.

3. يۇقىرى دەرىجىلىك ئىسسىقلىق مۇقىملىقى

يۇقىرى ئېرىش نۇقتىسى (2700 سېلسىيە گرادۇس) ۋە تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى (4.0 × 10⁻⁶/K) بىلەن، SiC كېرامىك تاختىلىرى تېز قىزىتىش ۋە سوۋۇتۇش دەۋرىيلىكى ئاستىدا ئۆلچەم ئېنىقلىقى ۋە قۇرۇلما پۈتۈنلۈكىنى ساقلايدۇ. بۇ ئۇلارنى يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ئوچاقلار، ۋاكۇئۇم كامېرالىرى ۋە پلازما مۇھىتىدا ئىشلىتىشكە ئەڭ ماس كېلىدۇ.

تېخنىكىلىق خۇسۇسىيەتلەر
ئىندېكس	بىرلىك	قىممەت
ماتېرىيال نامى		رېئاكسىيەلىك سىلسىيەلىك كاربىد	بېسىمسىز سىنتېرلانغان كرېمنىي كاربىدى	قايتا كىرىستاللاشتۇرۇلغان كرېمنىي كاربىدى
تەركىب		RBSiC	SSiC	R-SiC
كۆپ مىقداردىكى زىچلىق	گ/سم3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
ئېگىلىش كۈچى	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20 سېلسىيە گرادۇس) 90-100 (1400 سېلسىيە گرادۇس)
سىقىلىش كۈچى	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
قاتتىقلىق	كنوپ	2700	2800	/
چىدامچانلىقنى بۇزۇش	MPa m1/2	4.5	4	/
ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى	W/mk	95	120	23
ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى	10^-6.1/°C	5	4	4.7
خاس ئىسسىقلىق	جوئۇل/گ 0k	0.8	0.67	/
ھاۋادىكى ئەڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرا	℃	1200	1500	1600
ئېلاستىكلىق مودۇلى	Gpa	360	410	240

SiC كېرامىك تاختىسى سوئال-جاۋاب

س: كرېمنىي كاربىد تاختىسىنىڭ خۇسۇسىيىتى نېمە؟

A: كرېمنىي كاربىد (SiC) تاختىلىرى يۇقىرى كۈچلۈكلۈك، قاتتىقلىق ۋە ئىسسىقلىق مۇقىملىقى بىلەن داڭلىق. ئۇلار ئېسىل ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى بىلەن تەمىنلەيدۇ، بۇ ئىنتايىن يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئىشەنچلىك ئىقتىدارنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. SiC يەنە خىمىيىلىك جەھەتتىن ئىنېرت بولۇپ، كىسلاتا، ئىشقار ۋە پلازما مۇھىتىغا چىداملىق بولۇپ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە LED بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن ئەڭ ياخشى. ئۇنىڭ زىچ، سىلىق يۈزى زەررىچە ھاسىل بولۇشنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈپ، پاكىز ئۆينىڭ ماسلىشىشىنى ساقلايدۇ. SiC تاختىلىرى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ، فوتوۋولت ۋە ئاۋىئاتسىيە سانائىتىدە يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە چىرىش مۇھىتىدا لېنتا توشۇغۇچى، توسقۇچى ۋە تىرەك زاپچاسلىرى سۈپىتىدە كەڭ قوللىنىلىدۇ.