يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا قارشىلىق كۆرسىتىدىغان ۋافېر توشۇغۇچ ئۈچۈن SiC كېرامىك تەخسىسى
كرېمنىي كاربىد كېرامىك تەخسىسى (SiC تەخسىسى)
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ۋە LED ئىشلەپچىقىرىش قاتارلىق ئىلغار سانائەت قوللىنىشچان پروگراممىلىرى ئۈچۈن لايىھەلەنگەن، كرېمنىي كاربىد (SiC) ماتېرىيالىغا ئاساسلانغان يۇقىرى ئىقتىدارلىق كېرامىك زاپچاس. ئۇنىڭ ئاساسلىق فۇنكسىيەلىرى ۋافلى توشۇغۇچى، ئويۇش جەريانى سۇپىسى ياكى يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق جەرياننى قوللاش رولىنى ئوينايدۇ، ئالاھىدە ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى، يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا قارشى تۇرۇش ۋە خىمىيىلىك مۇقىملىقتىن پايدىلىنىپ، جەرياننىڭ بىردەكلىكى ۋە مەھسۇلات مىقدارىنى كاپالەتلەندۈرۈشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
ئاساسلىق ئالاھىدىلىكلەر
1. ئىسسىقلىق ئىقتىدارى
- يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى: 140–300 W/m·K بولۇپ، ئەنئەنىۋى گرافىتتىن (85 W/m·K) كۆرۈنەرلىك دەرىجىدە ئېشىپ، تېز ئىسسىقلىق تارقىتىش ۋە ئىسسىقلىق بېسىمىنى تۆۋەنلىتىشكە شارائىت ھازىرلايدۇ.
- تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى: 4.0 × 10⁻⁶/℃ (25–1000℃)، كرېمنىي بىلەن ئوخشاش (2.6 × 10⁻⁶/℃)، ئىسسىقلىق شەكلىنىڭ ئۆزگىرىش خەۋپىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ.
2. مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەتلەر
- يۇقىرى كۈچلۈكلۈك: ئېگىلىش كۈچى ≥320 MPa (20℃)، سىقىلىش ۋە سوقۇلۇشقا چىداملىق.
- يۇقىرى قاتتىقلىق: موھس قاتتىقلىقى 9.5 بولۇپ، ئالماستىن قالسىلا ئىككىنچى ئورۇندا تۇرىدۇ، ئۇپراشقا چىدامچانلىقى يۇقىرى.
3. خىمىيىلىك مۇقىملىق
- چىرىشكە چىداملىق: كۈچلۈك كىسلاتالارغا (مەسىلەن، HF، H₂SO₄) چىداملىق، ئويۇش جەريانى مۇھىتىغا ماس كېلىدۇ.
- ماگنىتلىق ئەمەس: ئىچكى ماگنىتلىق سەزگۈرلۈك <1×10⁻⁶ emu/g، ئېنىقلىق ئەسۋابلىرىنىڭ تەسىرگە ئۇچرىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
4. مۇھىتقا ئىنتايىن چىداملىق بولۇش
- يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىداملىق: ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشلىتىش تېمپېراتۇرىسى 1600–1900℃ گىچە؛ قىسقا مۇددەتلىك قارشىلىق كۆرسىتىش ئىقتىدارى 2200℃ گىچە (ئوكسىگېنسىز مۇھىت).
- ئىسسىقلىق سوقۇلۇشىغا چىداملىق: تېمپېراتۇرىنىڭ تۇيۇقسىز ئۆزگىرىشىگە (ΔT > 1000℃) چىداملىق بولۇپ، يېرىلىپ كەتمەيدۇ.
قوللىنىشچان پروگراممىلار
| قوللىنىش ساھەسى | كونكرېت سىنارىيەلەر | تېخنىكىلىق قىممەت |
| يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش | ۋافېر ئويۇش (ICP)، نېپىز پەردە چۆكمىسى (MOCVD)، CMP سىلىقلاش | يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى تېمپېراتۇرا مەيدانىنىڭ بىردەكلىكىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ؛ تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ۋاسكىنىڭ ئېگىلىپ كېتىشىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ. |
| LED ئىشلەپچىقىرىش | ئېپىتاكسىيال ئۆسۈش (مەسىلەن، GaN)، ۋافېرنى توغراش، ئوراش | كۆپ خىل نۇقسانلارنى باستۇرۇپ، LED چىراغلىرىنىڭ يورۇقلۇق ئۈنۈمى ۋە ئۆمرىنى ئاشۇرىدۇ. |
| فوتوۋولت سانائىتى | كرېمنىيلىق ۋافېر پىشۇرۇش ئوچاقلىرى، PECVD ئۈسكۈنىلىرىنىڭ تىرەكلىرى | يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە ئىسسىقلىق سوقۇلۇشىغا چىداملىق بولۇش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئۆمرىنى ئۇزارتىدۇ. |
| لازېر ۋە ئوپتىكا | يۇقىرى قۇۋۋەتلىك لازېرلىق سوۋۇتۇش ئاساسى، ئوپتىكىلىق سىستېما تىرەكلىرى | يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى تېز ئىسسىقلىق تارقىتىشنى ۋە ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنىڭ مۇقىملىقىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. |
| ئانالىز قوراللىرى | TGA/DSC ئۈلگە ساقلىغۇچلىرى | تۆۋەن ئىسسىقلىق سىغىمى ۋە تېز ئىسسىقلىق ئىنكاسى ئۆلچەش توغرىلىقىنى يۇقىرى كۆتۈرىدۇ. |
مەھسۇلات ئەۋزەللىكلىرى
- ئومۇميۈزلۈك ئىقتىدار: ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى، چىدامچانلىقى ۋە چىرىشكە چىدامچانلىقى ئاليۇمىن ۋە كرېمنىي نىترىد كېرامىكىسىدىن خېلىلا ئېشىپ كېتىدۇ، بۇ ئىنتايىن يۇقىرى ئىشلىتىش تەلىپىنى قاندۇرىدۇ.
- يېنىك لايىھە: زىچلىقى 3.1–3.2 گرام/cm³ (40% پولاتتىن ياسالغان) بولۇپ، ئىنېرتسىيە يۈكىنى ئازايتىدۇ ۋە ھەرىكەت ئېنىقلىقىنى ئاشۇرىدۇ.
- ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈش ۋە ئىشەنچلىكلىك: 1600℃ تېمپېراتۇرىدا ئىشلىتىش ئۆمرى 5 يىلدىن ئېشىپ، توختاپ قېلىش ۋاقتىنى ئازايتىدۇ ۋە ئىشلىتىش تەننەرخىنى %30 تۆۋەنلىتىدۇ.
- خاسلاشتۇرۇش: ئېنىق قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن تۈزلۈك خاتالىقى <15 μm بولغان مۇرەككەپ گېئومېتىرىيەلىك شەكىللەرنى (مەسىلەن، تۆشۈكلۈك سۈمۈرۈش قاچىلىرى، كۆپ قەۋەتلىك تەخسىلەر) قوللايدۇ.
تېخنىكىلىق ئۆلچەملەر
| پارامېتىر تۈرى | كۆرسەتكۈچ |
| فىزىكىلىق خۇسۇسىيەتلەر | |
| زىچلىق | ≥3.10 گرام/سانتىمېتىر³ |
| ئېگىلىش كۈچى (20℃) | 320–410 MPa |
| ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى (20℃) | 140–300 W/(m·K) |
| ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى (25–1000℃) | 4.0×10⁻⁶/℃ |
| خىمىيىلىك خۇسۇسىيەتلەر | |
| كىسلاتاغا قارشىلىق كۆرسىتىش (HF/H₂SO₄) | 24 سائەت چىلانغاندىن كېيىن چىرىش بولمايدۇ |
| ماشىنا ئىشلەش ئېنىقلىقى | |
| تۈزلۈك | ≤15 مىكرومېتىر (300×300 مىللىمېتىر) |
| يۈزەكى پۇختىلىق (Ra) | ≤0.4 مىكرومېتىر |
XKH نىڭ مۇلازىمەتلىرى
XKH شىركىتى خاسلاشتۇرۇلغان تەرەققىيات، ئېنىقلىق بىلەن پىششىقلاپ ئىشلەش ۋە قاتتىق سۈپەت كونترول قىلىش قاتارلىق ئومۇميۈزلۈك سانائەت ھەل قىلىش چارىلىرى بىلەن تەمىنلەيدۇ. خاسلاشتۇرۇلغان تەرەققىيات ئۈچۈن، ئۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئاۋىئاتسىيە قاتارلىق قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن مۇرەككەپ گېئومېتىرىيەلەرنى ئەلالاشتۇرۇش ئۈچۈن 3D مودېللاشتۇرۇش ۋە سىمۇلياتسىيە بىلەن بىرلەشتۈرۈلگەن يۇقىرى ساپلىق (>99.999%) ۋە تۆشۈكلۈك (%30-50 تۆشۈكلۈك) ماتېرىيال ھەل قىلىش چارىلىرى بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئېنىقلىق بىلەن پىششىقلاپ ئىشلەش ئاددىيلاشتۇرۇلغان جەريانغا ئەگىشىدۇ: پاراشوك پىششىقلاپ ئىشلەش → ئىزوستاتىك/قۇرۇق بېسىش → 2200°C سىلسىيە گرادۇستا پىشۇرۇش → CNC/ئالماس ئۇۋىلاش → تەكشۈرۈش، نانومېتىر دەرىجىسىدىكى سىلىقلاش ۋە ±0.01 مىللىمېتىر ئۆلچەملىك بەرداشلىق بېرىش ئىقتىدارىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. سۈپەت كونترول قىلىش تولۇق جەريان سىنىقى (XRD تەركىبى، SEM مىكرو قۇرۇلمىسى، 3 نۇقتىلىق ئېگىلىش) ۋە تېخنىكىلىق قوللاش (جەرياننى ئەلالاشتۇرۇش، 24/7 مەسلىھەت بېرىش، 48 سائەت ئەۋرىشكە يەتكۈزۈش) قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ، بۇ ئىلغار سانائەت ئېھتىياجى ئۈچۈن ئىشەنچلىك، يۇقىرى ئىقتىدارلىق زاپچاسلارنى تەمىنلەيدۇ.
كۆپ سورىلىدىغان سوئاللار (FAQ)
1. س: قايسى كەسىپلەر كرېمنىي كاربىدلىق كېرامىكا تەخسىلەرنى ئىشلىتىدۇ؟
A: ئىنتايىن ئىسسىقلىققا چىداملىق ۋە خىمىيىلىك مۇقىملىقى سەۋەبىدىن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش (ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش)، قۇياش ئېنېرگىيەسى (PECVD جەريانلىرى)، داۋالاش ئۈسكۈنىلىرى (MRI زاپچاسلىرى) ۋە ئاۋىئاتسىيە (يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق زاپچاسلار) قاتارلىق ساھەلەردە كەڭ قوللىنىلىدۇ.
2. س: كرېمنىي كاربىدى كۋارتس/ئەينەك تەخسىلەردىن قانداق قىلىپ ياخشىراق؟
A: ئىسسىقلىق سوقۇلۇشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى يۇقىرى (كۋارتسنىڭ 1100 سېلسىيە گرادۇسىغا سېلىشتۇرغاندا 1800 سېلسىيە گرادۇسقىچە)، ماگنىتلىق ئارىلىشىش يوق، ئۆمرى ئۇزۇنراق (كۋارتسنىڭ 6-12 ئايغىچە بولغان ئارىلىقتا 5+ يىل).
3. س: كرېمنىي كاربىد تەخسىلىرى كىسلاتالىق مۇھىتقا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ؟
A: ھەئە. HF، H2SO4 ۋە NaOH غا چىداملىق بولۇپ، يىلىغا <0.01mm چىرىش نىسبىتىگە ئىگە، بۇ ئۇلارنى خىمىيىلىك ئويۇش ۋە ۋاپېل تازىلاشقا ئەڭ ماس كېلىدۇ.
4. س: كرېمنىي كاربىد تەخسىلىرى ئاپتوماتلاشتۇرۇشقا ماس كېلەمدۇ؟
A: ھەئە. ۋاكۇئۇملۇق يىغىش ۋە روبوت بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن، يۈزەكى تۈزلۈكى <0.01mm بولۇپ، ئاپتوماتىك زاۋۇتلاردا زەررىچە بۇلغىنىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
5. س: ئەنئەنىۋى ماتېرىياللار بىلەن سېلىشتۇرغاندا باھا سېلىشتۇرمىسى قانداق؟
A: دەسلەپكى چىقىم يۇقىرى (3-5 ھەسسە كۋارتس)، ئەمما ئۆمرىنىڭ ئۇزارتىلىشى، توختاپ قېلىش ۋاقتىنىڭ ئازىيىشى ۋە يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى سەۋەبىدىن ئېنېرگىيە تېجەش سەۋەبىدىن TCO نىڭ %30-50 تۆۋەنلىشى.
