SiC سافرىت Si GAAs ۋافېرى ئۈچۈن كرېمنىي كاربىد كېرامىك چاك

SiC ياپراق Si GAA ۋافېرى ئۈچۈن كرېمنىي كاربىد كېرامىك چاك، ئالاھىدە رەسىم

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

كرېمنىي كاربىد كېرامىك چاك يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تەكشۈرۈش، ۋافېر ياساش ۋە باغلاش قوللىنىشچان پروگراممىلىرى ئۈچۈن لايىھەلەنگەن يۇقىرى ئىقتىدارلىق سۇپا. سىلسىلانغان SiC (SSiC)، رېئاكسىيە باغلاش SiC (RSiC)، كرېمنىي نىترىد ۋە ئاليۇمىن نىترىد قاتارلىق ئىلغار كېرامىك ماتېرىياللاردىن ياسالغان بولۇپ، يۇقىرى قاتتىقلىق، تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى، ئېسىل ئۇپراشقا چىداملىق ۋە ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈش ئىقتىدارى بىلەن تەمىنلەيدۇ.

بىزگە ئېلخەت ئەۋەتىڭ

ئالاھىدىلىكلەر

تەپسىلىي دىئاگرامما

كرېمنىي كاربىد (SiC) كېرامىكا چاكىغا ئومۇمىي نەزەر

بۇكرېمنىي كاربىد كېرامىكا چاكيېرىم ئۆتكۈزگۈچ تەكشۈرۈش، ۋاپېل ياساش ۋە باغلاش قوللىنىشچان پروگراممىلىرى ئۈچۈن لايىھەلەنگەن يۇقىرى ئىقتىدارلىق سۇپا. ئىلغار كېرامىكا ماتېرىياللىرىدىن ياسالغان، مەسىلەنسىنتېرلانغان SiC (SSiC), رېئاكسىيە بىلەن باغلانغان SiC (RSiC), كرېمنىي نىترىدى، ۋەئاليۇمىن نىترىد— ئۇ تەمىنلەيدۇيۇقىرى قاتتىقلىق، تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى، ئېسىل ئۇپراشقا چىدامچانلىقى ۋە ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈش ئىقتىدارى.

ئېنىق قۇرۇلۇش ۋە ئەڭ ئىلغار سىلىقلاش تېخنىكىسى بىلەن، چاق ئۈنۈم بېرىدۇمىكروندىن تۆۋەن تۈزلۈك، ئەينەك سۈپىتىدىكى يۈزلەر ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك ئۆلچەملىك مۇقىملىق، بۇ ئۇنى مۇھىم يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانلار ئۈچۈن ئەڭ ياخشى ھەل قىلىش چارىسىگە ئايلاندۇرىدۇ.

ئاساسلىق ئەۋزەللىكلەر

يۇقىرى ئېنىقلىق
تۈزلۈك ئىچىدە كونترول قىلىنىدۇ0.3–0.5 مىكرومېتىر، ۋاپېلنىڭ مۇقىملىقى ۋە جەرياننىڭ مۇقىم توغرىلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
ئەينەكنى سىلىقلاش
قولغا كەلتۈرگەن نەتىجىلىرىRa 0.02 μmيۈزەكى پۇراقسىزلىقنى، ۋاپپېرنىڭ چىزىلىشى ۋە بۇلغىنىشىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ - ئىنتايىن پاكىز مۇھىت ئۈچۈن ناھايىتى ماس كېلىدۇ.
ئىنتايىن يېنىك
كۋارتس ياكى مېتال ئاساسلارغا قارىغاندا كۈچلۈك، ئەمما يېنىك بولۇپ، ھەرىكەتنى كونترول قىلىش، ئىنكاس قايتۇرۇش ۋە ئورۇن بەلگىلەش توغرىلىقىنى ياخشىلايدۇ.
يۇقىرى قاتتىقلىق
ئالاھىدە ياڭ مودۇلى ئېغىر يۈك ئاستىدا ئۆلچەملىك مۇقىملىقنى ۋە يۇقىرى سۈرئەتلىك مەشغۇلاتنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى
CTE كرېمنىي ۋاپپېرلىرىغا ئىنتايىن ماس كېلىدۇ، بۇ ئىسسىقلىق بېسىمىنى ئازايتىدۇ ۋە جەرياننىڭ ئىشەنچلىكلىكىنى ئاشۇرىدۇ.
ئېسىل ئۇپراشقا چىداملىق
ئەڭ قاتتىقلىق ئۇزۇن مۇددەتلىك، يۇقىرى چاستوتىلىق ئىشلىتىشتىمۇ تۈزلۈك ۋە ئېنىقلىقنى ساقلايدۇ.

ئىشلەپچىقىرىش جەريانى

خام ئەشيا تەييارلاش
زەررىچە چوڭلۇقى كونترول قىلىنىدىغان ۋە ئىنتايىن تۆۋەن ئارىلاشمىلارغا ئىگە يۇقىرى ساپلىقتىكى SiC پاراشوكلىرى.
شەكىللەندۈرۈش ۋە پىلاستىرلاش
قاتارلىق تېخنىكىلاربېسىمسىز سىنتېرلاش (SSiC) or رېئاكسىيە باغلىنىشى (RSiC)زىچ، بىردەك كېرامىكا ئاساسلىرىنى ھاسىل قىلىدۇ.
ئېنىقلىق بىلەن پىششىقلاپ ئىشلەش
CNC سىلىقلاش، لازېرلىق كېسىش ۋە ئىنتايىن ئېنىقلىقتىكى پىششىقلاش ئارقىلىق ±0.01 مىللىمېتىرلىق بەرداشلىق بېرىش ۋە ≤3 مىكرومېتىرلىق پاراللېللىققا ئېرىشكىلى بولىدۇ.
يۈزەكى بىر تەرەپ قىلىش
Ra 0.02 μm غىچە كۆپ باسقۇچلۇق سىلىقلاش ۋە پارقىراقلاشتۇرۇش؛ چىرىشكە چىداملىق ياكى خاسلاشتۇرۇلغان سۈركىلىش خۇسۇسىيىتى ئۈچۈن قوشۇمچە سىرلاشلار بار.
تەكشۈرۈش ۋە سۈپەت كونترولى
ئىنتېرفېرومېتىرلار ۋە قاتتىقلىق سىناق ئەسۋابلىرى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ دەرىجىلىك ئۆلچەملەرگە ماس كېلىدىغانلىقىنى تەكشۈرىدۇ.

تېخنىكىلىق ئۆلچەملەر

پارامېتىر	قىممەت	بىرلىك
تۈزلۈك	≤0.5	μm
ۋافلىنىڭ چوڭلۇقى	6''، 8''، 12'' (خاسلاشتۇرۇلغان)	—
يۈزە تىپى	مىخ تىپى / ئۈزۈك تىپى	—
مىخنىڭ ئېگىزلىكى	0.05–0.2	mm
ئەڭ تۆۋەن مىخ دىئامېتىرى	ϕ0.2	mm
ئەڭ ئاز مىخ ئارىلىقى	3	mm
ئەڭ تۆۋەن پېچەتلەش ھالقىسىنىڭ كەڭلىكى	0.7	mm
يۈزەكى پۇچۇقلۇق	Ra 0.02	μm
قېلىنلىققا چىداملىقلىق	±0.01	mm
دىئامېتىرغا چىداملىقلىق	±0.01	mm
پاراللېللىققا چىداملىقلىق	≤3	μm

ئاساسلىق قوللىنىشلار

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېر تەكشۈرۈش ئۈسكۈنىلىرى
ۋافتا ياساش ۋە يۆتكەش سىستېمىسى
ۋافلى چاپلاش ۋە ئوراش قوراللىرى
ئىلغار ئوپتوئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەر ئىشلەپچىقىرىش
ئىنتايىن تەكشى، ئىنتايىن پاكىز يۈزلەرنى تەلەپ قىلىدىغان ئېنىقلىقتىكى ئەسۋابلار

سوئال-جاۋاب – كرېمنىي كاربىد كېرامىكا چاكى

1-سوئال: SiC كېرامىكا چاقلىرى كۋارتس ياكى مېتال چاقلىرى بىلەن قانداق سېلىشتۇرۇلىدۇ؟
A1: SiC چاقلىرى يېنىكرەك، قاتتىقراق بولۇپ، كرېمنىي لېنتىسىغا يېقىن CTE غا ئىگە بولۇپ، ئىسسىقلىق ئۆزگىرىشىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ. ئۇلار يەنە يۇقىرى ئۇپراشقا چىداملىق ۋە ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈش ئىمكانىيىتى بىلەن تەمىنلەيدۇ.

2-سوئال: قانداق تۈزلۈككە ئېرىشكىلى بولىدۇ؟
A2: ئىچىدە كونترول قىلىنىدۇ0.3–0.5 مىكرومېتىر، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ قاتتىق تەلىپىنى قاندۇرۇش.

3-سوئال: يۈزىدىكى ۋاپپېرلارنى چىزىۋېتەمدۇ؟
A3: ياق — ئەينەك بىلەن سىلىقلانغانRa 0.02 μm، چىزىقسىز بىر تەرەپ قىلىشقا كاپالەتلىك قىلىدۇ ۋە زەررىچە ھاسىل بولۇشىنى ئازايتىدۇ.

4-سوئال: قانداق چوڭلۇقتىكى ۋافلىلارنى قوللايدۇ؟
A4: ئۆلچەملىك چوڭلۇقلىرى6 دىيۇم، 8 دىيۇم ۋە 12 دىيۇم، خاسلاشتۇرۇش ئىقتىدارى بار.

5-سوئال: ئىسسىقلىق قارشىلىقى قانداق؟
A5: SiC كېرامىكىسى ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكى ئاستىدا ئەڭ تۆۋەن دېفورماتسىيە بىلەن ئەلا سۈپەتلىك يۇقىرى تېمپېراتۇرا ئۈنۈمىنى تەمىنلەيدۇ.

بىز ھەققىدە

XKH شىركىتى يۇقىرى تېخنىكىلىق تەرەققىيات، ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئالاھىدە ئوپتىكىلىق ئەينەك ۋە يېڭى كىرىستال ماتېرىياللارنى سېتىشقا ئىختىساسلاشقان. مەھسۇلاتلىرىمىز ئوپتىكىلىق ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى، ئىستېمال ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ۋە ھەربىي ساھەلەرگە مۇلازىمەت قىلىدۇ. بىز ياقۇت ئوپتىكىلىق زاپچاسلار، يانفون لىنزىسى قاپقىقى، كېرامىكا، LT، كرېمنىي كاربىد SIC، كۋارتس ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كىرىستال ۋاپشىلارنى تەمىنلەيمىز. ماھارەتلىك تەجرىبىمىز ۋە ئەڭ يېڭى ئۈسكۈنىلەر بىلەن، بىز ئۆلچەملىك بولمىغان مەھسۇلات پىششىقلاش ساھەسىدە ئۈستۈنلۈكنى قولغا كەلتۈرىمىز، ئالدىنقى قاتاردىكى ئوپتىكىلىق ئېلېكترون ماتېرىياللىرى يۇقىرى تېخنىكىلىق كارخانا بولۇشنى مەقسەت قىلىمىز.