كرېمنىي كاربىدلىق كېرامىك تەخسە سۈمۈرگۈچ كرېمنىي كاربىدلىق كېرامىك تۇرۇبا بىلەن يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىششىقلاپ ئىشلەش
ئاساسلىق ئالاھىدىلىكلىرى:
1. كرېمنىي كاربىدلىق كېرامىكا تەخسىسى
- يۇقىرى قاتتىقلىق ۋە ئۇپراشقا چىداملىق: قاتتىقلىقى ئالماسقا يېقىن، ۋافېر پىششىقلاش جەريانىدا ئۇزۇن ۋاقىت مېخانىكىلىق ئۇپراشقا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ.
- يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى: تېز ئىسسىقلىق تارقىلىشى ۋە ئۆلچەملىك مۇقىملىق، ئىسسىقلىق بېسىمى سەۋەبىدىن كېلىپ چىققان دېفورماسىيەنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
- يۇقىرى تۈزلۈك ۋە يۈزەكى رەڭ: يۈزەكى تۈزلۈك مىكرون دەرىجىسىگىچە بولۇپ، لېنتا بىلەن دىسكا ئوتتۇرىسىدىكى تولۇق ئۇچرىشىشنى كاپالەتلەندۈرىدۇ، بۇلغىنىش ۋە بۇزۇلۇشنى ئازايتىدۇ.
خىمىيىلىك مۇقىملىقى: كۈچلۈك چىرىشكە چىداملىق، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا ھۆل تازىلاش ۋە ئويۇش جەريانلىرىغا ماس كېلىدۇ.
2. كرېمنىي كاربىدلىق كېرامىك تۇرۇبا
- يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىداملىق: 1600 سېلسىيە گرادۇستىن يۇقىرى يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق مۇھىتتا ئۇزۇن ۋاقىت ئىشلىيەلەيدۇ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق جەريانلارغا ماس كېلىدۇ.
چىرىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى ناھايىتى ياخشى: كىسلاتا، ئىشقار ۋە ھەر خىل خىمىيىلىك ئېرىتكۈچىلەرگە چىداملىق، قاتتىق ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىغا ماس كېلىدۇ.
- يۇقىرى قاتتىقلىق ۋە ئۇپراشقا چىداملىق: زەررىچە ئېروزىيەسى ۋە مېخانىكىلىق ئۇپراشقا قارشى تۇرىدۇ، ئىشلىتىش ئۆمرىنى ئۇزارتىدۇ.
- يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى: ئىسسىقلىقنىڭ تېز ئۆتكۈزۈلۈشى ۋە ئۆلچەم مۇقىملىقى، ئىسسىقلىق بېسىمى سەۋەبىدىن كېلىپ چىققان دېفورماسىيە ياكى يېرىلىشنى ئازايتىش.
مەھسۇلات پارامېتىرى：
كرېمنىي كاربىدلىق كېرامىك تەخسە پارامېتىرى:
| (ماددىي مۈلۈك) | (بىرلىك) | (ssic) | |
| (SiC مەزمۇنى) | (Wt)% | >99 | |
| (ئوتتۇرىچە دان چوڭلۇقى) | مىكرون | 4-10 | |
| (زىچلىق) | كىلوگرام/دم3 | >3.14 | |
| (كۆرۈنۈشلۈك تۆشۈكلۈك) | ئاۋاز نىسبىتى %1 | <0.5 | |
| (ۋىكېرس قاتتىقلىقى) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| *() ئېگىلىش كۈچى* (ئۈچ نومۇر) | 20 سېلسىيە گرادۇس | MPa | 450 |
| (سىقىش كۈچى) | 20 سېلسىيە گرادۇس | MPa | 3900 |
| (ئېلاستىك مودۇل) | 20 سېلسىيە گرادۇس | GPA | 420 |
| (سىنىش چىدامچانلىقى) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى) | 20 سېلسىيە گرادۇس | W/(m*K) | 160 |
| (قارشىلىق) | 20 سېلسىيە گرادۇس | ئوم.cm | 106-108 |
(ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(ئەڭ يۇقىرى ئىشلىتىش تېمپېراتۇرىسى) | 0ºC | 1700-يىل | |
كرېمنىي كاربىد كېرامىك تۇرۇبىسىنىڭ پارامېتىرى:
| بۇيۇملار | ئىندېكس |
| α-SIC | 99% ئەڭ تۆۋەن |
| كۆرۈنگەن تۆشۈكلۈك | ئەڭ يۇقىرى %16 |
| كۆپ مىقداردىكى زىچلىق | 2.7g/cm3 مىنۇت |
| يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئېگىلىش كۈچى | 100 Mpa مىنۇت |
| ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى | K-1 4.7x10 -6 |
| ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى كوئېففىتسېنتى (1400ºC) | 24 W/mk |
| ئەڭ يۇقىرى ئىشلەش تېمپېراتۇرىسى | 1650 سېلسىيە گرادۇس |
ئاساسلىق قوللىنىشچان پروگراممىلار:
1. كرېمنىي كاربىد كېرامىكا تاختىسى
- ۋافېر كېسىش ۋە سىلىقلاش: كېسىش ۋە سىلىقلاش جەريانىدا يۇقىرى ئېنىقلىق ۋە مۇقىملىقنى كاپالەتلەندۈرۈش ئۈچۈن ياستۇق سۇپىسى سۈپىتىدە خىزمەت قىلىدۇ.
- لىتوگرافىيە جەريانى: رەسىمگە تارتىش جەريانىدا يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئورۇن بەلگىلەشنى كاپالەتلەندۈرۈش ئۈچۈن، تاختا لىتوگرافىيە ماشىنىسىغا مۇقىملاشتۇرۇلىدۇ.
- خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش (CMP): سىلىقلاش ياستۇقچىلىرى ئۈچۈن تىرەك سۇپا رولىنى ئوينايدۇ، بىردەك بېسىم ۋە ئىسسىقلىق تەقسىماتىنى تەمىنلەيدۇ.
2. كرېمنىي كاربىدلىق كېرامىك تۇرۇبا
- يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ئوچاق تۇرۇبىسى: يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق جەرياننى بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن ۋاپلېرلارنى توشۇشقا ئىشلىتىلىدىغان دىففۇزىيە ئوچىقى ۋە ئوكسىدلىنىش ئوچىقى قاتارلىق يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ئۈسكۈنىلەردە ئىشلىتىلىدۇ.
- CVD/PVD جەريانى: رېئاكسىيە كامېراسىدىكى ياستۇق تۇرۇبىسى سۈپىتىدە، يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە چىرىشچان گازلارغا چىداملىق.
- يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ قوشۇمچە زاپچاسلىرى: ئىسسىقلىق ئالماشتۇرغۇچ، گاز تۇرۇبىسى قاتارلىقلار ئۈچۈن، ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىسسىقلىق باشقۇرۇش ئۈنۈمىنى يۇقىرى كۆتۈرۈش ئۈچۈن.
XKH سىلىكون كاربىد ساپال تەخسىلىرى، سۈمۈرۈش قاچىلىرى ۋە سىلىكون كاربىد ساپال تۇرۇبىلىرى ئۈچۈن تولۇق خاسلاشتۇرۇلغان مۇلازىمەتلەرنى تەمىنلەيدۇ. سىلىكون كاربىد ساپال تەخسىلىرى ۋە سۈمۈرۈش قاچىلىرى، XKH خېرىدارلارنىڭ ھەر خىل چوڭلۇق، شەكىل ۋە يۈزەكى پۇراقلىق تەلىپىگە ئاساسەن خاسلاشتۇرۇلىدۇ، ھەمدە ئالاھىدە قاپلاش بىر تەرەپ قىلىشنى قوللايدۇ، ئۇپراشقا چىداملىق ۋە چىرىشكە چىداملىقلىقنى ئاشۇرىدۇ؛ سىلىكون كاربىد ساپال تۇرۇبىلىرى ئۈچۈن، XKH ھەر خىل ئىچكى دىئامېتىر، تاشقى دىئامېتىر، ئۇزۇنلۇق ۋە مۇرەككەپ قۇرۇلمىلارنى (مەسىلەن، شەكىللىك تۇرۇبا ياكى تۆشۈكلۈك تۇرۇبا) خاسلاشتۇرالايدۇ، ھەمدە سىلىقلاش، ئوكسىدلىنىشقا قارشى تۇرۇش قاپلاش ۋە باشقا يۈزەكى بىر تەرەپ قىلىش جەريانلىرىنى تەمىنلەيدۇ. XKH خېرىدارلارنىڭ سىلىكون كاربىد ساپال مەھسۇلاتلىرىنىڭ ئىقتىدار ئەۋزەللىكلىرىدىن تولۇق پايدىلىنىپ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ، LED ۋە فوتوۋولتائىك قاتارلىق يۇقىرى دەرىجىلىك ئىشلەپچىقىرىش ساھەلىرىنىڭ تەلەپچان تەلىپىنى قاندۇرۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
تەپسىلىي دىئاگرامما
