كرېمنىي / كرېمنىي كاربىد (SiC) ۋافېر تۆت باسقۇچلۇق تۇتاشتۇرۇلغان سىلىقلاش ئاپتوماتلاشتۇرۇش لىنىيىسى (سىلىقلاشتىن كېيىنكى بىر تەرەپ قىلىش لىنىيىسى)

كرېمنىي / كرېمنىي كاربىد (SiC) ۋافېر تۆت باسقۇچلۇق ئۇلانغان سىلىقلاش ئاپتوماتلاشتۇرۇش لىنىيىسى (سىلىقلاشتىن كېيىنكى بىر تەرەپ قىلىش لىنىيىسى) ئالاھىدە رەسىم

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

بۇ تۆت باسقۇچلۇق باغلىنىشلىق سىلىقلاش ئاپتوماتلاشتۇرۇش لىنىيىسى بىر گەۋدىلەشكەن، بىر لىنىيە ئىچىدىكى ھەل قىلىش چارىسى بولۇپ، ... ئۈچۈن لايىھەلەنگەن.سىپىلكىدىن كېيىنكى / CMP دىن كېيىنكىنىڭ مەشغۇلاتىكرېمنىيۋەكرېمنىي كاربىدى (SiC)ۋافلىلار. ئەتراپىدا ياسالغانكېرامىكا توشۇغۇچىلار (كېرامىكا تاختىلار)، بۇ سىستېما كۆپ خىل كېيىنكى ۋەزىپىلەرنى بىر ماسلاشتۇرۇلغان لىنىيەگە بىرلەشتۈرۈپ، زاۋۇتلارنىڭ قولدا بىر تەرەپ قىلىشنى ئازايتىشىغا، تاكسىلاش ۋاقتىنى مۇقىملاشتۇرۇشىغا ۋە بۇلغىنىشنى كونترول قىلىشنى كۈچەيتىشىگە ياردەم بېرىدۇ.

بىزگە ئېلخەت ئەۋەتىڭ

ئالاھىدىلىكلەر

تەپسىلىي دىئاگرامما

كرېمنىي / كرېمنىي كاربىد (SiC) ۋافېر تۆت باسقۇچلۇق تۇتاشتۇرۇلغان سىلىقلاش ئاپتوماتلاشتۇرۇش لىنىيىسى (سىلىقلاشتىن كېيىنكى بىر تەرەپ قىلىش لىنىيىسى)4

ئومۇمىي ئەھۋال

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا،CMP دىن كېيىنكى ئۈنۈملۈك تازىلاشكېيىنكى جەرياندىن بۇرۇن نۇقسانلارنى ئازايتىشنىڭ مۇھىم قەدىمى دەپ كەڭ كۆلەمدە ئېتىراپ قىلىنىدۇ، ھەمدە ئىلغار ئۇسۇللار (شۇنىڭ ئىچىدەمېگاسونىك تازىلاش) زەررىچىلەرنى چىقىرىۋېتىش ئىقتىدارىنى ياخشىلاش ئۈچۈن دائىم مۇزاكىرە قىلىنىدۇ.

بولۇپمۇ SiC ئۈچۈن، ئۇنىڭيۇقىرى قاتتىقلىق ۋە خىمىيىلىك ئىنېرتلىقسىلىقلاشنى قىيىنلاشتۇرىدۇ (كۆپىنچە ماتېرىيالنى چىقىرىۋېتىش نىسبىتى تۆۋەن ۋە يۈزە/ئاستى يۈزە بۇزۇلۇش خەۋپى يۇقىرى بولىدۇ)، بۇ سىلىقلاشتىن كېيىنكى مۇقىم ئاپتوماتلاشتۇرۇش ۋە كونترول قىلىنىدىغان تازىلاش/بىر تەرەپ قىلىشنى ئالاھىدە قىممەتلىك قىلىدۇ.

ئاساسلىق پايدىلار

تۆۋەندىكىلەرنى قوللايدىغان بىر گەۋدىلەشكەن لىنىيە:

ۋافرا ئايرىش ۋە يىغىش(سىلىقلىغاندىن كېيىن)
كېرامىكا توشۇغۇچنى ساقلاش / ساقلاش
كېرامىكا توشۇغۇچنى تازىلاش
كېرامىكا توشۇغۇچلارغا ۋافلى ئورنىتىش (يېپىشتۇرۇش)
بىرلەشتۈرۈلگەن، بىر لىنىيەلىك مەشغۇلات6–8 دىيۇملۇق ۋافلىلار

تېخنىكىلىق ئۆلچەملەر (تەمىنلەنگەن سانلىق مەلۇمات جەدۋىلىدىن)

ئۈسكۈنە ئۆلچىمى (ئۇزۇنلۇق × كەڭلىك × ئېگىزلىك):13643 × 5030 × 2300 مىللىمېتىر
توك بىلەن تەمىنلەش:AC 380 V، 50 Hz
ئومۇمىي قۇۋۋەت:119 كىلوۋات
ئورنىتىش پاكىزلىقى:0.5 μm < 50 ea؛ 5 μm < 1 ea
ئورنىتىش تۈزلىكى:≤ 2 مىكرومېتىر

ئىشلەپچىقىرىش مىقدارى پايدىلىنىش نومۇرى (تەمىنلەنگەن سانلىق مەلۇمات جەدۋىلىدىن)

ئۈسكۈنە ئۆلچىمى (ئۇزۇنلۇق × كەڭلىك × ئېگىزلىك):13643 × 5030 × 2300 مىللىمېتىر
توك بىلەن تەمىنلەش:AC 380 V، 50 Hz
ئومۇمىي قۇۋۋەت:119 كىلوۋات
ئورنىتىش پاكىزلىقى:0.5 μm < 50 ea؛ 5 μm < 1 ea
ئورنىتىش تۈزلىكى:≤ 2 مىكرومېتىر

ئادەتتىكى لىنىيە ئېقىمى

ئالدىنقى ئېقىمدىكى سىلىقلاش رايونىدىن كىرىش ئېغىزى / ئۇلىنىش ئېغىزى
ۋافرا ئايرىش ۋە يىغىش
كېرامىكا توشۇغۇچىنى بۇففېرلاش/ساقلاش (تاكت ۋاقتىدىكى ئايرىش)
كېرامىكا توشۇغۇچنى تازىلاش
ۋاپلىنى توشۇغۇچلارغا ئورنىتىش (تازالىق ۋە تۈزلۈكنى كونترول قىلىش ئىقتىدارى بىلەن)
كېيىنكى جەريانغا ياكى لوجىستىكاغا چىقىرىش

كۆپ سورىلىدىغان سوئاللار

1-سوئال: بۇ لىنىيە ئاساسلىقى قانداق مەسىلىلەرنى ھەل قىلىدۇ؟
A: ئۇ لېفتىلارنى ئايرىش/يىغىش، كېرامىكا توشۇغۇچىنى بۇففېرلاش، توشۇغۇچىنى تازىلاش ۋە لېفتىلارنى ئورنىتىشنى بىر ماسلاشتۇرۇلغان ئاپتوماتلاشتۇرۇش لىنىيىسىگە بىرلەشتۈرۈش ئارقىلىق سىلىقلاشتىن كېيىنكى مەشغۇلاتلارنى ئاددىيلاشتۇرىدۇ، بۇ ئارقىلىق قولدا تېگىش نۇقتىلىرىنى ئازايتىدۇ ۋە ئىشلەپچىقىرىش رېتىمىنى مۇقىملاشتۇرىدۇ.

2-سوئال: قايسى ۋافلى ماتېرىياللىرى ۋە چوڭلۇقلىرى قوللايدۇ؟
A:كرېمنىي ۋە SiC،6–8 دىيۇمۋافلىلار (بېرىلگەن ئۆلچەمگە ئاساسەن).

3-سوئال: نېمە ئۈچۈن كەسىپ ساھەسىدە CMP دىن كېيىنكى تازىلاشقا ئەھمىيەت بېرىلىدۇ؟
A: كەسىپ ئەدەبىياتلىرىدا، كېيىنكى قەدەمدىن بۇرۇن نۇقسان زىچلىقىنى ئازايتىش ئۈچۈن، CMP دىن كېيىنكى ئۈنۈملۈك تازىلاشقا بولغان ئېھتىياجنىڭ ئاشقانلىقى تەكىتلەنگەن؛ مېگا ئاۋازغا ئاساسلانغان ئۇسۇللار زەررىچىلەرنى يوقىتىشنى ياخشىلاش ئۈچۈن ئادەتتە تەتقىق قىلىنىدۇ.

بىز ھەققىدە

XKH شىركىتى يۇقىرى تېخنىكىلىق تەرەققىيات، ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئالاھىدە ئوپتىكىلىق ئەينەك ۋە يېڭى كىرىستال ماتېرىياللارنى سېتىشقا ئىختىساسلاشقان. مەھسۇلاتلىرىمىز ئوپتىكىلىق ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى، ئىستېمال ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ۋە ھەربىي ساھەلەرگە مۇلازىمەت قىلىدۇ. بىز ياقۇت ئوپتىكىلىق زاپچاسلار، يانفون لىنزىسى قاپقىقى، كېرامىكا، LT، كرېمنىي كاربىد SIC، كۋارتس ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كىرىستال ۋاپشىلارنى تەمىنلەيمىز. ماھارەتلىك تەجرىبىمىز ۋە ئەڭ يېڭى ئۈسكۈنىلەر بىلەن، بىز ئۆلچەملىك بولمىغان مەھسۇلات پىششىقلاش ساھەسىدە ئۈستۈنلۈكنى قولغا كەلتۈرىمىز، ئالدىنقى قاتاردىكى ئوپتىكىلىق ئېلېكترون ماتېرىياللىرى يۇقىرى تېخنىكىلىق كارخانا بولۇشنى مەقسەت قىلىمىز.