8 دىيۇم 200 مىللىمېتىرلىق كرېمنىي كاربون SiC Wafers 4H-N تىپلىق ئىشلەپچىقىرىش دەرىجىسى 500um

چوڭلۇقى: 8inch;

دىئامېتىرى: 200mm ± 0.2;

قېلىنلىقى: 500um ± 25;

يەر يۈزى يۆنىلىشى: 4 [11-20] ± 0.5 °;

بەلگە يۆنىلىشى: [1-100] ± 1 ° ；

چوڭقۇرلۇقى: 1 ± 0.25mm ；

Micropipe: <1cm2;

Hex Plates: رۇخسەت قىلىنمايدۇ;

قارشىلىق كۈچى: 0.015 ~ 0.028Ω;

EPD: <8000cm2;

TED: <6000cm2

BPD: <2000cm2

TSD: <1000cm2

SF: رايون <1%

TTV≤15um ；

Warp≤40um ；

Bow≤25um ；

كۆپ قۇتۇپلۇق رايونلار: ≤5%;

سىزىش: <5 ۋە جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى <1 Wafer دىئامېتىرى;

ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ: ھېچكىم D> 0.5mm كەڭلىك ۋە چوڭقۇرلۇققا رۇخسەت قىلمايدۇ.

يېرىق: ھېچقىسى يوق

داغ: ياق

Wafer edge: Chamfer;

سىرتقى يۈزى: قوش يان پولشا ، Si Face CMP;

ئوراش: كۆپ ۋافېرلىق كاسسات ياكى يەككە ۋافېر قاچىسى

ھازىرقى 200mm 4H-SiC كىرىستال ئاساسلىق تەييارلاشتىكى قىيىنچىلىق

1) يۇقىرى سۈپەتلىك 200mm 4H-SiC ئۇرۇق كىرىستاللىرىنى تەييارلاش;

2) چوڭ رازمېرلىق تېمپېراتۇرا مەيدانى بىردەك ئەمەس ۋە يادرو جەريانىنى كونترول قىلىش ؛

3) خرۇستال ئۆسۈش سىستېمىسىدىكى گاز زاپچاسلىرىنىڭ توشۇش ئۈنۈمى ۋە ئۆزگىرىشى ؛

4) خرۇستال يېرىلىش ۋە كەمتۈكلۈكنىڭ كۆپىيىشى چوڭ تىپتىكى ئىسسىقلىق بېسىمىنىڭ ئۆرلىشىدىن كېلىپ چىققان.

بۇ خىرىسلارنى يېڭىش ۋە يۇقىرى سۈپەتلىك 200 مىللىمېتىرلىق SiC wafersolutions غا ئېرىشىش ئوتتۇرىغا قويۇلدى:

200 مىللىمېتىرلىق ئۇرۇق كرىستال تەييارلاش جەھەتتە ، مۇۋاپىق تېمپېراتۇرا ئېتىز مەيدانى ۋە كېڭەيتىش قۇراشتۇرۇلۇشى تەتقىق قىلىنىپ لايىھىلەنگەن بولۇپ ، ھېسابلانمىغان كىرىستالنىڭ سۈپىتىنى ۋە كۆلىمىنى كېڭەيتىدۇ.150 مىللىمېتىرلىق SiC se دىن باشلاپ: d خرۇستال ، ئۇرۇق كىرىستال ئايلىنىشنى ئېلىپ بېرىپ ، SiC كىرىستاللىقىنى 200 مىللىمېتىرغا يەتكۈچە تەدرىجىي كېڭەيتىڭ.كۆپ خىل خرۇستال ئۆسۈش ۋە جەريان ئارقىلىق كىرىستال كېڭىيىش رايونىدىكى خرۇستال سۈپىتىنى تەدرىجىي ئەلالاشتۇرۇپ ، 200 مىللىمېتىرلىق ئۇرۇق كىرىستالنىڭ سۈپىتىنى ئۆستۈرىمىز.

200 مىللىمېتىرلىق ئۆتكۈزگۈچ كىرىستال ۋە ئاستىرتتىن تەييارلاش جەھەتتە ، تەتقىقات چوڭ كۆلەمدىكى خرۇستال ئۆسۈشنىڭ تېمپېراتۇرىسى ۋە ئېقىش مەيدانى لايىھىسىنى ئەلالاشتۇرۇپ ، 200 مىللىمېتىرلىق ئۆتكۈزگۈچ SiC كىرىستالنىڭ ئۆسۈشىنى ۋە دوپپىنىڭ بىردەكلىكىنى كونترول قىلدى.خرۇستالنى يىرىك پىششىقلاپ ئىشلەش ۋە شەكىللەندۈرگەندىن كېيىن ، ئۆلچەملىك دىئامېتىرى 8 ئىنگلىزچە ئۆتكۈزگۈچ 4H-SiC بىرىكمىسى قولغا كەلتۈرۈلدى.كېسىش ، ئۇۋىلاش ، سىلىقلاش ، پىششىقلاپ ئىشلەشتىن كېيىن ، قېلىنلىقى 525um ئەتراپىدا SiC 200mm لىق ۋافېرغا ئېرىشىش