تولۇق ئاپتوماتىك ۋافلى ھالقىسى كېسىش ئۈسكۈنىسى خىزمەت چوڭلۇقى 8 دىيۇملۇق/12 دىيۇملۇق ۋافلى ھالقىسى كېسىش

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

XKH شىركىتى مۇستەقىل ھالدا تولۇق ئاپتوماتىك ۋافېر گىرۋىكىنى كېسىش سىستېمىسىنى تەرەققىي قىلدۇردى، بۇ سىستېما ئالدى تەرەپ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانلىرى ئۈچۈن لايىھەلەنگەن ئىلغار ھەل قىلىش چارىسى. بۇ ئۈسكۈنە يېڭىلىق يارىتىشچان كۆپ ئوقلۇق سىنخرونلۇق كونترول تېخنىكىسىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ھەمدە يۇقىرى قاتتىقلىقتىكى ئوق سىستېمىسى (ئەڭ يۇقىرى ئايلىنىش سۈرئىتى: 60،000 RPM) بىلەن تەمىنلەنگەن بولۇپ، ±5μm غىچە كېسىش توغرىلىقى بىلەن گىرۋىكىنى كېسىش ئىقتىدارىنى تەمىنلەيدۇ. بۇ سىستېما ھەر خىل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئاساسلار بىلەن ناھايىتى ياخشى ماسلىشىشچانلىقنى نامايان قىلىدۇ، مەسىلەن:
1. كرېمنىيلىق ۋافلىلار (Si): 8-12 دىيۇملۇق ۋافلىلارنىڭ گىرۋىكىنى پىششىقلاپ ئىشلەشكە ماس كېلىدۇ؛
2. بىرىكمە يېرىم ئۆتكۈزگۈچلەر: GaAs ۋە SiC قاتارلىق ئۈچىنچى ئەۋلاد يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللار؛
3. ئالاھىدە ئاساسلار: LT/LN قاتارلىق پىئېزوئېلېكتر ماتېرىياللىق ۋافېرلار؛

مودۇللۇق لايىھە ئالماس پىچاق ۋە لازېرلىق كېسىش بېشى قاتارلىق كۆپ خىل ئىستېمال بۇيۇملىرىنى تېز ئالماشتۇرۇشنى قوللايدۇ، ماسلىشىشچانلىقى كەسىپ ئۆلچىمىدىن ئېشىپ كېتىدۇ. ئالاھىدە جەريان تەلىپى ئۈچۈن، بىز تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ئومۇميۈزلۈك ھەل قىلىش چارىلىرى بىلەن تەمىنلەيمىز:
· مەخسۇس كېسىش سەرپىياتلىرى بىلەن تەمىنلەش
· خاسلاشتۇرۇلغان بىر تەرەپ قىلىش مۇلازىمىتى
· جەريان پارامېتىرلىرىنى ئەلالاشتۇرۇش چارىلىرى

بىزگە ئېلخەت ئەۋەتىڭ

ئالاھىدىلىكلەر

تېخنىكىلىق پارامېتىرلار

پارامېتىر	بىرلىك	ئۆلچەم
ئەڭ چوڭ ئىش بۇيۇمى چوڭلۇقى	mm	ø12"
مىل	سەپلىمىسى	يەككە مىللىق
	سۈرئەت	3000–60000 ئايلىنىش/مىنۇت
	چىقىرىش قۇۋۋىتى	30،000 مىنۇت⁻¹ دا 1.8 kW (2.4 تاللانمىلىق)
	ماكىس بىلەك دىئامېتىرى.	Ø58 مىللىمېتىر
X ئوقى	كېسىش دائىرىسى	310 مىللىمېتىر
Y ئوقى	كېسىش دائىرىسى	310 مىللىمېتىر
	قەدەم ئاشۇرۇش	0.0001 مىللىمېتىر
	ئورۇن بەلگىلەش توغرىلىقى	≤0.003 mm/310 mm، ≤0.002 mm/5 mm (بىر قېتىملىق خاتالىق)
Z ئوقى	ھەرىكەت قارارى	0.00005 مىللىمېتىر
Z ئوقى	تەكرارلىنىشچانلىقى	0.001 مىللىمېتىر
θ ئوقى	ئەڭ چوڭ ئايلىنىش	380 گرادۇس
مىل تىپى		يەككە مىل، ئۈزۈك كېسىش ئۈچۈن قاتتىق پىچاق بىلەن تەمىنلەنگەن
ئۈزۈك كېسىش توغرىلىقى	μm	±50
ۋافېرنىڭ ئورنىنى بېكىتىش توغرىلىقى	μm	±50
يەككە ۋافېر ئۈنۈمى	مىنۇت/ۋافېر	8
كۆپ ۋافېرلىق ئۈنۈمدارلىق		بىرلا ۋاقىتتا بىر تەرەپ قىلىنىدىغان 4 ۋافلىغىچە
ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئېغىرلىقى	kg	≈3,200
ئۈسكۈنە ئۆلچىمى (ئېنىقلىقى × ئۇزۇنلۇقى × ئېگىزلىكى)	mm	2730 × 1550 × 2070

ئىشلەش پرىنسىپى

بۇ سىستېما تۆۋەندىكى ئاساسلىق تېخنىكىلار ئارقىلىق ئالاھىدە كېسىش ئۈنۈمىگە ئېرىشىدۇ:

1. ئەقلىي ھەرىكەت كونترول سىستېمىسى:
· يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى سىزىقلىق ماتور قوزغاتقۇچ (قايتا ئورۇنلاشتۇرۇش توغرىلىقى: ±0.5μm)
· ئالتە ئوقلۇق سىنخرونلۇق كونترول مۇرەككەپ يول پىلانىنى قوللايدۇ
· كېسىش مۇقىملىقىنى كاپالەتلەندۈرىدىغان ھەقىقىي ۋاقىتلىق تىترەشنى باستۇرۇش ئالگورىزىملىرى

2. ئىلغار بايقاش سىستېمىسى:
· بىرلەشتۈرۈلگەن 3D لازېرلىق ئېگىزلىك سېنزورى (توغرالىق دەرىجىسى: 0.1μm)
· يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى CCD كۆرۈنۈشلۈك ئورۇن بەلگىلەش (5 مېگاپىكسېل)
· توردا سۈپەت تەكشۈرۈش مودۇلى

3. تولۇق ئاپتوماتلاشتۇرۇلغان جەريان:
· ئاپتوماتىك يۈكلەش/چۈشۈرۈش (FOUP ئۆلچەملىك ئىنتېرفېيس بىلەن ماس كېلىدۇ)
· ئەقلىي تاللاش سىستېمىسى
· يېپىق ئايلانما تازىلاش ئۈسكۈنىسى (تازىلىق دەرىجىسى: 10-دەرىجىلىك)

ئادەتتىكى قوللىنىشلار

بۇ ئۈسكۈنە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ساھەسىدە مۇھىم قىممەتكە ئىگە:

قوللىنىش ساھەسى	جەريان ماتېرىياللىرى	تېخنىكىلىق ئەۋزەللىكلەر
IC ئىشلەپچىقىرىش	8/12 دىيۇملۇق كرېمنىي ۋافلىلىرى	لىتوگرافىيەنىڭ ماسلىشىشىنى كۈچەيتىدۇ
ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى	SiC/GaN ۋافلىلىرى	گىرۋەك نۇقسانلىرىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ
MEMS سېنزورلىرى	SOI ۋافلىلىرى	ئۈسكۈنىنىڭ ئىشەنچلىكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ
رادىئو چاستوتا ئۈسكۈنىلىرى	GaAs ۋافلىلىرى	يۇقىرى چاستوتىلىق ئىقتىدارنى ياخشىلايدۇ
ئىلغار ئورالما	قايتا قۇرۇلغان ۋافلىلار	ئورالما ئۈنۈمىنى ئاشۇرىدۇ

ئالاھىدىلىكلەر

1. يۇقىرى پىششىقلاش ئۈنۈمى ئۈچۈن تۆت پونكىتلىق سەپلىمىسى؛
2. TAIKO ھالقىسىنىڭ مۇقىم باغلىنىشىنى يوقىتىش ۋە ئېلىۋېتىش؛
3. ئاساسلىق ئىستېمال بۇيۇملىرى بىلەن يۇقىرى دەرىجىدە ماسلىشىشچانلىقى؛
4. كۆپ ئوقلۇق سىنخرونلۇق كېسىش تېخنىكىسى گىرۋەك كېسىشنىڭ ئېنىقلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ؛
5. تولۇق ئاپتوماتلاشتۇرۇلغان جەريان ئېقىمى ئەمگەك چىقىمىنى زور دەرىجىدە تۆۋەنلىتىدۇ؛
6. خاسلاشتۇرۇلغان ئىش ئۈستىلى لايىھىسى ئالاھىدە قۇرۇلمىلارنىڭ مۇقىم ئىشلىنىشىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ؛

فۇنكىسىيەلەر

1. ئۈزۈك چۈشۈپ كېتىشنى بايقاش سىستېمىسى؛
2. ئاپتوماتىك ئىش ئۈستىلىنى تازىلاش؛
3. ئەقلىي ئىقتىدارلىق UV باغلىنىشنى يوقىتىش سىستېمىسى
4. مەشغۇلات خاتىرىسىنى خاتىرىلەش؛
5. زاۋۇت ئاپتوماتلاشتۇرۇش مودۇلىنى بىرلەشتۈرۈش؛

خىزمەت ۋەدىسى

XKH ئىشلەپچىقىرىش سەپىرىڭىزدە ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىقتىدارى ۋە ئىشلىتىش ئۈنۈمىنى ئەڭ يۇقىرى چەككە يەتكۈزۈش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن ئومۇميۈزلۈك، تولۇق ھاياتلىق دەۋرىيلىكى قوللاش مۇلازىمىتى بىلەن تەمىنلەيدۇ.
1. خاسلاشتۇرۇش مۇلازىمەتلىرى
· خاسلاشتۇرۇلغان ئۈسكۈنە سەپلىمە: بىزنىڭ ئىنژېنېرلىق گۇرۇپپىمىز خېرىدارلار بىلەن زىچ ھەمكارلىشىپ، كونكرېت ماتېرىيال خۇسۇسىيەتلىرى (Si/SiC/GaAs) ۋە جەريان تەلىپىگە ئاساسەن سىستېما پارامېتىرلىرىنى (كېسىش سۈرئىتى، پىچاق تاللاش قاتارلىقلار) ئەلالاشتۇرىدۇ.
· جەريان تەرەققىيات قوللاش مۇلازىمىتى: بىز ئەۋرىشكە بىر تەرەپ قىلىش مۇلازىمىتى بىلەن تەمىنلەيمىز، بۇنىڭ ئىچىدە گىرۋەكنىڭ پۇچقاقلىقىنى ئۆلچەش ۋە نۇقسان خەرىتىسىنى ئۆز ئىچىگە ئالغان تەپسىلىي ئانالىز دوكلاتلىرى بار.
· سەرپ قىلىنىدىغان ماتېرىياللارنى بىرلىكتە تەرەققىي قىلدۇرۇش: يېڭى ماتېرىياللار (مەسىلەن، Ga₂O₃) ئۈچۈن، بىز قوللىنىشچان پروگراممىغا خاس پىچاق/لازېر ئوپتىكىسىنى تەرەققىي قىلدۇرۇش ئۈچۈن ئالدىنقى قاتاردىكى سەرپ قىلىنىدىغان ماتېرىيال ئىشلەپچىقارغۇچىلار بىلەن ھەمكارلىشىپ ئىشلەيمىز.

2. كەسپىي تېخنىكىلىق قوللاش
· مەخسۇس ئورۇندىكى قوللاش: مۇھىم تەرەققىيات باسقۇچلىرى (ئادەتتە 2-4 ھەپتە) ئۈچۈن كەسپىي سالاھىيەتكە ئىگە ئىنژېنېرلارنى تەيىنلەش، بۇلار تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
ئۈسكۈنىلەرنى كالىبرلاش ۋە جەرياننى تەڭشەش
مەشغۇلاتچى ماھارەت تەلىمى
ISO 5-دەرىجىلىك پاكىز ئۆي بىرلەشتۈرۈش يېتەكچىلىكى
· ئالدىن پەرەز قىلىش خاراكتېرلىك ئاسراش: پىلانلانمىغان توختاپ قېلىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن، تىترەش ئانالىزى ۋە سېرۋو ماتور دىئاگنوزى بىلەن پەسىللىك سالامەتلىك تەكشۈرۈشى.
· يىراقتىن كۆزىتىش: ئاپتوماتىك ئانومالىيە ئاگاھلاندۇرۇشى ئارقىلىق IoT سۇپىمىز (JCFront Connect®) ئارقىلىق ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىقتىدارىنى ھەقىقىي ۋاقىتلىق كۆزىتىش.

3. قوشۇمچە قىممەتلىك مۇلازىمەتلەر
· جەريان بىلىم بازىسى: ھەر خىل ماتېرىياللارنىڭ 300 دىن ئارتۇق دەلىللەنگەن كېسىش رېتسېپلىرىغا ئېرىشىڭ (ھەر پەسىلدە يېڭىلىنىدۇ).
· تېخنىكا يول خەرىتىسى ماسلاشتۇرۇش: ئۈسكۈنە/يۇمشاق دېتالنى يېڭىلاش يوللىرى (مەسىلەن، سۈنئىي ئەقىل ئاساسلىق نۇقسان بايقاش مودۇلى) ئارقىلىق مەبلەغ سېلىشىڭىزنى كەلگۈسىگە كاپالەتلىك قىلىڭ.
· جىددىي ئىنكاس قايتۇرۇش: 4 سائەتلىك يىراقتىن دىئاگنوز قويۇش ۋە 48 سائەتلىك يەرلىك داۋالاش (دۇنياۋى قاپلاش) كاپالىتىگە ئىگە.

4. مۇلازىمەت ئۇل ئەسلىھەلىرى
· ئىقتىدار كاپالىتى: SLA قوللىغان جاۋاب قايتۇرۇش ۋاقتى بىلەن ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىش ۋاقتىنىڭ %98 تىن يۇقىرى بولۇشىغا توختام بويىچە ۋەدە بېرىلىدۇ.

ئۈزلۈكسىز ياخشىلاش

بىز يىلدا ئىككى قېتىم خېرىدارلارنىڭ رازىمەنلىك ئەھۋالىنى تەكشۈرۈش ئېلىپ بارىمىز ۋە مۇلازىمەت بىلەن تەمىنلەشنى ياخشىلاش ئۈچۈن Kaizen تەشەببۇسلىرىنى يولغا قويىمىز. بىزنىڭ تەتقىقات ۋە تەرەققىيات گۇرۇپپىمىز ئەمەلىي تەجرىبىلەرنى ئۈسكۈنىلەرنى يېڭىلاشقا ئايلاندۇرىدۇ - مىكرو سوپكا يېڭىلاشلىرىنىڭ %30 ى خېرىدارلارنىڭ پىكىر-تەكلىپلىرىدىن كېلىدۇ.