سافىر SiC Si ئۈچۈن ئىئون نۇرى سىلىقلاش ماشىنىسى

سافىر SiC Si ئۈچۈن ئىئون نۇرى پارقىراتقۇچ ماشىنىسى ئالاھىدە رەسىم

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

ئىئون نۇرى شەكىللەندۈرۈش ۋە پارقىراقلاشتۇرۇش ماشىنىسى ئىئون پۈركۈش پىرىنسىپىغا ئاساسلانغان. يۇقىرى ۋاكۇئۇملۇق كامېرا ئىچىدە، ئىئون مەنبەسى پلازما ھاسىل قىلىدۇ، بۇ پلازما تېزلىنىپ يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك ئىئون نۇرىغا ئايلىنىدۇ. بۇ نۇر ئوپتىكىلىق تەركىبنىڭ يۈزىنى بومباردىمان قىلىپ، ئاتوم ئۆلچىمىدىكى ماتېرىياللارنى ئېلىۋېتىپ، ئىنتايىن ئېنىق يۈزە تۈزىتىش ۋە پۈركۈش ئۈنۈمىگە ئېرىشىدۇ.

بىزگە ئېلخەت ئەۋەتىڭ

ئالاھىدىلىكلەر

تەپسىلىي دىئاگرامما

ئىئون نۇرى سىلىقلاش ماشىنىسىنىڭ مەھسۇلات ئومۇمىي ئەھۋالى

ئىئون نۇرى بىلەن سىلىقلاش ئۇسۇلى ئالاقىسىز جەريان بولۇش سۈپىتى بىلەن، مېخانىكىلىق بېسىمنى يوقىتىدۇ ۋە يەر ئاستى بۇزۇلۇشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ، بۇ ئۇنى ئاسترونومىيە، ئاۋىئاتسىيە، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئىلغار تەتقىقات قوللىنىشچان پروگراممىلىرىدا ئىشلىتىلىدىغان يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئوپتىكىلارنى ئىشلەپچىقىرىشقا ئەڭ ماس كېلىدۇ.

ئىئون نۇرى سىلىقلاش ماشىنىسىنىڭ ئىشلەش پىرىنسىپى

ئىئون ھاسىل قىلىش
ئىنېرت گاز (مەسىلەن، ئارگون) ۋاكۇئۇم كامېراسىغا كىرگۈزۈلۈپ، ئېلېكتر راكېتاسى ئارقىلىق ئىئونلاشتۇرۇلۇپ، پلازما ھاسىل قىلىنىدۇ.

تېزلىنىش ۋە نۇر شەكىللىنىشى
ئىئونلار بىر قانچە يۈز ياكى مىڭ ئېلېكترون ۋولت (eV) غا تېزلىنىپ، مۇقىم، مەركەزلەشكەن نۇر نۇقتىسىغا ئايلىنىدۇ.

ماتېرىياللارنى چىقىرىۋېتىش
ئىئون نۇرى خىمىيىلىك رېئاكسىيە قوزغىماي تۇرۇپ، ئاتوملارنى يۈزدىن فىزىكىلىق جەھەتتىن چاچرىتىدۇ.

خاتالىق بايقاش ۋە يول پىلانلاش
يۈزە شەكلىدىكى چەتنىشلەر ئارىلىشىش ئۆلچەش ئۇسۇلى ئارقىلىق ئۆلچەنگەن. ئۆچۈرۈش فۇنكسىيەسى تۇرۇش ۋاقتىنى بەلگىلەش ۋە ئەلالاشتۇرۇلغان قورال يوللىرىنى ھاسىل قىلىش ئۈچۈن قوللىنىلىدۇ.

يېپىق ئايلانما تۈزىتىش
بىر تەرەپ قىلىش ۋە ئۆلچەشنىڭ تەكرارلىنىدىغان دەۋرىيلىكى RMS/PV ئېنىقلىق نىشانىغا يەتكۈچە داۋاملىشىدۇ.

ئىئون نۇرى سىلىقلاش ماشىنىسىنىڭ ئاساسلىق ئالاھىدىلىكلىرى

ئومۇميۈزلۈك يۈزە ماسلىشىشچانلىقى– تۈز، شار شەكىللىك، ئاسفېر شەكىللىك ۋە ئەركىن شەكىللىك يۈزلەرنى بىر تەرەپ قىلىدۇ

ئىنتايىن مۇقىم چىقىرىۋېتىش نىسبىتى– نانومېتىردىن تۆۋەن رەقەم تۈزىتىشنى قوللايدۇ

زىيانسىز بىر تەرەپ قىلىش– يەر ئاستى نۇقسانلىرى ياكى قۇرۇلما ئۆزگىرىشلىرى يوق

مۇقىم ئىقتىدار– قاتتىقلىقى ھەر خىل بولغان ماتېرىياللاردا ئوخشاش ياخشى ئىشلەيدۇ

تۆۋەن/ئوتتۇرا چاستوتا تۈزىتىش– ئوتتۇرا/يۇقىرى چاستوتىلىق ئارتېفىكتلارنى پەيدا قىلماي تۇرۇپ خاتالىقلارنى يوقىتىدۇ

تۆۋەن ئاسراش تەلىپى– ئۇزۇن مۇددەتلىك ئۈزلۈكسىز ئىشلەش، توختاپ قېلىش ۋاقتى ئەڭ ئاز

ئىئون نۇرى سىلىقلاش ماشىنىسىنىڭ ئاساسلىق تېخنىكىلىق ئۆلچەملىرى

بۇيۇم	ئۆلچەم
بىر تەرەپ قىلىش ئۇسۇلى	يۇقىرى ۋاكۇئۇملۇق مۇھىتتا ئىئوننىڭ پۈركۈلۈشى
بىر تەرەپ قىلىش تىپى	تەگمەس يۈز شەكلىنى ياساش ۋە سىلىقلاش
ئەڭ چوڭ ئىش بۇيۇمى چوڭلۇقى	Φ4000 مىللىمېتىر
ھەرىكەت ئوقلىرى	3 ئوقلۇق / 5 ئوقلۇق
چىقىرىۋېتىش مۇقىملىقى	≥95%
يۈزەكى توغرىلىق	PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (ئادەتتىكى RMS < 1 nm; PV < 15 nm)
چاستوتا تۈزىتىش ئىقتىدارى	ئوتتۇرا/يۇقىرى چاستوتا خاتالىقلىرىنى كىرگۈزمەي تۇرۇپ، تۆۋەن-ئوتتۇراھال چاستوتا خاتالىقلىرىنى يوقىتىدۇ.
ئۈزلۈكسىز مەشغۇلات	ۋاكۇئۇم ئاسراش مۇلازىمىتىسىز 3-5 ھەپتە
ئاسراش چىقىمى	تۆۋەن

ئىئون نۇرى بىلەن پارقىراتقۇچ ماشىنىنىڭ بىر تەرەپ قىلىش ئىقتىدارى

قوللايدىغان يۈزە تىپلىرى

ئاددىي: ياپلاق، شار شەكىللىك، پىرىزما

مۇرەككەپ: سىممېترىك/سىممېترىك ئاسفېرا، ئوق سىرتىدىكى ئاسفېرا، سىلىندىر شەكىللىك

ئالاھىدە: ئۇلترا نېپىز ئوپتىكىلىق، تاختا ئوپتىكىلىق، يېرىم شار شەكىللىك ئوپتىكىلىق، كونفورمال ئوپتىكىلىق، فازا تاختىلىرى، ئەركىن شەكىللىك يۈزلەر

قوللىغان ماتېرىياللار

ئوپتىكىلىق ئەينەك: كۋارتس، مىكروكرىستاللىق، K9 قاتارلىقلار.

ئىنفىرا قىزىل نۇر ماتېرىياللىرى: كرېمنىي، گېرمانىي قاتارلىقلار.

مېتاللار: ئاليۇمىن، داتلاشماس پولات، تىتان قېتىشمىسى قاتارلىقلار.

كىرىستاللار: YAG، يەككە كىرىستاللىق كرېمنىي كاربىد قاتارلىقلار.

قاتتىق/مورۇت ماتېرىياللار: كرېمنىي كاربىد قاتارلىقلار.

يۈزە سۈپىتى / ئېنىقلىق

PV < 10 nm

RMS ≤ 0.5 nm

ئىئون نۇرى سىلىقلاش ماشىنىسىنىڭ بىر تەرەپ قىلىش ئەھۋالى تەتقىقاتى

1-ئەھۋال – ئۆلچەملىك ياپىلاق ئەينەك

ئىشلەنگەن بۇيۇم: D630 مىللىمېتىرلىق كۋارتس ياپلاق

نەتىجە: PV 46.4 nm؛ RMS 4.63 nm

2-ئەھۋال – رېنتىگېن نۇرىنى قايتۇرۇش ئەينىكى

ئىشلەنگەن بۇيۇم: 150 × 30 مىللىمېتىرلىق ياپىلاق سىلىكون

نەتىجە: PV 8.3 nm؛ RMS 0.379 nm؛ يانتۇلۇق 0.13 µrad

3-ئەھۋال – ئوق سىرتىدىكى ئەينەك

ئىشلەنگەن بۇيۇم: D326 مىللىمېتىرلىق ئوق سىرتىدىكى يەر ئەينىكى

نەتىجە: PV 35.9 nm؛ RMS 3.9 nm

كۋارتس كۆزەينىكى توغرىسىدىكى كۆپ سورىلىدىغان سوئاللار

كۆپ سورىلىدىغان سوئاللار – ئىئون نۇرى سىلىقلاش ماشىنىسى

1-سوئال: ئىئون نۇرى بىلەن سىلىقلاش دېگەن نېمە؟
A1:ئىئون نۇرى بىلەن سىلىقلاش بىر خىل ئالاقىسىز جەريان بولۇپ، ئۇ ئىشلەنگەن بۇيۇم يۈزىدىكى ماتېرىياللارنى چىقىرىۋېتىش ئۈچۈن ئىئونلارنىڭ مەركەزلەشكەن نۇرى (مەسىلەن، ئارگون ئىئونلىرى) نى ئىشلىتىدۇ. ئىئونلار تېزلىتىلىپ، يۈزگە قارىتىلىدۇ، بۇ ئاتوم دەرىجىسىدىكى ماتېرىياللارنى چىقىرىۋېتىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، نەتىجىدە ئىنتايىن سىلىق رەڭ ھاسىل بولىدۇ. بۇ جەريان مېخانىكىلىق بېسىم ۋە يەر ئاستى بۇزۇلۇشىنى يوقىتىدۇ، شۇڭا ئۇنى ئېنىق ئوپتىكىلىق زاپچاسلار ئۈچۈن ئەڭ ياخشى قىلىدۇ.

2-سوئال: ئىئون نۇرى بىلەن پارقىراتقۇچ ماشىنىسى قانداق يۈزلەرنى بىر تەرەپ قىلالايدۇ؟
A2:بۇئىئون نۇرى سىلىقلاش ماشىنىسىقاتارلىق ئاددىي ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ھەر خىل يۈزلەرنى بىر تەرەپ قىلالايدۇتۈزلەڭلىكلەر، شارلار ۋە پىرىزمىلار، شۇنداقلا مۇرەككەپ گېئومېتىرىيە شەكىللىرىئاسفېرلار، ئوق سىرتىدىكى ئاسفېرلار، ۋەئەركىن شەكىللىك يۈزلەرئۇ بولۇپمۇ ئوپتىكىلىق ئەينەك، ئىنفىرا قىزىل نۇرلۇق ئوپتىكىلىق ماتېرىياللار، مېتاللار ۋە قاتتىق/مۇرۇت ماتېرىياللار قاتارلىق ماتېرىياللاردا ئۈنۈملۈك.

3-سوئال: ئىئون نۇرى سىلىقلاش ماشىنىسى قانداق ماتېرىياللار بىلەن ئىشلىيەلەيدۇ؟
A3:بۇئىئون نۇرى سىلىقلاش ماشىنىسىتۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالغان كەڭ دائىرىلىك ماتېرىياللارنى پارقىراتالايدۇ:

ئوپتىكىلىق ئەينەك: كۋارتس، مىكروكرىستاللىق، K9 قاتارلىقلار.
ئىنفىرا قىزىل نۇرلۇق ماتېرىياللار: كرېمنىي، گېرمانىي قاتارلىقلار.
مېتاللار: ئاليۇمىن، داتلاشماس پولات، تىتان قېتىشمىسى قاتارلىقلار.
كىرىستال ماتېرىياللارYAG، يەككە كىرىستاللىق كرېمنىي كاربىدى قاتارلىقلار.
باشقا قاتتىق/مورۇق ماتېرىياللار: كرېمنىي كاربىد قاتارلىقلار.

بىز ھەققىدە

XKH شىركىتى يۇقىرى تېخنىكىلىق تەرەققىيات، ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئالاھىدە ئوپتىكىلىق ئەينەك ۋە يېڭى كىرىستال ماتېرىياللارنى سېتىشقا ئىختىساسلاشقان. مەھسۇلاتلىرىمىز ئوپتىكىلىق ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى، ئىستېمال ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ۋە ھەربىي ساھەلەرگە مۇلازىمەت قىلىدۇ. بىز ياقۇت ئوپتىكىلىق زاپچاسلار، يانفون لىنزىسى قاپقىقى، كېرامىكا، LT، كرېمنىي كاربىد SIC، كۋارتس ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كىرىستال ۋاپشىلارنى تەمىنلەيمىز. ماھارەتلىك ماھارەت ۋە ئەڭ يېڭى ئۈسكۈنىلەر بىلەن، بىز ئۆلچەملىك بولمىغان مەھسۇلات پىششىقلاش ساھەسىدە ئۈستۈنلۈكنى قولغا كەلتۈرىمىز، ئالدىنقى قاتاردىكى ئوپتىكىلىق ئېلېكترون ماتېرىياللىرى يۇقىرى تېخنىكىلىق كارخانا بولۇشنى مەقسەت قىلىمىز.