8 دىيۇملۇق LNOI (ئىزولياتوردىكى LiNbO3) ئوپتىكىلىق مودۇللاشتۇرغۇچ دولقۇن يېتەكچىسى توپلاشتۇرۇلغان توك يولى.
تەپسىلىي دىئاگرامما
تونۇشتۇرۇش
ئىزولياتور (LNOI) ۋافېردىكى لىتىي Niobate ھەرخىل ئىلغار ئوپتىكىلىق ۋە ئېلېكترونلۇق قوللىنىشچان پروگراممىلاردا ئىشلىتىلىدىغان ئالدىنقى قاتاردىكى ماتېرىيال. بۇ ۋافېرلار نېپىز بىر قەۋەت لىتىي نىئوبات (LiNbO₃) نى ئىزولياتور ئاستىغا يۆتكەش ئارقىلىق ئىشلەپچىقىرىلىدۇ ، ئادەتتە كرېمنىي ياكى باشقا ماس كېلىدىغان ماتېرىياللار ، ئىئون كۆچۈرۈش ۋە ۋافېر باغلاش قاتارلىق مۇرەككەپ تېخنىكىلارنى ئىشلىتىپ. LNOI تېخنىكىسى كرېمنىي بىلەن ئىنسۇلىناتور (SOI) ۋافېر تېخنىكىسىدا نۇرغۇن ئوخشاشلىقلارغا ئىگە ، ئەمما لىتىي نىئوباتنىڭ ئۆزگىچە ئوپتىكىلىق خۇسۇسىيىتىدىن پايدىلىنىدۇ ، بۇ ماتېرىيال ئېلېكتر ئېنېرگىيىسى ، ئېلېكتر ئېنېرگىيىسى ۋە سىزىقسىز ئوپتىكىلىق ئالاھىدىلىكى بىلەن داڭلىق.
LNOI ۋافېرلىرى يۇقىرى چاستوتىلىق ۋە يۇقىرى سۈرئەتلىك قوللىنىشچان پروگراممىلارنىڭ ئىپادىسى يۇقىرى بولغاچقا ، توپلاشتۇرۇلغان ئوپتىكا ، تېلېگراف ، كىۋانت ھېسابلاش قاتارلىق ساھەلەردە كۆرۈنەرلىك دىققەت قوزغىدى. ۋافېرلار «ئەقلىي ئىقتىدارلىق كېسىش» تېخنىكىسى ئارقىلىق ئىشلەپچىقىرىلىدۇ ، بۇ لىتىي نىئوبات نېپىز پەردىسىنىڭ قېلىنلىقىنى ئېنىق كونترول قىلالايدۇ ، ۋافېرلارنىڭ ھەر خىل قوللىنىشچان پروگراممىلارنىڭ تەلەپكە ماس كېلىشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
پرىنسىپ
LNOI ۋافېر ياساش جەريانى كۆپ مىقداردىكى لىتىي نىئوبات كىرىستالدىن باشلىنىدۇ. خرۇستال ئىئون كۆچۈرۈشنى باشتىن كەچۈردى ، بۇ يەردە لىتىي نىئوبات كىرىستال يۈزىگە يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك گېلىي ئىئونلىرى كىرگۈزۈلدى. بۇ ئىئونلار خرۇستالغا مەلۇم چوڭقۇرلۇققا سىڭىپ كىرىستال قۇرۇلمىنى قالايمىقانلاشتۇرۇپ ، نازۇك ئايروپىلان ھاسىل قىلىپ ، كېيىن خرۇستالنى نېپىز قەۋەتلەرگە ئايرىيالايدۇ. گېلىي ئىئونىنىڭ كونكرېت ئېنېرگىيىسى كۆچۈرۈشنىڭ چوڭقۇرلۇقىنى كونترول قىلىدۇ ، بۇ ئاخىرقى لىتىي نىئوبات قەۋىتىنىڭ قېلىنلىقىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ.
ئىئون كۆچۈرۈلگەندىن كېيىن ، لىتىي نىئوبات خرۇستال ۋافېر باغلاش دەپ ئاتىلىدىغان تېخنىكىنى ئىشلىتىپ تارماق بالا بىلەن باغلىنىدۇ. باغلىنىش جەريانى ئادەتتە بىۋاسىتە باغلىنىش ئۇسۇلىنى قوللىنىدۇ ، بۇ يەردە ئىككى يۈز (ئىئون كۆچۈرۈلگەن لىتىي نىئوبات خرۇستال ۋە تارماق بالا) يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە بېسىم ئاستىدا بىر-بىرىگە بېسىپ ، كۈچلۈك رىشتە ھاسىل قىلىدۇ. بەزى ئەھۋاللاردا قوشۇمچە ياردەم ئۈچۈن بېنزوسىكلوبۇتېن (BCB) غا ئوخشاش يېپىشقاق ماتېرىيال ئىشلىتىلىشى مۇمكىن.
باغلىنىشتىن كېيىن ، ۋافېر ئۇلاش جەريانىنى باشتىن كەچۈرۈپ ، ئىئون كۆچۈرۈشتىن كېلىپ چىققان زىياننى ئەسلىگە كەلتۈرىدۇ ۋە قاتلاملار ئوتتۇرىسىدىكى رىشتىنى كۈچەيتىدۇ. ئۇلاش جەريانى يەنە نېپىز لىتىي نىئوبات قەۋىتىنىڭ ئەسلىدىكى خرۇستالدىن ئايرىلىشىغا ياردەم بېرىدۇ ، ئۈسكۈنىنىڭ توقۇلمىلىرىغا ئىشلىتىشكە بولىدىغان نېپىز ، سۈپەتلىك لىتىي نىئوبات قەۋىتىنى قالدۇرىدۇ.
ئۆلچىمى
LNOI ۋافېرلىرى يۇقىرى ئىقتىدارلىق قوللىنىشچان پروگراممىلارنىڭ ماسلىشىشچانلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدىغان بىر قانچە مۇھىم ئۆلچەم بىلەن خاراكتېرلىنىدۇ. بۇلار:
ماتېرىيال ئۆلچىمى?
| ?ماتېرىيال? | ?ئۆلچىمى? |
| ماتېرىيال | ھەمجىنىس: LiNbO3 |
| ماتېرىيال سۈپىتى | كۆپۈك ياكى قوشۇلۇش <100μm |
| يۆنىلىش | Y-cut ± 0.2 ° |
| زىچلىقى | 4.65 g / cm³ |
| Curie Temperature | 1142 ± 1 ° C. |
| Transparency | > 95-700 nm ئارىلىقىدا 95% (قېلىنلىقى 10 مىللىمېتىر) |
ياسىمىچىلىق ئۆلچىمى?
| ?پارامېتىر? | ?Specification? |
| دىئامېتىرى | 150 مىللىمېتىر ± 0.2 مىللىمېتىر |
| قېلىنلىق | 350 mm ± 10 mm |
| تەكشىلىك | <1.3 mm |
| ئومۇمىي قېلىنلىق پەرقى (TTV) | Warp <70 μ mm @ 150 mm wafer |
| يەرلىك قېلىنلىقنىڭ ئۆزگىرىشى (LTV) | <70 mm @ 150 mm wafer |
| قوپاللىق | Rq ≤0.5 nm (AFM RMS قىممىتى) |
| Surface Quality | 40-20 |
| بۆلەكلەر (يۆتكىگىلى بولمايدىغان) | 100-200 μm ≤3 زەررىچىلەر |
| ئۆزەك | <300 mm (تولۇق ۋافېر ، چەتكە قېقىش رايونى يوق) |
| يېرىق | يېرىق يوق (تولۇق ۋافېر) |
| بۇلغىنىش | يۆتكىگىلى بولمايدىغان داغ يوق (تولۇق ۋافېر) |
| پاراللېل | <30 arcseconds |
| يۆنىلىش پايدىلىنىش ئايروپىلانى (X ئوق) | 47 ± 2 mm |
قوللىنىشچان پروگراممىلار
LNOI ۋافېرلىرى ئۆزگىچە ئالاھىدىلىكلىرى سەۋەبىدىن كۆپ خىل قوللىنىشچان پروگراممىلاردا ئىشلىتىلىدۇ ، بولۇپمۇ فوتونكا ، تېلېگراف ۋە كىۋانت تېخنىكىسى ساھەسىدە. بەزى ئاچقۇچلۇق پروگراممىلار تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
توپلاشتۇرۇلغان ئوپتىكا:LNOI ۋافېرلىرى ئوپتىكىلىق توك يولىدا كەڭ قوللىنىلىدۇ ، ئۇلار مودۇللاشتۇرغۇچ ، دولقۇن يېتەكچىسى ۋە رېزوناتور قاتارلىق يۇقىرى ئىقتىدارلىق فوتون ئۈسكۈنىلىرىنى قوزغىتىدۇ. لىتىي نىئوباتنىڭ يۇقىرى سىزىقسىز ئوپتىكىلىق خۇسۇسىيىتى ئۇنى ئۈنۈملۈك نۇر كونترول قىلىشنى تەلەپ قىلىدىغان قوللىنىشچان پروگراممىلارنىڭ ئېسىل تاللىشى قىلىدۇ.
تېلېگراف:LNOI ۋافېر ئوپتىكىلىق مودۇللىغۇچتا ئىشلىتىلىدۇ ، بۇلار ئوپتىك تالا تورىنى ئۆز ئىچىگە ئالغان يۇقىرى سۈرئەتلىك خەۋەرلىشىش سىستېمىسىنىڭ مۇھىم تەركىبىي قىسمى. يۇقىرى چاستوتا نۇرنى تەڭشەش ئىقتىدارى LNOI ۋافېرنى زامانىۋى تېلېگراف سىستېمىسىغا ماسلاشتۇرىدۇ.
كۋانت ھېسابلاش:كىۋانت تېخنىكىسىدا ، LNOI ۋافېر كىۋانت كومپيۇتېر ۋە كىۋانت ئالاقە سىستېمىسىنىڭ زاپچاسلىرىنى توقۇشقا ئىشلىتىلىدۇ. LNOI نىڭ سىزىقسىز ئوپتىكىلىق خۇسۇسىيىتى قوللىنىلىپ ، كىۋانت ئاچقۇچ تەقسىملەش ۋە كىۋانت مەخپىيلەشتۈرۈشتە ئىنتايىن مۇھىم.
سېنزور:LNOI ۋافېر ئوپتىكىلىق ۋە ئاكۇستىكىلىق سېنزورنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ھەر خىل سېزىمچان پروگراممىلاردا ئىشلىتىلىدۇ. ئۇلارنىڭ نۇر ۋە ئاۋاز بىلەن ئۆز-ئارا تەسىر كۆرسىتىش ئىقتىدارى ئۇلارنى ئوخشىمىغان تىپتىكى سېزىش تېخنىكىلىرىغا كۆپ خىل قىلىدۇ.
سوئال
Q:LNOI تېخنىكىسى دېگەن نېمە؟
جاۋاب: LNOI تېخنىكىسى نېپىز لىتىي نىئوبات پىلاستىنكىسىنى ئىزولياتور ئاستىغا يۆتكەشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، ئادەتتە كرېمنىي. بۇ تېخنىكا لىتىي نىئوباتنىڭ ئۆزىگە خاس خۇسۇسىيىتىنى جارى قىلدۇرىدۇ ، مەسىلەن ئۇنىڭ يۇقىرى سىزىقسىز ئوپتىكىلىق ئالاھىدىلىكى ، ئېلېكتر ئېنېرگىيىسى ۋە ئېلېكتر ئېنېرگىيىسى قاتارلىقلار ، ئۇ ئوپتىكا ۋە تېلېگرافنى بىر گەۋدىلەشتۈرۈشكە ماس كېلىدۇ.
Q:LNOI بىلەن SOI ۋافېرلىرىنىڭ قانداق پەرقى بار؟
جاۋاب: LNOI ۋە SOI ۋافېرلىرىنىڭ ھەر ئىككىسى ئوخشاش بولۇپ ، ئۇلار ئاستىرتتىن باغلانغان نېپىز قەۋەتتىن تەركىب تاپقان. قانداقلا بولمىسۇن ، LNOI ۋافېرلىرى لىتىي نىئوباتنى نېپىز پەردە ماتېرىيالى قىلىدۇ ، SOI ۋافېر بولسا كرېمنىي ئىشلىتىدۇ. ھالقىلىق پەرقى نېپىز پەردە ماتېرىيالىنىڭ خۇسۇسىيىتىدە ، LNOI ئەۋزەل ئوپتىكىلىق ۋە پيېزو ئېلېكتر خۇسۇسىيىتى بىلەن تەمىنلەيدۇ.
Q:LNOI ۋافېر ئىشلىتىشنىڭ قانداق ئەۋزەللىكى بار؟
جاۋاب: LNOI ۋافېرنىڭ ئاساسلىق ئەۋزەللىكى ئۇلارنىڭ ئېسىل ئوپتىكىلىق خۇسۇسىيىتىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، مەسىلەن يۇقىرى سىزىقلىق ئوپتىكىلىق كوئېففىتسېنت ۋە ئۇلارنىڭ مېخانىك كۈچى. بۇ ئالاھىدىلىكلەر LNOI ۋافېرنى يۇقىرى سۈرئەتلىك ، يۇقىرى چاستوتىلىق ۋە كىۋانت قوللىنىشچان پروگراممىلىرىغا ئىشلىتىشكە ماس كېلىدۇ.
Q:LNOI ۋافېرنى كىۋانت قوللىنىشچان پروگراممىلىرىغا ئىشلىتىشكە بولامدۇ؟
جاۋاب: شۇنداق ، LNOI ۋافېرلىرى كۋانت تېخنىكىسىدا چېتىلىپ قالغان فوتون جۈپ ھاسىل قىلىش ئىقتىدارى ۋە بىر گەۋدىلەشكەن فوتونكا بىلەن ماسلىشىشچانلىقى سەۋەبىدىن كەڭ قوللىنىلىدۇ. بۇ خۇسۇسىيەتلەر كىۋانت ھېسابلاش ، ئالاقە ۋە شىفىرلاشتۇرۇشتىكى قوللىنىشچان پروگراممىلاردا ئىنتايىن مۇھىم.
Q:LNOI فىلىملىرىنىڭ تىپىك قېلىنلىقى نېمە؟
جاۋاب: LNOI فىلىملىرى كونكرېت قوللىنىشچان پروگراممىغا ئاساسەن ئادەتتە نەچچە يۈز نانومېتىردىن قېلىنلىقى بىر قانچە مىكروومېتىرغىچە بولىدۇ. قېلىنلىقى ئىئون كۆچۈرۈش جەريانىدا كونترول قىلىنىدۇ.
