LNOI Wafer (ئىزولياتوردىكى لىتىي نىئوبات) تېلېگراف سېزىمى يۇقىرى ئېلېكتر ئوپتىكىسى
تەپسىلىي دىئاگرامما
ئومۇمىي چۈشەنچە
ۋافېر قۇتىسىنىڭ ئىچىدە سىممېترىك ئۆستەڭ بار ، ئۇنىڭ ئۆلچىمى قاتتىق بولۇپ ، ۋافېرنىڭ ئىككى تەرىپىنى قوللايدۇ. خرۇستال قۇتا ئادەتتە سۈزۈك سۇلياۋ PP ماتېرىيالىدىن ياسالغان بولۇپ ، تېمپېراتۇرا ، ئۇپراش ۋە تۇراقلىق توكقا چىداملىق. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى مېتال جەريان بۆلەكلىرىنى پەرقلەندۈرۈش ئۈچۈن ئوخشىمىغان رەڭدىكى خۇرۇچلار ئىشلىتىلىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئاچقۇچلۇق كىچىكلىكى ، قويۇق ئەندىزىسى ۋە ئىشلەپچىقىرىشتا ئىنتايىن قاتتىق زەررىچە تەلەپ بولغاچقا ، ۋافېر قۇتىسى چوقۇم پاكىز مۇھىتقا كاپالەتلىك قىلىپ ، ئوخشىمىغان ئىشلەپچىقىرىش ماشىنىلىرىنىڭ مىكرو مۇھىت ساندۇقى رېئاكسىيە بوشلۇقىغا ئۇلىنىشى كېرەك.
توقۇلما ئۇسۇلى
LNOI ۋافېرنىڭ ياسىلىشى بىر قانچە ئېنىق باسقۇچلاردىن تەركىب تاپقان:
1-قەدەم: Helium Ion كۆچۈرۈشHelium ئىئونلىرى ئىئون كۆچۈرگۈچ ئارقىلىق كۆپ مىقداردىكى LN كىرىستالغا كىرگۈزۈلگەن. بۇ ئىئونلار مەلۇم چوڭقۇرلۇقتا تۇرۇپ ، ئاجىزلاپ كەتكەن ئايروپىلاننى شەكىللەندۈرىدۇ ، ئاخىرىدا كىنو ئەترىتىنى ئاسانلاشتۇرىدۇ.
2-قەدەم: بازا تارماق قۇرۇلمىسىنىڭ شەكىللىنىشىئايرىم كرېمنىي ياكى LN ۋافېر ئوكسىدلىنىدۇ ياكى SiO2 بىلەن PECVD ياكى ئىسسىقلىق ئوكسىدلىنىش ئارقىلىق قاتلىنىدۇ. ئۇنىڭ ئۈستۈنكى يۈزى ئەڭ ياخشى باغلىنىش ئۈچۈن پىلانلانغان.
3-قەدەم: LN نى Substrate غا باغلاشئىئون كۆچۈرۈلگەن LN خرۇستال بىۋاسىتە ۋافېر باغلاش ئارقىلىق ئاساسىي ۋافېرغا ئۇلىنىدۇ. تەتقىقات تەڭشەكلىرىدە ، بېنزوسىكلوبۇتېن (BCB) يېپىشقاق قىلىپ ، قاتتىق بولمىغان شارائىتتا باغلىنىشنى ئاددىيلاشتۇرىدۇ.
4-قەدەم: ئىسسىقلىق بىلەن داۋالاش ۋە كىنو ئايرىشAnnealing كۆچۈرۈلگەن چوڭقۇرلۇقتا كۆپۈك شەكىللىنىشنى قوزغىتىپ ، نېپىز پەردە (ئۈستۈنكى LN قەۋىتى) نى توپتىن ئايرىيالايدۇ. كۆيدۈرۈشنى تاماملاش ئۈچۈن مېخانىكىلىق كۈچ ئىشلىتىلىدۇ.
5-قەدەم: يۈزنى سىلىقلاشخىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش (CMP) ئۈستۈنكى LN يۈزىنى سىلىقلاش ئۈچۈن قوللىنىلىپ ، ئوپتىكىلىق سۈپەت ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ مەھسۇلات مىقدارىنى ئۆستۈرىدۇ.
تېخنىكىلىق پارامېتىرلار
| ماتېرىيال | ئوپتىكىلىق Grade LiNbO3 wafes (White or قارا) | |
| Curie Temp | 1142 ± 0.7 ℃ | |
| كېسىش Angle | X / Y / Z قاتارلىقلار | |
| دىئامېتىرى / چوڭلۇقى | 2 ”/ 3” / 4 ”± 0.03mm | |
| تول (±) | <0.20 mm ± 0.005mm | |
| قېلىنلىق | 0.18 ～ 0.5mm ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى | |
| Primary تەكشى | 16mm / 22mm / 32mm | |
| TTV | <3μm | |
| Bow | -30 | |
| Warp | <40μm | |
| يۆنىلىش تەكشى | بارلىق ئىشلەتكىلى بولىدۇ | |
| Surface تىپ | تاق تەرەپ سىلىقلانغان (SSP) / قوش تەرەپ سىلىقلانغان (DSP) | |
| پولشا side Ra | <0.5nm | |
| S / D. | 20/10 | |
| Edge ئۆلچەم | R = 0.2mm C تىپى or Bullnose | |
| سۈپەت | ھەقسىز of يېرىلىش (كۆپۈكچە) ۋە inclusions) | |
| ئوپتىكىلىق كۆپەيتىلگەن | Mg / Fe / Zn / MgO قاتارلىقلار for ئوپتىكىلىق دەرىجىسى LN wafers per تەلەپ قىلىندى | |
| Wafer Surface ئۆلچەم | سۇندۇرۇش كۆرسەتكۈچى | No = 2.2878 / Ne = 2.2033 @ 632nm دولقۇن ئۇزۇنلۇقى / پىرىزما تۇتاشتۇرۇش ئۇسۇلى. |
| بۇلغىنىش ، | ياق | |
| Particles c> 0.3μ m | <= 30 | |
| Scratch, Chipping | ياق | |
| كەمتۈك | قىر قىرلىرى ، سىزىلغان رەسىملەر ، داغلار ، داغلار يوق | |
| ئورالما | Qty / Wafer قۇتىسى | ھەر بىر قۇتىغا 25pcs |
دېلولارنى ئىشلىتىڭ
كۆپ ئىقتىدارلىقلىقى ۋە ئىقتىدارى سەۋەبىدىن LNOI نۇرغۇنلىغان كەسىپلەردە ئىشلىتىلىدۇ:
Photonics:ئىخچام مودۇللاشتۇرغۇچ ، كۆپ ئىقتىدارلىق ۋە فوتون توك يولى.
RF / Acoustics:Acousto-optic modulator, RF سۈزگۈچ.
كۋانت ھېسابلاش:سىزىقسىز چاستوتا ئارىلاشتۇرغۇچ ۋە فوتون جۈپ گېنېراتور.
مۇداپىئە ۋە ئالەم قاتنىشى:تۆۋەن زىيانلىق ئوپتىكىلىق گىرىس ، چاستوتا ئالماشتۇرۇش ئۈسكۈنىسى.
داۋالاش ئۈسكۈنىلىرى:ئوپتىكىلىق بىئولوگىيىلىك سېنزور ۋە يۇقىرى چاستوتىلىق سىگنال تەكشۈرۈش ئەسۋابى.
سوئال
مۇخبىر: نېمىشقا LNOI ئوپتىكىلىق سىستېمىدا SOI دىن ياخشىراق؟
A:LNOI ئەۋزەل ئېلېكتر ئوپتىكىلىق كوئېففىتسېنتى ۋە تېخىمۇ كەڭ سۈزۈكلۈك دائىرىسىنى قوللانغان بولۇپ ، فوتون توك يولىدا تېخىمۇ يۇقىرى ئۈنۈمگە ئېرىشەلەيدۇ.
مۇخبىر: بۆلۈنگەندىن كېيىن CMP مەجبۇرىمۇ؟
A:ھەئە. ئاشكارلانغان LN يۈزى ئىئون كېسىلگەندىن كېيىن قوپال بولۇپ ، چوقۇم سىلىقلاپ ئوپتىكىلىق ئۆلچەمگە يېتىشى كېرەك.
مۇخبىر: ئەڭ چوڭ ۋافېر چوڭلۇقى قانچىلىك؟
A:سودا LNOI ۋافېرلىرى ئاساسلىقى 3 »ۋە 4» ، گەرچە بەزى تەمىنلىگۈچىلەر 6 خىل «ۋارىيانت» نى تەتقىق قىلىۋاتقان بولسىمۇ.
مۇخبىر: بۆلۈنگەندىن كېيىن LN قەۋىتىنى قايتا ئىشلەتكىلى بولامدۇ؟
A:ئاساسى كىرىستالنى قايتا-قايتا سىلىقلاپ قايتا-قايتا ئىشلەتكىلى بولىدۇ ، گەرچە بىر نەچچە ئايلىنىشتىن كېيىن سۈپەت تۆۋەنلەپ كېتىشى مۇمكىن.
مۇخبىر: LNOI ۋافېرلىرى CMOS بىر تەرەپ قىلىشقا ماس كېلەمدۇ؟
A:شۇنداق ، ئۇلار ئادەتتىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش جەريانى بىلەن ماسلاشتۇرۇلغان بولۇپ ، بولۇپمۇ كرېمنىينىڭ ئاستى قىسمى ئىشلىتىلگەن.
