LNOI ۋافېرى (ئىزولياتوردىكى لىتىي نىئوبات) تېلېكوممۇنىكاتسىيە سېزىش يۇقىرى ئېلېكترو-ئوپتىكىلىق
تەپسىلىي دىئاگرامما
ئومۇمىي ئەھۋال
ۋافلى قۇتىنىڭ ئىچىدە سىممېترىك ئويمانلىقلار بار بولۇپ، ئۇلارنىڭ ئۆلچىمى ۋافلىنىڭ ئىككى تەرىپىنى تىرەپ تۇرۇش ئۈچۈن قاتتىق بىردەك. كىرىستال قۇتا ئادەتتە تېمپېراتۇرا، ئۇپراش ۋە ستاتىك توكقا چىداملىق بولغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ پلاستىك PP ماتېرىيالىدىن ياسىلىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا مېتال پىششىقلاش بۆلەكلىرىنى پەرقلەندۈرۈش ئۈچۈن ھەر خىل رەڭلىك قوشۇمچە ماددىلار ئىشلىتىلىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچلەرنىڭ ئاچقۇچ چوڭلۇقى كىچىك، زىچ نەقىشلەر ۋە ئىشلەپچىقىرىشتىكى زەررىچە چوڭلۇقىغا بولغان قاتتىق تەلەپلەر سەۋەبىدىن، ۋافلى قۇتىسىنىڭ ھەر خىل ئىشلەپچىقىرىش ماشىنىلىرىنىڭ مىكرو مۇھىت قۇتىسىنىڭ رېئاكسىيە بوشلۇقىغا ئۇلىنىش ئۈچۈن پاكىز مۇھىتقا كاپالەتلىك قىلىنىشى كېرەك.
ئىشلەپچىقىرىش ئۇسۇلى
LNOI لېنتىلىرىنى ياساش بىر قانچە ئېنىق باسقۇچلاردىن تەركىب تاپىدۇ:
1-قەدەم: گېلىي ئىئونىنى كۆچۈرۈشگېلىي ئىئونلىرى ئىئون ئىمپلانتېرى ئارقىلىق چوڭ تىپتىكى LN كرىستالىغا كىرگۈزۈلىدۇ. بۇ ئىئونلار بەلگىلىك چوڭقۇرلۇقتا تۇرۇپ، ئاجىزلاشقان تۈزلەڭلىكنى شەكىللەندۈرىدۇ، بۇ ئاخىرىدا پەردىنىڭ ئايرىلىشىنى ئاسانلاشتۇرىدۇ.
2-قەدەم: ئاساسىي قاتلامنى شەكىللەندۈرۈشئايرىم كرېمنىي ياكى LN لېنتىسى PECVD ياكى ئىسسىقلىق ئوكسىدلىنىشى ئارقىلىق SiO2 بىلەن ئوكسىدلىنىدۇ ياكى قەۋەتلىنىدۇ. ئۇنىڭ ئۈستۈنكى يۈزى ئەڭ ياخشى باغلىنىش ئۈچۈن تۈزلىنىدۇ.
3-قەدەم: LN نى ئاساسىي قاتلامغا چاپلاشتۇرۇشئىئونغا كىرگۈزۈلگەن LN كرىستالى ئۆرۈلۈپ، بىۋاسىتە ۋافېر باغلىنىشى ئارقىلىق ئاساسىي ۋافېرغا چاپلىنىدۇ. تەتقىقات ئورۇنلىرىدا، بېنزوسىكلوبۇتېن (BCB) نى يېلىم سۈپىتىدە ئىشلىتىپ، قاتتىق بولمىغان شارائىتتا باغلىنىشنى ئاددىيلاشتۇرغىلى بولىدۇ.
4-قەدەم: ئىسسىقلىق بىلەن بىر تەرەپ قىلىش ۋە پىلاستىنكا ئايرىشتېمپېراتۇرا ئۆستۈرۈش تېرىگە كىرگۈزۈلگەن چوڭقۇرلۇقتا كۆپۈكچە شەكىللىنىشىنى ئاكتىپلاشتۇرۇپ، نېپىز پەردىنى (ئۈستۈنكى LN قەۋىتى) كۆپ مىقداردىكى قەۋەتتىن ئايرىۋېتىشكە شارائىت ھازىرلايدۇ. تېرىنى تازىلاشنى تاماملاش ئۈچۈن مېخانىكىلىق كۈچ ئىشلىتىلىدۇ.
5-قەدەم: يۈزەكى سىلىقلاشخىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش (CMP) ئۈستۈنكى LN يۈزىنى سىلىقلاش ئۈچۈن قوللىنىلىدۇ، بۇ ئارقىلىق ئوپتىكىلىق سۈپەت ۋە ئۈسكۈنە ئۈنۈمىنى يۇقىرى كۆتۈرىدۇ.
تېخنىكىلىق پارامېتىرلار
| ماتېرىيال | ئوپتىكىلىق دەرىجە LiNbO3 ۋاف (ئاق) or قارا) | |
| كۇرى تېمپېراتۇرا | 1142±0.7℃ | |
| كېسىش بۇلۇڭ | X/Y/Z قاتارلىقلار | |
| دىئامېتىرى/چوڭلۇقى | 2”/3”/4” ±0.03mm | |
| تول(±) | <0.20 مىللىمېتىر ±0.005 مىللىمېتىر | |
| قېلىنلىقى | 0.18～0.5mm ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى | |
| باشلانغۇچ ياستۇق | 16mm/22mm/32mm | |
| TTV | <3μm | |
| ياي | -30 | |
| بۇرمىلاش | <40μm | |
| يۆنىلىش ياستۇق | ھەممىسى بار | |
| يۈزە تىپى | بىر تەرەپ سىلىقلانغان (SSP) / قوش تەرەپ سىلىقلانغان (DSP) | |
| سىلىقلانغان تەرەپ Ra | <0.5nm | |
| S/D | 20/10 | |
| قىر ئۆلچەملەر | R=0.2mm C تىپلىق or بۇقا بۇرۇن | |
| سۈپەت | ھەقسىز of يېرىق (كۆپۈكچە) ۋە قوشۇمچىلار) | |
| ئوپتىكىلىق допингланган | Mg/Fe/Zn/MgO قاتارلىقلار ئۈچۈن ئوپتىكىلىق دەرىجە LN ۋافلىلار ھەر تەلەپ قىلىنغان | |
| ۋافلى يۈزە ئۆلچەملەر | سىنىش كۆرسەتكۈچى | No=2.2878/Ne=2.2033 @632nm دولقۇن ئۇزۇنلۇقى/پرىزما ئۇلىغۇچ ئۇسۇلى. |
| بۇلغىنىش، | يوق | |
| زەررىچىلەر c>0.3μ m | <=30 | |
| چىزىلىش، يېرىلىش | يوق | |
| كەمچىلىك | گىرۋىكى يېرىلىش، چىزىلىش، ئاررا ئىزى ۋە داغ قالمىغان | |
| ئورالما | سانى/ۋافېر قۇتىسى | ھەر بىر قۇتا 25 دانە |
ئىشلىتىش ئەھۋاللىرى
كۆپ ئىقتىدارلىق ۋە ئىقتىدارى سەۋەبىدىن، LNOI نۇرغۇن كەسىپلەردە ئىشلىتىلىدۇ:
فوتونىكا:ئىخچام مودۇلياتورلار، كۆپ ئىقتىدارلىق قوزغاتقۇچلار ۋە فوتون توك يوللىرى.
رادىئو چاستوتا/ئاكۇستىكا:ئاكۇستو-ئوپتىكىلىق مودۇلياتورلار، رادىئو چاستوتا فىلتىرلىرى.
كۋانت ھېسابلاش:سىزىقسىز چاستوتا ئارىلاشتۇرغۇچلىرى ۋە فوتون جۈپ گېنېراتورلىرى.
مۇداپىئە ۋە ئاۋىئاتسىيە:تۆۋەن يوقىتىشلىق ئوپتىكىلىق گىروس، چاستوتا ئۆزگەرتىش ئۈسكۈنىلىرى.
داۋالاش ئۈسكۈنىلىرى:ئوپتىكىلىق بىئوسېنسورلار ۋە يۇقىرى چاستوتىلىق سىگنال زوندلىرى.
كۆپ سورىلىدىغان سوئاللار
س: نېمە ئۈچۈن ئوپتىكىلىق سىستېمىلاردا SOI دىن LNOI نى ئەۋزەل كۆرىدۇ؟
A:LNOI يۇقىرى ئېلېكترو-ئوپتىك كوئېففىتسېنتلىرى ۋە كەڭ دائىرىلىك شەفافلىق دائىرىسى بىلەن تەمىنلەنگەن بولۇپ، فوتون توك يوللىرىدا يۇقىرى ئىقتىدارنى ئىشقا ئاشۇرىدۇ.
س: بۆلۈنگەندىن كېيىن CMP مەجبۇرىيمۇ؟
A:ھەئە. ئىئون كېسىش ئارقىلىق ئاشكارىلانغان LN يۈزى قوپال بولۇپ قالىدۇ، شۇڭا ئوپتىكىلىق دەرىجىلىك ئۆلچەملەرگە يېتىش ئۈچۈن سىلىقلاش كېرەك.
س: ئەڭ چوڭ ۋافلىنىڭ چوڭلۇقى قانچە؟
A:سودا LNOI لېنتىلىرى ئاساسلىقى 3 دىيۇم ۋە 4 دىيۇم چوڭلۇقتا بولىدۇ، گەرچە بەزى تەمىنلىگۈچىلەر 6 دىيۇملۇق نۇسخىلارنى تەرەققىي قىلدۇرۇۋاتىدۇ.
س: LN قەۋىتىنى پارچىلىغاندىن كېيىن قايتا ئىشلەتكىلى بولامدۇ؟
A:ئاساسىي كىرىستالنى قايتا-قايتا سىلىقلاپ، بىر قانچە قېتىم قايتا ئىشلەتكىلى بولىدۇ، گەرچە بىر قانچە قېتىم سىلىقلىغاندىن كېيىن سۈپىتى تۆۋەنلىشى مۇمكىن.
س: LNOI لېنتىلىرى CMOS بىر تەرەپ قىلىش ئىقتىدارىغا ماس كېلەمدۇ؟
A:شۇنداق، ئۇلار ئەنئەنىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانلىرىغا ماسلىشىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن، بولۇپمۇ كرېمنىي ئاساسلىرى ئىشلىتىلگەندە.
