ھازىر شىركىتىمىز داۋاملىق 8inchN تىپلىق SiC ۋافېرلىق كىچىك تۈركۈم بىلەن تەمىنلىيەلەيدۇ ، ئەگەر ئەۋرىشكە ئېھتىياجىڭىز بولسا ، مەن بىلەن ئالاقىلىشىڭ.توشۇشقا تەييارلانغان بىر قىسىم ئەۋرىشكە ۋافېرلىرىمىز بار.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللىرى ساھەسىدە ، شىركەت چوڭ تىپتىكى SiC كىرىستاللىرىنى تەتقىق قىلىش ۋە تەرەققىي قىلدۇرۇشتا زور بۆسۈش ھاسىل قىلدى.كۆپ قېتىم دىئامېتىرى چوڭايغاندىن كېيىن ، ئۆزىنىڭ ئۇرۇق كىرىستاللىقىنى ئىشلىتىپ ، شىركەت 8 دىيۇملۇق N تىپلىق SiC كىرىستالنى مۇۋەپپەقىيەتلىك ئۆستۈردى ، بۇ تېمپېراتۇرا مەيدانىنىڭ تەكشى بولماسلىقى ، خرۇستال يېرىلىش ۋە گاز باسقۇچىدىكى خام ئەشيانىڭ تارقىلىشى قاتارلىق قىيىن مەسىلىلەرنى ھەل قىلدى. 8 دىيۇملۇق SIC كىرىستال ، ھەمدە چوڭ تىپتىكى SIC كىرىستاللىرى ۋە ئاپتوماتىك ۋە كونترول قىلغىلى بولىدىغان پىششىقلاپ ئىشلەش تېخنىكىسىنىڭ ئۆسۈشىنى تېزلىتىدۇ.شىركەتنىڭ SiC يەككە خرۇستال تارماق بالا سانائىتىدىكى يادرولۇق رىقابەت كۈچىنى زور دەرىجىدە ئۆستۈرىدۇ.شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، بۇ شىركەت چوڭ تىپتىكى كرېمنىيلىق كاربون سۇبيېكتى تەييارلاش تەجرىبە لىنىيىسىنىڭ تېخنىكا ۋە جەرياننىڭ توپلىنىشىنى ئاكتىپ ئىلگىرى سۈرۈپ ، يۇقىرى ئېقىن ۋە تۆۋەن ئېقىندىكى تېخنىكا ئالماشتۇرۇش ۋە سانائەت ھەمكارلىقىنى كۈچەيتىپ ، خېرىدارلار بىلەن ھەمكارلىشىپ ، مەھسۇلاتنىڭ ئىقتىدارىنى ئۈزلۈكسىز تەكرارلايدۇ. كرېمنىي كاربون ماتېرىياللىرىنىڭ سانائەت قوللىنىش قەدىمىنى ئىلگىرى سۈرىدۇ.
| 8inch N تىپلىق SiC DSP ئۆلچىمى | |||||
| سان | Item | بىرلىك | ئىشلەپچىقىرىش | تەتقىقات | Dummy |
| 1. پارامېتىرلار | |||||
| 1.1 | polytype | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | يەر يۈزى يۆنىلىشى | ° | <11-20> 4 ± 0.5 | <11-20> 4 ± 0.5 | <11-20> 4 ± 0.5 |
| 2. ئېلېكتر پارامېتىرى | |||||
| 2.1 | dopant | -- | n تىپلىق ئازوت | n تىپلىق ئازوت | n تىپلىق ئازوت |
| 2.2 | قارشىلىق | ohm · cm | 0.015 ~ 0.025 | 0.01 ~ 0.03 | NA |
| 3. مېخانىكىلىق پارامېتىر | |||||
| 3.1 | دىئامېتىرى | mm | 200 ± 0.2 | 200 ± 0.2 | 200 ± 0.2 |
| 3.2 | قېلىنلىقى | μm | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 |
| 3.3 | يۆنىلىش يۆنىلىشى | ° | [1- 100] ± 5 | [1- 100] ± 5 | [1- 100] ± 5 |
| 3.4 | Notch Depth | mm | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤10 (10mm * 10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Bow | μm | -25 ~ 25 | -45 ~ 45 | -65 ~ 65 |
| 3.8 | Warp | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4. قۇرۇلما | |||||
| 4.1 | مىكروپنىڭ زىچلىقى | ea / cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | مېتال مەزمۇنى | ئاتوم / cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea / cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea / cm2 | 0002000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea / cm2 | 0007000 | 0010000 | NA |
| 5. ئاكتىپ سۈپەت | |||||
| 5.1 | ئالدى | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | surface finish | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | زەررىچە | ea / wafer | ≤100 (size≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | scratch | ea / wafer | ≤5 ، ئومۇمىي ئۇزۇنلۇقى 200mm | NA | NA |
| 5.5 | Edge ئۆزەك / كۆرسەتكۈچ / يېرىق / داغ / بۇلغىنىش | -- | ياق | ياق | NA |
| 5.6 | كۆپ قۇتۇپلۇق رايونلار | -- | ياق | رايون ≤10% | رايون ≤30% |
| 5.7 | ئالدى بەلگە | -- | ياق | ياق | ياق |
| 6. ئارقا سۈپەت | |||||
| 6.1 | back finish | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
| 6.2 | scratch | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | ئارقا تەرىپى كەمتۈك chips / indents | -- | ياق | ياق | NA |
| 6.4 | ئارقا قوپاللىق | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | ئارقا بەلگە | -- | Notch | Notch | Notch |
| 7. قىر | |||||
| 7.1 | edge | -- | Chamfer | Chamfer | Chamfer |
| 8. ئورالما | |||||
| 8.1 | ئورالما | -- | ۋاكۇئۇم بىلەن Epi تەييار ئورالما | ۋاكۇئۇم بىلەن Epi تەييار ئورالما | ۋاكۇئۇم بىلەن Epi تەييار ئورالما |
| 8.2 | ئورالما | -- | Multi-wafer قەغەز ئورالمىسى | Multi-wafer قەغەز ئورالمىسى | Multi-wafer قەغەز ئورالمىسى |
يوللانغان ۋاقتى: Apr-18-2023