P تىپلىق SiC ۋافېر 4H/6H-P 3C-N 6 دىيۇملۇق قېلىنلىقى 350 μm، ئاساسلىق تۈز يۆنىلىشلىك
ئۆلچەم 4H/6H-P تىپىدىكى SiC بىرىكمە ئاساسىي قەۋەتلەر ئورتاق پارامېتىر جەدۋىلى
6 دىيۇم دىئامېتىرلىق كرېمنىي كاربىد (SiC) ئاساسى ئۆلچەم
| دەرىجە | نۆل MPD ئىشلەپچىقىرىشZ دەرىجىسى دەرىجە) | ئۆلچەملىك ئىشلەپچىقىرىشدەرىجە (P) دەرىجە) | ساختا دەرىجە (D دەرىجە) | ||
| دىئامېتىر | 145.5 مىللىمېتىر ~ 150.0 مىللىمېتىر | ||||
| قېلىنلىقى | 350 μm ± 25 μm | ||||
| ۋافېر يۆنىلىشى | -Offئوق: 4H/6H-P ئۈچۈن [1120] ± 0.5° غا قاراپ 2.0°-4.0°، ئوق ئۈستىدە: 3C-N ئۈچۈن 〈111〉± 0.5° | ||||
| مىكرو تۇرۇبا زىچلىقى | 0 سانتىمېتىر-2 | ||||
| قارشىلىق | p تىپلىق 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
| n تىپلىق 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
| ئاساسلىق تۈزلەڭلىك يۆنىلىشى | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
| ئاساسلىق تۈز ئۇزۇنلۇقى | 32.5 مىللىمېتىر ± 2.0 مىللىمېتىر | ||||
| ئىككىنچى دەرىجىلىك تۈز ئۇزۇنلۇقى | 18.0 مىللىمېتىر ± 2.0 مىللىمېتىر | ||||
| ئىككىنچى دەرىجىلىك تۈز يۆنىلىش | كرېمنىي يۈزى ئۈستىگە قاراپ: 90° CW. Prime تۈزلىكىدىن ± 5.0° | ||||
| قىرنى چىقىرىۋېتىش | 3 مىللىمېتىر | 6 مىللىمېتىر | |||
| LTV/TTV/Bow /Warp | .52.5 mm / ≤5 mm / ≤15 mm / ≤30 mm | ≤10 μm / ≤15 μm / ≤25 μm / ≤40 μm | |||
| قوپاللىق | پولشا Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2nm | Ra≤0.5nm | ||||
| يۇقىرى كۈچلۈكلۈكتىكى چىراغنىڭ گىرۋەك يېرىلىشى | يوق | ئومۇمىي ئۇزۇنلۇقى ≤ 10 مىللىمېتىر، يەككە ئۇزۇنلۇقى ≤ 2 مىللىمېتىر | |||
| يۇقىرى كۈچلۈكلۈكتىكى چىراغ ئارقىلىق ئالتە تەرەپلىك تاختىلار | ئومۇمىي كۆلىمى ≤0.05% | ئومۇمىي كۆلىمى ≤0.1% | |||
| يۇقىرى كۈچلۈكلۈكتىكى چىراغ ئارقىلىق كۆپ خىل رايونلار | يوق | ئومۇمىي كۆلىمى ≤3% | |||
| كۆرۈش كاربون قوشۇشلىرى | ئومۇمىي كۆلىمى ≤0.05% | ئومۇمىي كۆلىمى ≤3% | |||
| يۇقىرى كۈچلۈكلۈكتىكى چىراغنىڭ كرېمنىي يۈزىدىكى تىرناقلىرى | يوق | يىغىندى ئۇزۇنلۇقى ≤1 × ۋافېر دىئامېتىرى | |||
| يۇقىرى كۈچلۈكلۈكتىكى چىراغ بىلەن قىرلىق چىراغلار | كەڭلىكى ۋە چوڭقۇرلۇقى ≥0.2mm غا رۇخسەت قىلىنمايدۇ | 5 قېتىم رۇخسەت قىلىنىدۇ، ھەر بىرى ≤1 مىللىمېتىر | |||
| يۇقىرى كۈچلۈكلۈكتىكى كرېمنىي يۈزىنىڭ بۇلغىنىشى | يوق | ||||
| ئورالما | كۆپ ۋافېرلىق كاسسېتا ياكى يەككە ۋافېرلىق قاچى | ||||
ئىزاھاتلار:
※ نۇقسان چەكلىمىسى گىرۋەكنىڭ چىقىرىۋېتىلگەن رايونىدىن باشقا پۈتۈن ۋافلىنىڭ يۈزىگە تەتبىقلىنىدۇ. # چىزىقلارنى Si يۈزىدە تەكشۈرۈش كېرەك.
P تىپلىق SiC لېنتىسى، 4H/6H-P 3C-N، 6 دىيۇملۇق چوڭلۇقى ۋە 350 μm قېلىنلىقى بىلەن، يۇقىرى ئىقتىدارلىق ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرىنىڭ سانائەت ئىشلەپچىقىرىشىدا مۇھىم رول ئوينايدۇ. ئۇنىڭ ئېسىل ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە يۇقىرى پارچىلىنىش توك بېسىمى ئۇنى ئېلېكتر ماشىنىلىرى، ئېلېكتر تورى ۋە قايتا ھاسىل بولىدىغان ئېنېرگىيە سىستېمىسى قاتارلىق يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق مۇھىتلاردا ئىشلىتىلىدىغان توك ئالماشتۇرغۇچ، دىئود ۋە ترانزىستور قاتارلىق زاپچاسلارنى ئىشلەپچىقىرىشقا ماسلاشتۇرىدۇ. لېنتىنىڭ قاتتىق شارائىتتا ئۈنۈملۈك ئىشلەش ئىقتىدارى يۇقىرى ئېنېرگىيە زىچلىقى ۋە ئېنېرگىيە ئۈنۈمىنى تەلەپ قىلىدىغان سانائەت قوللىنىشچان پروگراممىلىرىدا ئىشەنچلىك ئىقتىدارنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا، ئۇنىڭ ئاساسلىق تۈز يۆنىلىشى ئۈسكۈنە ياساش جەريانىدا توغرا ماسلىشىشقا ياردەم بېرىدۇ، ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمى ۋە مەھسۇلاتنىڭ مۇقىملىقىنى ئاشۇرىدۇ.
N تىپلىق SiC بىرىكمە سۇبستراتلىرىنىڭ ئەۋزەللىكلىرى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ
- يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقىP تىپلىق SiC ۋافېرلىرى ئىسسىقلىقنى ئۈنۈملۈك تارقىتىپ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ئىشلىتىش ئۈچۈن ئەڭ ماس كېلىدۇ.
- يۇقىرى بۇزۇلۇش توك بېسىمى: يۇقىرى توك بېسىمىغا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ، ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەر ۋە يۇقىرى توك بېسىملىق ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشەنچلىكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
- قاتتىق مۇھىتلارغا قارشى تۇرۇش: يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە چىرىشچان مۇھىت قاتارلىق ئېغىر شارائىتلاردا ناھايىتى ياخشى چىدامچانلىققا ئىگە.
- ئۈنۈملۈك توك ئايلاندۇرۇشP تىپلىق قوشۇلما ئېنېرگىيەنى ئۈنۈملۈك بىر تەرەپ قىلىشنى ئاسانلاشتۇرۇپ، ۋافېرنى ئېنېرگىيە ئايلاندۇرۇش سىستېمىسىغا ماسلاشتۇرىدۇ.
- ئاساسلىق تۈزلەڭلىك يۆنىلىشىئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا توغرا ماسلىشىشنى كاپالەتلەندۈرىدۇ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ توغرىلىقى ۋە مۇقىملىقىنى يۇقىرى كۆتۈرىدۇ.
- نېپىز قۇرۇلما (350 μm): ۋافېرنىڭ ئەڭ ياخشى قېلىنلىقى ئىلغار، بوشلۇق چەكلىك ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەرگە بىرلەشتۈرۈشنى قوللايدۇ.
ئومۇمەن قىلىپ ئېيتقاندا، P تىپلىق SiC لېنتىسى، 4H/6H-P 3C-N، سانائەت ۋە ئېلېكترونلۇق قوللىنىشچان پروگراممىلارغا ماس كېلىدىغان بىر قاتار ئەۋزەللىكلەرنى تەمىنلەيدۇ. ئۇنىڭ يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە پارچىلىنىش توك بېسىمى يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە يۇقىرى توك بېسىملىق مۇھىتتا ئىشەنچلىك ئىشلەشنى تەمىنلەيدۇ، قاتتىق شارائىتقا چىدامچانلىقى بولسا چىدامچانلىقنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. P تىپلىق قوشۇلما ئېنېرگىيەنى ئۈنۈملۈك ئايلاندۇرۇشقا يول قويۇپ، ئۇنى ئېلېكترونلۇق ئېلېكترون ۋە ئېنېرگىيە سىستېمىلىرى ئۈچۈن ئەڭ ياخشى قىلىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا، لېنتىنىڭ ئاساسلىق تۈز يۆنىلىشى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ئېنىق ماسلىشىشنى كاپالەتلەندۈرىدۇ، ئىشلەپچىقىرىشنىڭ مۇقىملىقىنى ئاشۇرىدۇ. قېلىنلىقى 350 مىكرومېتىر بولۇپ، ئىلغار، ئىخچام ئۈسكۈنىلەرگە بىرلەشتۈرۈشكە ناھايىتى ماس كېلىدۇ.
تەپسىلىي دىئاگرامما
