ICP ئۈچۈن 4 دىيۇملۇق 6 دىيۇملۇق ۋافېر تۇتقۇچى ئۈچۈن SiC ساپال تەخسە / تەخسە

ICP ئالاھىدە رەسىم ئۈچۈن 4 دىيۇم 6 دىيۇملۇق ۋافېر تۇتقۇچى ئۈچۈن SiC ساپال تەخسە / تەخسە

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

SiC ساپال تاختا يۇقىرى ساپلىقتىكى كرېمنىي كاربوندىن ياسالغان ، يۇقىرى ئىسسىقلىق ، خىمىيىلىك ۋە مېخانىكىلىق مۇھىتتا ئىشلىتىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن يۇقىرى ئىقتىدارلىق زاپچاس. ئالاھىدە قاتتىقلىقى ، ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە چىرىشكە چىدامچانلىقى بىلەن داڭ چىقارغان SiC تەخسىسى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ، LED ، يورۇقلۇق ۋولت ۋە ئاۋىئاتسىيە سانائىتى قاتارلىقلاردا ۋافېر توشۇغۇچى ، سۈمۈرگۈچ ياكى قۇرۇلما تەركىب سۈپىتىدە كەڭ قوللىنىلىدۇ.

بىزگە ئېلخەت ئەۋەتىڭ

Features

SiC ساپال تەخسە قىسقىچە مەزمۇنى

كۆرۈنەرلىك ئىسسىقلىق مۇقىملىقى 1600 سېلسىيە گرادۇسقا يېتىدۇ ھەمدە ئاكتىپ گاز ۋە پلازما مۇھىتىغا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى كۈچلۈك بولغاچقا ، SiC تەخسىسى يۇقىرى تېمپېراتۇرا قىرىش ، چۆكۈش ۋە تارقىلىش جەريانىدا ئىزچىل ئۈنۈمگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. ئۇنىڭ قويۇق ، تۆشۈكسىز مىكرو قۇرۇلمىسى زەررىچە ھاسىل قىلىشنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈپ ، ۋاكۇئۇم ياكى تازىلىق ئۆيىدىكى دەرىجىدىن تاشقىرى پاكىز قوللىنىشقا ماس كېلىدۇ.

SiC ساپال تەخسە قوللىنىش

1. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش

SiC ساپال تاختاي ئادەتتە CVD (خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى) ، PVD (فىزىكىلىق ھور چۆكۈش) ۋە چىش سىستېمىسى قاتارلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ توقۇلما ئۈسكۈنىلەردە ۋافېر توشۇغۇچى ، سۈمۈرگۈچ ۋە پىيادىلەر تاختىسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ. ئۇلارنىڭ ئېسىل ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ئۇلارنىڭ بىردەك تېمپېراتۇرا تەقسىملىنىشىنى ساقلىيالايدۇ ، بۇ يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ۋافېر پىششىقلاپ ئىشلەشتە ئىنتايىن مۇھىم. SiC نىڭ چىرىتكۈچى گاز ۋە پلازماسقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى ناچار مۇھىتنىڭ چىدامچانلىقىغا كاپالەتلىك قىلىپ ، زەررىچىلەرنىڭ بۇلغىنىشىنى ۋە ئۈسكۈنىلەرنى ئاسراشقا ياردەم بېرىدۇ.

2. LED سانائىتى - ICP Etching

LED ياساش ساھەسىدە ، SiC تاختىلىرى ICP (Inductively Coupled Plasma) قىستۇرما سىستېمىسىنىڭ مۇھىم تەركىبىي قىسمى. ۋافېر تۇتقۇچى سۈپىتىدە ھەرىكەت قىلىدۇ ، ئۇلار پىلازما پىششىقلاپ ئىشلەش جەريانىدا كۆك ياقۇت ياكى GaN ۋافېرلىرىنى قوللايدىغان مۇقىم ۋە ئىسسىقلىق بىلەن كۈچلۈك سۇپا بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئۇلارنىڭ ئېسىل پلازما قارشىلىقى ، يەر يۈزىنىڭ تەكشىلىكى ۋە ئۆلچەملىك مۇقىملىقى يۇقىرى چاتاقنىڭ توغرىلىقى ۋە بىردەكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىپ ، LED ئۆزەكتە مەھسۇلات ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىقتىدارىنى ئاشۇرۇۋېتىدۇ.

3. فوتوۋولت (PV) ۋە قۇياش ئېنېرگىيىسى

SiC ساپال تاختاي قۇياش ئېنېرگىيىسى ھۈجەيرىسى ئىشلەپچىقىرىشتىمۇ ئىشلىتىلىدۇ ، بولۇپمۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق سىنلاش ۋە تۇتاشتۇرۇش باسقۇچىدا. ئۇلارنىڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرىدىكى ئىنېرتسىزلىقى ۋە ئۇرۇشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ ئىزچىل بىر تەرەپ قىلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. ئۇنىڭدىن باشقا ، ئۇلارنىڭ تۆۋەن بۇلغىنىش خەۋىپى يورۇقلۇق ۋولت ھۈجەيرىسىنىڭ ئۈنۈمىنى ساقلاشتا ئىنتايىن مۇھىم.

SiC ساپال تاختاينىڭ خۇسۇسىيىتى

1. ئالاھىدە مېخانىكىلىق كۈچ ۋە قاتتىقلىق

SiC ساپال تاختاينىڭ مېخانىك كۈچى ئىنتايىن يۇقىرى بولۇپ ، تىپىك ئەۋرىشىم كۈچى 400 MPa دىن ، Vickers نىڭ قاتتىقلىقى 2000 HV غا يېتىدۇ. بۇ ئۇلارنى مېخانىكىلىق ئۇپراش ، سۈركىلىش ۋە شەكلى ئۆزگىرىپ كېتىشكە چىداملىق قىلىدۇ ، ھەتتا يۇقىرى يۈك ياكى قايتا-قايتا ئىسسىقلىق ۋېلىسىپىت مىنىشتەك ئۇزۇن خىزمەت ئۆمرىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.

2. يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى

SiC نىڭ ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ناھايىتى ياخشى (ئادەتتە 120–200 W / m · K) بولۇپ ، ئىسسىقلىق يۈزىگە تەكشى تارقىتالايدۇ. بۇ خۇسۇسىيەت ۋافېر قىچىش ، چۆكۈش ياكى گۇناھ ئۆتكۈزۈش قاتارلىق جەريانلاردا ئىنتايىن مۇھىم ، تېمپېراتۇرا بىردەكلىكى مەھسۇلاتنىڭ مەھسۇلات مىقدارى ۋە سۈپىتىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ.

3. دەرىجىدىن تاشقىرى ئىسسىقلىق مۇقىملىقى

يۇقىرى ئېرىتىش نۇقتىسى (2700 سېلسىيە گرادۇس) ۋە ئىسسىقلىق كېڭىيىشنىڭ تۆۋەن كوئېففىتسېنتى (4.0 × 10⁻⁶ / K) بولغان SiC ساپال تاختايلار تېز قىزىتىش ۋە سوۋۇتۇش دەۋرىدە ئۆلچەملىك توغرىلىق ۋە قۇرۇلمىنىڭ مۇكەممەللىكىنى ساقلايدۇ. بۇ ئۇلارنى يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ئوچاق ، ۋاكۇئۇم ئۆي ۋە پلازما مۇھىتىدا ئىشلىتىشكە ماس كېلىدۇ.

تېخنىكىلىق خۇسۇسىيىتى
كۆرسەتكۈچ	بىرلىك	قىممەت
ماتېرىيال ئىسمى		رېئاكسىيە سىنتسىيون كاربون	بېسىمسىز سىنتېرىك كاربون	كىرىمنىي كاربوننى قايتا ئورناتتى
تەركىبى		RBSiC	SSiC	R-SiC
توپ زىچلىقى	g / cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
ئەۋرىشىم كۈچ	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20 ° C) 90-100 (1400 ° C)
پىرىسلاش كۈچى	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
قاتتىقلىق	Knoop	2700	2800	/
بۆسۈش	MPa m1 / 2	4.5	4	/
ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى	W / mk	95	120	23
ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى	10^-6.1 / ° C.	5	4	4.7
كونكرېت ئىسسىقلىق	Joule / g 0k	0.8	0.67	/
ھاۋادىكى ئەڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرا	℃	1200	1500	1600
Elastic Modulus	Gpa	360	410	240

SiC ساپال تەخسە سوئال-جاۋاب

مۇخبىر sil كرېمنىي كاربون تاختىسىنىڭ قانداق ئالاھىدىلىكلىرى بار؟

A ： كرېمنىي كاربون (SiC) تاختىسىنىڭ كۈچلۈكلىكى ، قاتتىقلىقى ۋە ئىسسىقلىق مۇقىملىقى بىلەن داڭلىق. ئۇلار ئېسىل ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى بىلەن تەمىنلەيدۇ ، پەۋقۇلئاددە تېمپېراتۇرىدا ئىشەنچلىك ئىقتىدارغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. SiC يەنە خىمىيىلىك ئىنېرت بولۇپ ، كىسلاتا ، ئىشقارلىق ۋە پلازما مۇھىتىغا چىداملىق بولۇپ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە LED بىر تەرەپ قىلىشقا ماس كېلىدۇ. ئۇنىڭ قويۇق ، سىلىق يۈزى زەررىچە ھاسىل قىلىشنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈپ ، تازىلىق ئۆيىنىڭ ماسلىشىشچانلىقىنى ساقلايدۇ. SiC تاختىلىرى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ، يورۇقلۇق ۋولت ۋە ئالەم قاتنىشى سانائىتىدىكى يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە چىرىتىش مۇھىتىدا ۋافېر توشۇغۇچى ، سۈمۈرگۈچ ۋە ياردەمچى زاپچاس سۈپىتىدە كەڭ قوللىنىلىدۇ.