SiC substrate P تىپلىق 4H / 6H-P 3C-N 4inch قېلىنلىقى 350um ئىشلەپچىقىرىش دەرىجىسى Dummy دەرىجىسى

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

P تىپلىق 4H / 6H-P 3C-N 4 دىيۇملۇق SiC تارماق ئېغىزى ، قېلىنلىقى 350 مىللىمېتىر ، ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەر ياساشتا كەڭ قوللىنىلىدىغان يۇقىرى ئىقتىدارلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىيال. ئالاھىدە ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ، يۇقىرى پارچىلىنىش بېسىمى ۋە پەۋقۇلئاددە تېمپېراتۇرا ۋە چىرىتىش مۇھىتىغا چىدامچانلىقى بىلەن داڭلىق بۇ تارماق بالا ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرىنى ئىشلىتىشكە ماس كېلىدۇ. ئىشلەپچىقىرىش دەرىجىسىدىكى تارماق بالا چوڭ تىپتىكى ياسىمىچىلىقتا ئىشلىتىلىدۇ ، ئىلغار ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەردە سۈپەتنى كونترول قىلىش ۋە يۇقىرى ئىشەنچلىك بولۇشقا كاپالەتلىك قىلىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، دۇمباق دەرىجىدىكى تارماق بالا ئاساسلىقى جەرياننى بىر تەرەپ قىلىش ، ئۈسكۈنىلەرنى تەڭشەش ۋە تەقلىد قىلىش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ. SiC نىڭ ئەۋزەللىكى ئۇنى ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى ۋە RF سىستېمىسىنى ئۆز ئىچىگە ئالغان يۇقىرى تېمپېراتۇرا ، يۇقىرى بېسىملىق ۋە يۇقىرى چاستوتىلىق مۇھىتتا مەشغۇلات قىلىدىغان ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئېسىل تاللىشى قىلىدۇ.

بىزگە ئېلخەت ئەۋەتىڭ

مەھسۇلات تەپسىلاتى

مەھسۇلات خەتكۈچلىرى

4inch SiC تارماق P تىپلىق 4H / 6H-P 3C-N پارامېتىر جەدۋىلى

4 دىئامېتىرى كرېمنىيCarbide (SiC) Substrate Specification

Grade			نۆل MPD ئىشلەپچىقىرىش Grade (Z. Grade)	ئۆلچەملىك ئىشلەپچىقىرىش Grade (P. Grade)	Dummy Grade (D Grade)
دىئامېتىرى			99.5 mm ~ 100.0 mm
قېلىنلىق			350 mm ± 25 mm
Wafer Orientation			ئوقى: 2.0 ° -4.0 ° تەرەپكە [11]2(-)0] ± 0.5 ° 4H / 6H-P, On ئوق: 3C-N ئۈچۈن 〈111〉 ± 0.5 °
Micropipe زىچلىقى			0 cm-2
قارشىلىق	p-type 4H / 6H-P		≤0.1 Ωꞏcm		≤0.3 Ωꞏcm
	n-type 3C-N		≤0.8 mΩꞏcm		≤1 m Ωꞏcm
دەسلەپكى تەكشى يۆنىلىش		4H / 6H-P	- {1010} ± 5.0 °
		3C-N	- {110} ± 5.0 °
دەسلەپكى تەكشىلىك ئۇزۇنلۇقى			32.5 mm ± 2.0 mm
ئىككىلەمچى تەكشى ئۇزۇنلۇق			18.0 mm ± 2.0 mm
ئىككىلەمچى تۈز يۆنىلىش			كرېمنىينىڭ يۈزى: 90 ° CW. from Prime flat±5.0 °
Edge Exclusion			3 mm		6 mm
LTV / TTV / Bow / Warp			.52.5 μm / ≤5 μm / ≤15 μm / ≤30 μm		≤10 μm / ≤15 μm / ≤25 μm / ≤40 μm
قوپاللىق			پولشا Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		Ra≤0.5 nm
يۇقىرى زىچلىقتىكى نۇر ئارقىلىق قىر يېرىلىدۇ			ياق		جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤ 10 مىللىمېتىر ، يەككە ئۇزۇنلۇقى 2 مىللىمېتىر
Hex Plates by High Intensity Light			جۇغلانما رايونى ≤0.05%		جۇغلانما رايونى ≤0.1%
يۇقىرى زىچلىقتىكى نۇر ئارقىلىق كۆپ قۇتۇپلۇق رايونلار			ياق		جۇغلانما رايونى% 3
Visual Carbon Inclusion			جۇغلانما رايونى ≤0.05%		جۇغلانما رايونى% 3
يۇقىرى زىچلىقتىكى نۇر ئارقىلىق كرېمنىي يۈزى سىزىلىدۇ			ياق		جۇغلانما ئۇزۇنلۇقى ≤1 × ۋافېر دىئامېتىرى
قىرلىق ئۆزەك يۇقىرى قويۇقلۇق دەرىجىسى بىلەن			كەڭلىكى ۋە چوڭقۇرلۇقى ≥0.2mm		5 رۇخسەت قىلىنغان ، ھەر بىرى mm1 مىللىمېتىر
يۇقىرى زىچلىقتىكى كىرىمنىي يۈزىنىڭ بۇلغىنىشى			ياق
ئورالما			كۆپ ۋافېرلىق قەغەز ياكى تاق ۋافېر قاچىسى

ئىزاھات:

Limits كەمتۈكلۈك چەكلىمىسى قىرغاقنى چىقىرىۋېتىش رايونىدىن باشقا پۈتكۈل ۋافېر يۈزىگە ماس كېلىدۇ. # سىزىلغان رەسىملەرنى پەقەت Si يۈزىدىلا تەكشۈرۈش كېرەك.

ئىلغار ئېلېكترونلۇق ۋە ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى ياساشتا P تىپلىق 4H / 6H-P 3C-N 4 دىيۇملۇق SiC تارماق ئېغىزى قېلىنلىقى 350 مىللىمېتىر كېلىدۇ. ئەلا ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ، يۇقىرى پارچىلىنىش بېسىمى ۋە پەۋقۇلئاددە مۇھىتقا بولغان كۈچلۈك قارشىلىق كۈچى بىلەن ، بۇ تارماق بالا يۇقىرى بېسىملىق توك ئالماشتۇرۇش ، تەتۈر ئايلىنىش ۋە RF ئۈسكۈنىلىرى قاتارلىق يۇقىرى ئىقتىدارلىق ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرىغا ماس كېلىدۇ. ئىشلەپچىقىرىش دەرىجىسىدىكى تارماق زاپچاسلار چوڭ تىپتىكى ياساشتا ئىشلىتىلىدۇ ، ئىشەنچلىك ، يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىقتىدارىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ ، بۇ ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ۋە يۇقىرى چاستوتىلىق قوللىنىشچان پروگراممىلاردا ئىنتايىن مۇھىم. Dummy دەرىجىسىدىكى تارماق ئېلېمېنتلار بولسا جەرياننى تەڭشەش ، ئۈسكۈنىلەرنى سىناش ۋە ئەسلى تىپنى تەرەققىي قىلدۇرۇشقا ئىشلىتىلىدۇ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا سۈپەت كونترول قىلىش ۋە جەرياننىڭ بىردەكلىكىنى ساقلاشقا ياردەم بېرىدۇ.

ئۆلچىمى N تىپىدىكى SiC بىرىكمە زاپچاسلىرىنىڭ ئەۋزەللىكى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ

يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى: ئۈنۈملۈك ئىسسىقلىق تارقىتىش تارماق ئېلېمېنتنى يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە يۇقىرى قۇۋۋەتلىك قوللىنىشچان پروگراممىلارغا ماسلاشتۇرىدۇ.
يۇقىرى پارچىلىنىش بېسىمى: يۇقىرى بېسىملىق مەشغۇلاتنى قوللايدۇ ، ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ۋە RF ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئىشەنچلىكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
ناچار مۇھىتقا قارشى تۇرۇش: يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە چىرىتىش مۇھىتى قاتارلىق پەۋقۇلئاددە شارائىتتا چىداملىق بولۇپ ، ئۇزۇن مۇددەتلىك ئۈنۈمگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
ئىشلەپچىقىرىش دەرىجىسى: چوڭ تىپتىكى ياسىمىچىلىقتا يۇقىرى سۈپەتلىك ۋە ئىشەنچلىك ئىقتىدارغا كاپالەتلىك قىلىدۇ ، ئىلغار قۇۋۋەت ۋە RF قوللىنىشچان پروگراممىلىرىغا ماس كېلىدۇ.
Dummy-Grade for Testing: ئىشلەپچىقىرىش دەرىجىسىدىكى ۋافېرلارغا تەسىر يەتكۈزمەي تۇرۇپ ، جەرياننى توغرا تەڭشەش ، ئۈسكۈنىلەرنى سىناش ۋە ئەسلى تىپنى قوزغىتىشنى قوزغىتىدۇ.

ئومۇمىي جەھەتتىن ئالغاندا ، P تىپلىق 4H / 6H-P 3C-N 4 دىيۇملۇق SiC تارماق ئېغىزى قېلىنلىقى 350 مىللىمېتىر ، يۇقىرى ئىقتىدارلىق ئېلېكترونلۇق قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن كۆرۈنەرلىك ئەۋزەللىك بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئۇنىڭ يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە پارچىلىنىش بېسىمى ئۇنى يۇقىرى قۇۋۋەتلىك ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇھىتىغا ماسلاشتۇرىدۇ ، ناچار شارائىتقا قارشى تۇرۇش چىدامچانلىقى ۋە ئىشەنچلىكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. ئىشلەپچىقىرىش دەرىجىسىدىكى تارماق ئېلېكتر ئېنېرگىيىسى ۋە RF ئۈسكۈنىلىرىنى كەڭ كۆلەمدە ئىشلەپچىقىرىشتا ئېنىق ۋە ئىزچىل ئۈنۈمگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىللە ، تۇتۇق دەرىجىدىكى تارماق بالا جەرياننى تەڭشەش ، ئۈسكۈنىلەرنى سىناش ۋە تەقلىد قىلىپ ياساشتا ئىنتايىن مۇھىم ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ سۈپىتىنى كونترول قىلىش ۋە ئىزچىللىقنى قوللايدۇ. بۇ ئىقتىدارلار ئىلغار قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن SiC تارماق قىسمىنى ناھايىتى كۆپ ئىقتىدارلىق قىلىدۇ.