كىرىستال يۆنىلىشىنى ئۆلچەش ئۈچۈن ۋافېر يۆنىلىش سىستېمىسى

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

ۋافېر يۆنىلىش ئەسۋابى يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئۈسكۈنە بولۇپ، كىرىستاللىق يۆنىلىشنى بەلگىلەش ئارقىلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ۋە ماتېرىيال پەن جەريانلىرىنى ئەلالاشتۇرۇش ئۈچۈن رېنتىگېن نۇرى دىفراكسىيە پىرىنسىپلىرىنى ئىشلىتىدىغان ئۈسكۈنە. ئۇنىڭ ئاساسلىق تەركىبلىرى رېنتىگېن نۇرى مەنبەسى (مەسىلەن، Cu-Kα، 0.154 nm دولقۇن ئۇزۇنلۇقى)، ئېنىقلىق گونىئومېتىر (بۇلۇڭلۇق ئېنىقلىق ≤0.001°) ۋە دېتېكتورلارنى (CCD ياكى سىسىنتىللاسىيە ھېسابلىغۇچ) ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. ئەۋرىشكىلەرنى ئايلاندۇرۇش ۋە دىفراكسىيە ئەندىزىسىنى تەھلىل قىلىش ئارقىلىق، ئۇ كىرىستاللىق كۆرسەتكۈچلەرنى (مەسىلەن، 100، 111) ۋە تور بوشلۇقىنى ±30 ياي سېكۇنتلۇق ئېنىقلىق بىلەن ھېسابلايدۇ. بۇ سىستېما ئاپتوماتىك مەشغۇلاتلارنى، ۋاكۇئۇم بېكىتىشنى ۋە كۆپ ئوقلۇق ئايلىنىشنى قوللايدۇ، ۋافېر گىرۋىكى، پايدىلىنىش تۈزلەڭلىكى ۋە ئېپىتاكسىيال قەۋەت ماسلىشىشىنى تېز ئۆلچەش ئۈچۈن 2-8 دىيۇملۇق ۋافېرلار بىلەن ماس كېلىدۇ. ئاساسلىق قوللىنىشچان پروگراممىلار كېسىش يۆنىلىشىدىكى كرېمنىي كاربىد، ساپفىر ۋافېرلىرى ۋە تۇربىنا پىچىقىنىڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرا ئىقتىدارىنى تەكشۈرۈشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ، بۇ چىپنىڭ ئېلېكتر خۇسۇسىيىتى ۋە ئۈنۈمىنى بىۋاسىتە ئاشۇرىدۇ.


ئالاھىدىلىكلەر

ئۈسكۈنىلەرنى تونۇشتۇرۇش

ۋافېر يۆنىلىش ئەسۋابلىرى رېنتىگېن نۇرى دىفراكسىيەسى (XRD) پىرىنسىپىغا ئاساسلانغان ئېنىقلىق ئۈسكۈنىلىرى بولۇپ، ئاساسلىقى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش، ئوپتىكىلىق ماتېرىياللار، كېرامىكا ۋە باشقا كرىستال ماتېرىيال سانائىتىدە ئىشلىتىلىدۇ.

بۇ ئەسۋابلار كىرىستال تورنىڭ يۆنىلىشىنى بەلگىلەيدۇ ۋە ئېنىق كېسىش ياكى سىلىقلاش جەريانلىرىغا يېتەكچىلىك قىلىدۇ. ئاساسلىق ئالاھىدىلىكلىرى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:

  • يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئۆلچەشلەر:بۇلۇڭلۇق ئېنىقلىق دەرىجىسى 0.001 گرادۇسقىچە بولغان كىرىستاللىق تۈزلەڭلىكلەرنى ئېنىقلىيالايدۇ.
  • چوڭ ئۈلگە ماسلىشىشچانلىقى:دىئامېتىرى 450 مىللىمېتىرغىچە، ئېغىرلىقى 30 كىلوگرامغىچە بولغان ۋافرىلارنى قوللايدۇ، كرېمنىي كاربىد (SiC)، ياقۇت ۋە كرېمنىي (Si) قاتارلىق ماتېرىياللارغا ماس كېلىدۇ.
  • مودۇللۇق لايىھە:كېڭەيتكىلى بولىدىغان ئىقتىدارلار تەۋرىنىش ئەگرى سىزىقى ئانالىزى، 3D يۈزەكى كەمتۈكلۈك خەرىتىسىنى تۈزۈش ۋە كۆپ ئەۋرىشكە بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن قاتلاملاشتۇرۇش ئۈسكۈنىلىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.

ئاساسلىق تېخنىكىلىق پارامېتىرلار

پارامېتىر تۈرى

ئادەتتىكى قىممەتلەر/تەڭشىلەش

رېنتىگېن نۇرى مەنبەسى

Cu-Kα (0.4×1 مىللىمېتىر مەركەزلىك نۇقتا)، 30 كىلوۋولتلۇق تېزلىنىش توك بېسىمى، 0–5 mA تەڭشىگىلى بولىدىغان تۇرۇبا توكى

بۇلۇڭلۇق دائىرە

θ: -10° دىن +50° گىچە؛ 2θ: -10° دىن +100° گىچە

توغرىلىق

ئېگىلىش بۇلۇڭىنىڭ ئېنىقلىقى: 0.001°، يۈزەكى نۇقساننى بايقاش: ±30 سېكۇند (تەۋرەنمە ئەگرى سىزىقى)

سىكانىرلاش سۈرئىتى

ئومېگا سىكانىرلاش 5 سېكۇنت ئىچىدە تولۇق تور يۆنىلىشىنى تاماملايدۇ؛ تېتا سىكانىرلاش تەخمىنەن 1 مىنۇت ۋاقىت ئالىدۇ

ئۈلگە باسقۇچى

V شەكىللىك ئويمانلىق، ھاۋا سۈمۈرۈش ئىقتىدارىغا ئىگە، كۆپ بۇلۇڭلۇق ئايلىنىش ئىقتىدارىغا ئىگە، 2–8 دىيۇملۇق ۋافلىلار بىلەن ماس كېلىدۇ.

كېڭەيتكىلى بولىدىغان فۇنكسىيەلەر

تەۋرىنىش ئەگرى سىزىقى ئانالىزى، 3D خەرىتە تۈزۈش، ئۈستى-ئۈستىگە قويۇش ئۈسكۈنىسى، ئوپتىكىلىق نۇقسان بايقاش (چىزىلىش، GB)

ئىشلەش پرىنسىپى

1. رېنتىگېن نۇرى دىفراكسىيە ئاساسى

  • رېنتىگېن نۇرى ئاتوم يادروسى ۋە كىرىستال توردا ئېلېكترونلار بىلەن ئۆز-ئارا تەسىر كۆرسىتىپ، دىفراكسىيە ئەندىزىسىنى ھاسىل قىلىدۇ. براگ قانۇنى (nλ = 2d sinθ) دىفراكسىيە بۇلۇڭى (θ) بىلەن تور بوشلۇقى (d) ئوتتۇرىسىدىكى مۇناسىۋەتنى باشقۇرىدۇ.
    دېتېكتورلار بۇ شەكىللەرنى تۇتۇۋالىدۇ، بۇ شەكىللەر تەھلىل قىلىنىپ، كىرىستاللىق قۇرۇلمىنى قايتا قۇرۇشقا ئىشلىتىلىدۇ.

2. ئومېگا سىكانىرلاش تېخنىكىسى

  • كىرىستال رېنتىگېن نۇرى ئۇنى يورۇتۇۋاتقاندا، بەلگىلەنگەن ئوق ئەتراپىدا ئۈزلۈكسىز ئايلىنىدۇ.
  • دېتېكتورلار كۆپ خىل كىرىستاللىق تۈزلەڭلىكلەردىكى دىفراكسىيە سىگناللىرىنى توپلايدۇ، بۇ ئارقىلىق 5 سېكۇنت ئىچىدە تورنىڭ تولۇق يۆنىلىشىنى بېكىتىشكە بولىدۇ.

3. تەۋرىنىش ئەگرى سىزىقى ئانالىزى

  • چوققا كەڭلىكىنى (FWHM) ئۆلچەش، تور نۇقسانلىرى ۋە دېزگناتسىيەنى باھالاش ئۈچۈن، خىراستال بۇلۇڭىنى ئوخشاش بولمىغان رېنتىگېن نۇرىنىڭ چۈشۈش بۇلۇڭى بىلەن مۇقىملاشتۇردى.

4. ئاپتوماتىك كونترول

  • PLC ۋە سېزىمچان ئېكران ئىنتېرفېيسلىرى ئالدىن بېكىتىلگەن كېسىش بۇلۇڭى، ھەقىقىي ۋاقىتلىق ئىنكاس ۋە كېسىش ماشىنىلىرى بىلەن بىر گەۋدىلىشىش ئارقىلىق يېپىق ھالەتتىكى كونترولنى ئىشقا ئاشۇرىدۇ.

ۋافېر يۆنىلىش ئەسۋابى 7

ئەۋزەللىكلىرى ۋە ئالاھىدىلىكلىرى

1. ئېنىقلىق ۋە ئۈنۈملۈكلۈك

  • بۇلۇڭلۇق توغرىلىق ±0.001°، نۇقسان بايقاش ئېنىقلىقى <30 سېكۇند.
  • ئومېگا سىكانىرلاش سۈرئىتى ئەنئەنىۋى تېتا سىكانىرلاشتىن 200 ھەسسە تېز.

2. مودۇللۇق ۋە كېڭەيتىشچانلىقى

  • ئالاھىدە قوللىنىشچان پروگراممىلار (مەسىلەن، SiC ۋافېرلىرى، تۇربىنا پىچاقلىرى) ئۈچۈن كېڭەيتكىلى بولىدۇ.
  • ئىشلەپچىقىرىشنى ھەقىقىي ۋاقىتلىق نازارەت قىلىش ئۈچۈن MES سىستېمىلىرى بىلەن بىرلەشتۈرۈلىدۇ.

3. ماسلىشىشچانلىقى ۋە مۇقىملىقى

  • شەكىلسىز ئەۋرىشكىلەرنى (مەسىلەن، يېرىلغان ياقۇت تاشلىرى) سىغدۇرالايدۇ.
  • ھاۋا سوۋۇتۇش لايىھەسى ئاسراش ئېھتىياجىنى ئازايتىدۇ.

4. ئەقلىي ئىقتىدارلىق مەشغۇلات

  • بىر چېكىش ئارقىلىق كالىبراتسىيەلەش ۋە كۆپ ۋەزىپىنى بىر تەرەپ قىلىش.
  • ئىنسانلارنىڭ خاتالىقىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش ئۈچۈن پايدىلىنىش كرىستاللىرى بىلەن ئاپتوماتىك تەڭشەش.

ۋافېر يۆنىلىش ئەسۋابى 5-5

قوللىنىشچان پروگراممىلار

1. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش

  • ۋافتا توغراش يۆنىلىشى: كېسىش ئۈنۈمىنى ئەلالاشتۇرۇش ئۈچۈن Si، SiC، GaN ۋافتا يۆنىلىشىنى بەلگىلەيدۇ.
  • نۇقسان خەرىتىسىنى ئېنىقلاش: چىپنىڭ سۈپىتىنى ياخشىلاش ئۈچۈن يۈزەكى چىزىقلار ياكى چىقىپ كېتىشلەرنى ئېنىقلايدۇ.

2. ئوپتىكىلىق ماتېرىياللار

  • لازېر ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن سىزىقسىز كىرىستاللار (مەسىلەن، LBO، BBO).
  • LED ئاساسىي يۈزى ئۈچۈن كۆك ياقۇت تاختىسى پايدىلىنىش يۈزى بەلگىسى.

3. كېرامىكا ۋە كومپوزىتلار

  • يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق قوللىنىشلار ئۈچۈن Si3N4 ۋە ZrO2 دىكى دانچىلارنىڭ يۆنىلىشىنى تەھلىل قىلىدۇ.

4. تەتقىقات ۋە سۈپەت كونترولى

  • يېڭى ماتېرىياللارنى تەرەققىي قىلدۇرۇش ئۈچۈن ئۇنىۋېرسىتېتلار/تەجرىبىخانىلار (مەسىلەن، يۇقىرى ئېنتروپىيەلىك قېتىشمىلار).
  • تۈركۈمنىڭ مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن سانائەت سۈپەت تەكشۈرۈشى.

XKH نىڭ مۇلازىمەتلىرى

XKH لامپا يۆنىلىشلىك ئەسۋابلارغا ئورنىتىش، جەريان پارامېتىرىنى ئەلالاشتۇرۇش، تەۋرىنىش ئەگرى سىزىقى ئانالىزى ۋە 3D يۈزەكى كەمتۈكلۈك خەرىتىسىنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ئومۇميۈزلۈك ھاياتلىق دەۋرىيلىكى تېخنىكىلىق قوللاش بىلەن تەمىنلەيدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئوپتىكىلىق ماتېرىيال ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى %30 تىن ئارتۇق ئاشۇرۇش ئۈچۈن خاسلاشتۇرۇلغان ھەل قىلىش چارىلىرى (مەسىلەن، قۇيۇش ئۈستىنى يىغىش تېخنىكىسى) بىلەن تەمىنلىنىدۇ. مەخسۇس گۇرۇپپا ئورۇننىڭ ئۆزىدە مەشىق ئېلىپ بارىدۇ، 24/7 يىراقتىن قوللاش ۋە تېز سۈرئەتتە زاپاس زاپچاسلارنى ئالماشتۇرۇش ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشەنچلىكلىكىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.


  • ئالدىنقىسى:
  • كېيىنكىسى:

  • ئۇچۇرىڭىزنى بۇ يەرگە يېزىپ بىزگە ئەۋەتىڭ