4 دىيۇملۇق SiC ۋافېرلىرى 6H يېرىم ئىزولياتسىيەلىك SiC ئاساسىي قەۋىتى، ئەڭ يۇقىرى سۈپەتلىك، تەتقىقات ۋە ساختا سۈپەتلىك

4 دىيۇملۇق SiC ۋافېرلىرى 6H يېرىم ئىزولياتسىيەلىك SiC ئاساسىي قەۋىتى، ئاساسلىق، تەتقىقات ۋە ساختا دەرىجىلىك رەسىم

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

يېرىم ئىسسىقلىق ساقلاش كرېمنىي كاربىد ئاساسى يېرىم ئىسسىقلىق ساقلاش كرېمنىي كاربىد كىرىستالىنى ئۆستۈرگەندىن كېيىن كېسىش، ئۇۋىلاش، سىلىقلاش، تازىلاش ۋە باشقا بىر تەرەپ قىلىش تېخنىكىلىرى ئارقىلىق شەكىللىنىدۇ. سۈپەت تەلىپىگە ماس كېلىدىغان ئاساستا بىر قەۋەت ياكى كۆپ قەۋەتلىك كىرىستال قەۋىتى ئېپىتاكسىيە سۈپىتىدە ئۆستۈرۈلىدۇ، ئاندىن توك يولى لايىھىسى ۋە ئورالمىسىنى بىرلەشتۈرۈش ئارقىلىق مىكرو دولقۇنلۇق رادىئو چاستوتا ئۈسكۈنىسى ياسىلىدۇ. 2 دىيۇملۇق 3 دىيۇملۇق 4incgh 6 دىيۇملۇق 8 دىيۇملۇق سانائەت، تەتقىقات ۋە سىناق دەرىجىسىدىكى يېرىم ئىسسىقلىق ساقلاش كرېمنىي كاربىد يەككە كىرىستال ئاساسى سۈپىتىدە سېتىلىدۇ.

بىزگە ئېلخەت ئەۋەتىڭ

ئالاھىدىلىكلەر

مەھسۇلات ئۆلچىمى

دەرىجە			نۆل MPD ئىشلەپچىقىرىش دەرىجىسى (Z دەرىجىسى)			ئۆلچەملىك ئىشلەپچىقىرىش دەرىجىسى (P دەرىجىسى)		ساختا دەرىجە (D دەرىجە)
دىئامېتىر			99.5 مىللىمېتىر ~ 100.0 مىللىمېتىر
	4H-SI		500 μm±20 μm			500 μm±25 μm
ۋافېر يۆنىلىشى			ئوق سىرتىدىكى: 4H-N ئۈچۈن <1120 > ±0.5° غا قاراپ 4.0°، ئوق ئۈستىدە: 4H-SI ئۈچۈن <0001>±0.5°
	4H-SI		≤1cm^-2			≤5 سانتىمېتىر^-2		≤15 سانتىمېتىر^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
ئاساسلىق تۈزلەڭلىك يۆنىلىشى		{10-10} ±5.0°
ئاساسلىق تۈز ئۇزۇنلۇقى		32.5 mm±2.0 mm
ئىككىنچى دەرىجىلىك تۈز ئۇزۇنلۇقى		18.0 mm±2.0 mm
ئىككىنچى دەرىجىلىك تۈز يۆنىلىش		كرېمنىي يۈزى ئۈستىگە قاراپ: Prime تۈزلىكىدىن ±5.0° 90° CW.
قىرنى چىقىرىۋېتىش		3 مىللىمېتىر
LTV/TTV/Bow /Warp		≤3 μm / ≤5 μm / ≤15 μm / ≤30 μm						≤10 μm / ≤15 μm / ≤25 μm / ≤40 μm
قوپاللىق			C يۈزى				پولشاچە		Ra≤1 nm
			سى چىرايى	CMP	Ra≤0.2 nm					Ra≤0.5nm
يۇقىرى كۈچلۈكلۈكتىكى چىراغنىڭ گىرۋەك يېرىلىشى		يوق						ئومۇمىي ئۇزۇنلۇقى ≤ 10 مىللىمېتىر، يەككە ئۇزۇنلۇقى ≤2 مىللىمېتىر
يۇقىرى كۈچلۈكلۈكتىكى چىراغ ئارقىلىق ئالتە تەرەپلىك تاختىلار		ئومۇمىي كۆلىمى ≤0.05%						ئومۇمىي كۆلىمى ≤0.1%
يۇقىرى كۈچلۈكلۈكتىكى چىراغ ئارقىلىق كۆپ خىل رايونلار		يوق						ئومۇمىي كۆلىمى ≤3%
كۆرۈش كاربون قوشۇشلىرى		ئومۇمىي كۆلىمى ≤0.05%						ئومۇمىي كۆلىمى ≤3%
يۇقىرى كۈچلۈكلۈكتىكى چىراغنىڭ كرېمنىي يۈزىدىكى تىرناقلىرى		يوق						ئومۇمىي ئۇزۇنلۇقى ≤1 * ۋافېر دىئامېتىرى
يۇقىرى كۈچلۈكلۈكتىكى چىراغ بىلەن قىرلىق چىراغلار		كەڭلىكى ۋە چوڭقۇرلۇقى ≥0.2 مىللىمېتىرغا رۇخسەت قىلىنمايدۇ						5 قېتىم رۇخسەت قىلىنىدۇ، ھەر بىرى ≤1 مىللىمېتىر
يۇقىرى كۈچلۈكلۈكتىكى كرېمنىي يۈزىنىڭ بۇلغىنىشى		يوق
ئورالما		كۆپ ۋافېرلىق كاسسېتا ياكى يەككە ۋافېرلىق قاچى