5G/6G ئالاقە ئۈچۈن LiTaO3 ۋافېر 2 دىيۇملۇق-8 دىيۇملۇق 10x10x0.5 مىللىمېتىر 1sp 2sp

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

ئۈچىنچى ئەۋلاد يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئوپتوئېلېكترون تېخنىكىسىدىكى مۇھىم ماتېرىيال بولغان LiTaO3 ۋافېرى (لىتىي تانتالات ۋافېرى) يۇقىرى كۇرى تېمپېراتۇرىسى (610°C)، كەڭ سۈزۈكلۈك دائىرىسى (0.4–5.0 μm)، يۇقىرى پىئېزوئېلېكتر كوئېففىتسېنتى (d33 > 1500 pC/N) ۋە تۆۋەن دىئېلېكتر يوقىتىش (tanδ < 2%) قاتارلىق ئىقتىدارلاردىن پايدىلىنىپ، 5G ئالاقىسى، فوتون بىرلەشتۈرۈش ۋە كۋانت ئۈسكۈنىلىرىدە ئىنقىلابىي ئۆزگىرىشلەرنى ئېلىپ باردى. XKH فىزىكىلىق پار توشۇش (PVT) ۋە خىمىيىلىك پار چۆكمىسى (CVD) قاتارلىق ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش تېخنىكىلىرىنى ئىشلىتىپ، 2–8 دىيۇملۇق فورماتتىكى X/Y/Z كېسىش، 42°Y كېسىش ۋە ۋاقىتلىق قۇتۇپلۇق (PPLT) ۋافېرلارنى تەمىنلەيدۇ، يۈزەكى پۇراقلىقى (Ra) <0.5 nm ۋە مىكرو تۇرۇبا زىچلىقى <0.1 cm⁻². بىزنىڭ مۇلازىمىتىمىز Fe قوشۇلمىسى، خىمىيىلىك ئازايتىش ۋە Smart-Cut ھەر خىل بىرلەشتۈرۈشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ، يۇقىرى ئىقتىدارلىق ئوپتىكىلىق سۈزگۈچلەر، ئىنفىرا قىزىل نۇر دېتېكتورلىرى ۋە كۋانت نۇر مەنبەلىرىنى ھەل قىلىدۇ. بۇ ماتېرىيال كىچىكلىتىش، يۇقىرى چاستوتىلىق ئىشلىتىش ۋە ئىسسىقلىق مۇقىملىقى قاتارلىق ساھەلەردە زور ئىلگىرىلەشلەرنى قولغا كەلتۈرۈپ، مۇھىم تېخنىكىلاردا ئۆي ئىچى ئالماشتۇرۇشنى تېزلىتىدۇ.

بىزگە ئېلخەت ئەۋەتىڭ

ئالاھىدىلىكلەر

تېخنىكىلىق پارامېتىرلار

ئىسىم	ئوپتىكىلىق دەرىجىلىك LiTaO3	ئاۋاز دەرىجىسى جەدۋىلى LiTaO3
ئوق شەكىللىك	Z كېسىش + / - 0.2 گرادۇس	36° Y كېسىش / 42° Y كېسىش / X كېسىش (+ / - 0.2 گرادۇس)
دىئامېتىر	76.2mm + / - 0.3mm/ 100±0.2mm	76.2mm + /-0.3mm 100mm + /-0.3mm 0r 150±0.5mm
سانلىق مەلۇمات تۈزلەڭلىكى	22mm + / - 2mm	22mm + /-2mm 32mm + /-2mm
قېلىنلىقى	500um + /-5mm 1000um + /-5mm	500um + /-20mm 350um + /-20mm
TTV	≤ 10 um	≤ 10 um
كۇرى تېمپېراتۇرىسى	605 °C + / - 0.7 °C (DTA ئۇسۇلى)	605 °C + / -3 °C (DTA ئۇسۇلى
يۈزە سۈپىتى	ئىككى تەرەپلىك سىلىقلاش	ئىككى تەرەپلىك سىلىقلاش
قىيسىق گىرۋەكلەر	قىرنى يۇمىلاقلاش	قىرنى يۇمىلاقلاش

ئاساسلىق ئالاھىدىلىكلەر

1. ئېلېكتر ۋە ئوپتىكىلىق ئىقتىدار
· ئېلېكترو-ئوپتىكىلىق كوئېففىتسېنتى: r33 30 pm/V غا يېتىدۇ (X-كېسىش)، بۇ LiNbO3 دىن 1.5 ھەسسە يۇقىرى بولۇپ، ئۇلترا كەڭ بەلباغلىق ئېلېكترو-ئوپتىكىلىق مودۇلياتسىيەنى (>40 GHz بەلباغ كەڭلىكى) ئىشقا ئاشۇرىدۇ.
· كەڭ دائىرىلىك سپېكتىرلىق جاۋاب: يەتكۈزۈش دائىرىسى 0.4–5.0 μm (قالىنلىقى 8 مىللىمېتىر)، ئۇلترابىنەفشە نۇرنى سۈمۈرۈش گىرۋىكى 280 nm غىچە بولۇپ، ئۇلترابىنەفشە لازېر ۋە كۋانت نۇقتىسى ئۈسكۈنىلىرىگە ماس كېلىدۇ.
· تۆۋەن پىروئېلېكتر كوئېففىتسېنتى: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K)، يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ئىنفىرا قىزىل نۇر سېنزورلىرىنىڭ مۇقىملىقىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.

2. ئىسسىقلىق ۋە مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەتلەر
· يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى: 4.6 W/m·K (X شەكىللىك كېسىش)، كۋارتسنىڭكىدىن تۆت ھەسسە يۇقىرى، -200–500°C ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكىگە چىداملىق.
· تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C)، ئىسسىقلىق بېسىمىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش ئۈچۈن كرېمنىي ئورالمىسى بىلەن ماس كېلىدۇ.
3. نۇقسانلارنى كونترول قىلىش ۋە بىر تەرەپ قىلىشنىڭ ئېنىقلىقى
· مىكرو تۇرۇبا زىچلىقى: <0.1 cm⁻² (8 دىيۇملۇق ۋافلىلار)، چىقىش زىچلىقى <500 cm⁻² (KOH ئويۇش ئارقىلىق دەلىللەنگەن).
· يۈزەكى سۈپىتى: CMP بىلەن Ra <0.5 nm غىچە سىلىقلانغان، EUV لىتوگرافىيە دەرىجىسىدىكى تۈزلۈك تەلىپىگە ئۇيغۇن.

ئاچقۇچلۇق قوللىنىشچان پروگراممىلار

دومېن	قوللىنىش سىنارىيەلىرى	تېخنىكىلىق ئەۋزەللىكلەر
ئوپتىكىلىق ئالاقە	100G/400G DWDM لازېرلىرى، كرېمنىي فوتونىك گىبرىد مودۇللىرى	LiTaO3 لېنتىسىنىڭ كەڭ دائىرىلىك سپېكتىرلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە تۆۋەن دولقۇن يېتەكلەش زىيىنى (α <0.1 dB/cm) C-دىئاپتومبېغىنىڭ كېڭىيىشىنى قوللايدۇ.
5G/6G ئالاقە	SAW فىلتىرلىرى (1.8–3.5 GHz)، BAW-SMR فىلتىرلىرى	42°Y كېسىلگەن ۋافېرلار Kt² >15% كە يېتىدۇ، بۇنىڭ بىلەن كىرگۈزۈش زىيىنى تۆۋەن (<1.5 dB) ۋە دومىلاش نىسبىتى يۇقىرى (>30 dB) بولىدۇ.
كۋانت تېخنىكىسى	يەككە فوتونلۇق دېتېكتورلار، پارامېتىرلىق تۆۋەنگە ئايلاندۇرۇش مەنبەلىرى	يۇقىرى سىزىقسىز كوئېففىتسېنت (χ(2)=40 pm/V) ۋە تۆۋەن قاراڭغۇ ساناش سۈرئىتى (<100 سان/s) كۋانت ئېنىقلىقىنى ئاشۇرىدۇ.
سانائەت سېزىش	يۇقىرى تېمپېراتۇرا بېسىم سېنزورلىرى، توك ئۆزگەرتكۈچلىرى	LiTaO3 ۋافېرىنىڭ پىئېزوئېلېكترلىق ئىنكاسى (g33 >20 mV/m) ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا بەرداشلىق بېرىش ئىقتىدارى (>400°C) ئەڭ ناچار مۇھىتلارغا ماس كېلىدۇ.

XKH مۇلازىمەتلىرى

1. خاسلاشتۇرۇلغان ۋافلى ياساش

· چوڭلۇقى ۋە كېسىش: 2–8 دىيۇملۇق ۋافلىلار X/Y/Z كېسىش، 42°Y كېسىش ۋە خاسلاشتۇرۇلغان بۇلۇڭلۇق كېسىش (± 0.01° چىدامچانلىق).

· دوپ كونترول قىلىش: ئېلېكترو-ئوپتىك كوئېففىتسېنتلار ۋە ئىسسىقلىق مۇقىملىقىنى ئەلالاشتۇرۇش ئۈچۈن، Czochralski ئۇسۇلى ئارقىلىق Fe، Mg دوپ قوشۇش (قونۇنلۇق دائىرىسى 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³).

2. ئىلغار جەريان تېخنىكىلىرى
?
· دەۋرىيلىك پوللاش (PPLT): LTOI ۋافېرلىرى ئۈچۈن ئەقلىي ئىقتىدارلىق كېسىش تېخنىكىسى، ±10 nm دائىرە دەۋرى ئېنىقلىقى ۋە يېرىم باسقۇچلۇق ماسلاشتۇرۇلغان (QPM) چاستوتا ئۆزگەرتىشكە ئېرىشىدۇ.

· ھەر خىل بىرلەشتۈرۈش: يۇقىرى چاستوتىلىق SAW فىلتىرلىرى ئۈچۈن قېلىنلىقنى كونترول قىلىش (300–600 nm) ۋە ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى 8.78 W/m·K غىچە بولغان Si ئاساسلىق LiTaO3 بىرىكمە ۋافېرلىرى (POI).

3. سۈپەت باشقۇرۇش سىستېمىسى
?
· باشتىن-ئاخىر سىناق قىلىش: رامان سپېكتروسكوپىيەسى (كۆپ تىپلىق تەكشۈرۈش)، XRD (كرىستاللىق)، AFM (يۈزە مورفولوگىيەسى) ۋە ئوپتىكىلىق بىردەكلىك سىنىقى (Δn <5×10⁻⁵).

4. دۇنياۋى تەمىنلەش زەنجىرى قوللىشى
?
· ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارى: ئايلىق ئىشلەپچىقىرىش مىقدارى > 5000 ۋافلى (8 دىيۇملۇق: 70%)، 48 سائەت ئىچىدە جىددىي يەتكۈزۈش.

· لوجىستىكا تورى: تېمپېراتۇرا كونترول قىلىنىدىغان ئورالما بىلەن ھاۋا/دېڭىز يۈك توشۇش ئارقىلىق ياۋروپا، شىمالىي ئامېرىكا ۋە ئاسىيا-تىنچ ئوكيان رايونلىرىنى قاپلاش.