LT لىتىي تانتالات (LiTaO3) كرىستال 2inch/3inch/4inch/6寸寸寸寸导 Y-42°/36°/108° قېلىنلىقى 250-500um
تېخنىكىلىق پارامېتىرلار
| ئىسىم | ئوپتىكىلىق دەرىجىلىك LiTaO3 | ئاۋاز دەرىجىسى جەدۋىلى LiTaO3 |
| ئوق شەكىللىك | Z كېسىش + / - 0.2 گرادۇس | 36° Y كېسىش / 42° Y كېسىش / X كېسىش(+ / - 0.2 گرادۇس) |
| دىئامېتىر | 76.2mm + / - 0.3mm/100±0.2mm | 76.2mm + /-0.3mm100mm + /-0.3mm 0r 150±0.5mm |
| سانلىق مەلۇمات تۈزلەڭلىكى | 22mm + / - 2mm | 22mm + /-2mm32mm + /-2mm |
| قېلىنلىقى | 500um + /-5mm1000um + /-5mm | 500um + /-20mm350um + /-20mm |
| TTV | ≤ 10 um | ≤ 10 um |
| كۇرى تېمپېراتۇرىسى | 605 °C + / - 0.7 °C (DTA ئۇسۇلى) | 605 °C + / -3 °C (DTA ئۇسۇلى |
| يۈزە سۈپىتى | ئىككى تەرەپلىك سىلىقلاش | ئىككى تەرەپلىك سىلىقلاش |
| قىيسىق گىرۋەكلەر | قىرنى يۇمىلاقلاش | قىرنى يۇمىلاقلاش |
ئاساسلىق ئالاھىدىلىكلەر
1. كىرىستال قۇرۇلمىسى ۋە ئېلېكتر ئىقتىدارى
· كىرىستاللىق مۇقىملىق: %100 4H-SiC كۆپ خىل تىپ ئۈستۈنلۈكنى ئىگىلەيدۇ، كۆپ كىرىستاللىق قوشۇلۇش يوق (مەسىلەن، 6H/15R)، XRD تەۋرىنىش ئەگرى سىزىقىنىڭ تولۇق كەڭلىكى يېرىم ئەڭ چوڭ (FWHM) ≤32.7 ئارس سېكۇنت.
· يۇقىرى توشۇغۇچى ھەرىكەتچانلىقى: ئېلېكترون ھەرىكەتچانلىقى 5400 cm²/V·s (4H-SiC) ۋە تۆشۈك ھەرىكەتچانلىقى 380 cm²/V·s بولۇپ، يۇقىرى چاستوتىلىق ئۈسكۈنە لايىھىلەشنى يولغا قويىدۇ.
·رادىئاتسىيە قاتتىقلىقى: 1 MeV نېيترون نۇرلىنىشىغا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ، يۆتكىلىشچان زىيان چېكى 1×10¹⁵ n/cm² بولۇپ، ئاۋىئاتسىيە ۋە يادرو قوراللىرى ئۈچۈن ئەڭ ماس كېلىدۇ.
2. ئىسسىقلىق ۋە مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەتلەر
· ئالاھىدە ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى: 4.9 W/cm·K (4H-SiC)، كرېمنىينىڭكىدىن ئۈچ ھەسسە يۇقىرى، 200 سېلسىيە گرادۇستىن يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئىشلەشنى قوللايدۇ.
· تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى: CTE 4.0 × 10⁻⁶/K (25–1000°C) بولۇپ، كرېمنىي ئاساسلىق ئورالما بىلەن ماسلىشىشچانلىقىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ ۋە ئىسسىقلىق بېسىمىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ.
3. نۇقسانلارنى كونترول قىلىش ۋە بىر تەرەپ قىلىشنىڭ ئېنىقلىقى
?
· مىكرو تۇرۇبا زىچلىقى: <0.3 cm⁻² (8 دىيۇملۇق ۋافلىلار)، چىقىش زىچلىقى <1000 cm⁻² (KOH ئويۇش ئارقىلىق دەلىللەنگەن).
· يۈزەكى سۈپىتى: CMP بىلەن Ra <0.2 nm غىچە سىلىقلانغان، EUV لىتوگرافىيە دەرىجىلىك تۈزلۈك تەلىپىگە ئۇيغۇن.
ئاچقۇچلۇق قوللىنىشچان پروگراممىلار
| دومېن | قوللىنىش سىنارىيەلىرى | تېخنىكىلىق ئەۋزەللىكلەر |
| ئوپتىكىلىق ئالاقە | 100G/400G لازېرلىرى، كرېمنىي فوتونىك گىبرىد مودۇللىرى | InP ئۇرۇق سۇبستراتلىرى بىۋاسىتە بەلۋاغ بوشلۇقى (1.34 eV) ۋە Si ئاساسلىق ھېتېروئېپىتاكسىيەنى ئىشقا سېلىپ، ئوپتىكىلىق باغلىنىش يوقىتىشىنى ئازايتىدۇ. |
| يېڭى ئېنېرگىيەلىك ئاپتوموبىللار | 800V يۇقىرى ۋولتلۇق ئىنۋېرتېر، ئىچكى قۇۋۋەتلەندۈرگۈچ (OBC) | 4H-SiC ئاساسىي ماتېرىياللىرى >1200 V غا بەرداشلىق بېرىپ، ئۆتكۈزۈشچانلىق زىيىنىنى %50، سىستېما ھەجىمىنى %40 تۆۋەنلىتىدۇ. |
| 5G ئالاقە | مىللىمېتىر دولقۇنلۇق RF ئۈسكۈنىلىرى (PA/LNA)، بازا ئىستانسىسىنىڭ توك كۈچەيتكۈچلىرى | يېرىم ئىزولياتسىيەلىك SiC ئاساسىي قەۋىتى (قارشىلىق >10⁵ Ω·cm) يۇقىرى چاستوتىلىق (60 GHz+) پاسسىپ بىرلەشتۈرۈشنى قوللايدۇ. |
| سانائەت ئۈسكۈنىلىرى | يۇقىرى تېمپېراتۇرا سېنزورلىرى، توك ئۆزگەرتكۈچلىرى، يادرو رېئاكتورى كۆزىتىش ئۈسكۈنىلىرى | InSb ئۇرۇق سۇبستراتلىرى (0.17 eV بەلۋاغ بوشلۇقى) 10 T دا 300% گىچە ماگنىتلىق سەزگۈرلۈك بىلەن تەمىنلەيدۇ. |
LiTaO₃ ۋافلىلىرى - ئاساسلىق ئالاھىدىلىكلىرى
1. يۇقىرى پىئېزوئېلېكترلىق ئىقتىدار
· يۇقىرى پىئېزوئېلېكتر كوئېففىتسېنتى (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) 5G RF سۈزگۈچلىرى ئۈچۈن كىرگۈزۈش زىيىنى <1.5dB بولغان يۇقىرى چاستوتىلىق SAW/BAW ئۈسكۈنىلىرىنى ئىشلىتىشكە شارائىت ھازىرلايدۇ.
· 6GHz دىن تۆۋەن ۋە mmWave قوللىنىشچان پروگراممىلىرى ئۈچۈن كەڭ بەلباغلىق (≥5%) فىلتىر لايىھەلىرىنى قوللايدۇ.
2. ئوپتىكىلىق خۇسۇسىيەتلەر
· 40 GHz دىن يۇقىرى بەلباغ كەڭلىكىگە يېتىش ئۈچۈن كەڭ بەلباغ سۈزۈكلۈكى (400-5000nm ئارىلىقىدا >70% يەتكۈزۈش)
· كۈچلۈك سىزىقسىز ئوپتىكىلىق سەزگۈرلۈك (χ⁽²⁾~30pm/V) لازېر سىستېمىسىدا ئىككىنچى گارمونىك ھاسىل قىلىشنى (SHG) ئىلگىرى سۈرىدۇ.
3. مۇھىت مۇقىملىقى
· يۇقىرى كۇرى تېمپېراتۇرىسى (600 سېلسىيە گرادۇس) ئاپتوموبىل دەرىجىلىك (-40 سېلسىيە گرادۇستىن 150 سېلسىيە گرادۇسقىچە) مۇھىتتا پىئېزوئېلېكتر ئىنكاسىنى ساقلايدۇ.
· كىسلاتا/ئىشكارلارغا قارشى خىمىيىلىك ئىنېرتلىق (pH1-13) سانائەت سېنزور قوللىنىشچان پروگراممىلىرىنىڭ ئىشەنچلىكلىكىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
4. خاسلاشتۇرۇش ئىقتىدارى
· يۆنىلىش قۇرۇلۇشى: خاسلاشتۇرۇلغان پىئېزوئېلېكتر ئىنكاسى ئۈچۈن X شەكىللىك كېسىش (51°)، Y شەكىللىك كېسىش (0°)، Z شەكىللىك كېسىش (36°)
· دوپلاش تاللانمىلىرى: ماگنىي قوشۇلغان (ئوپتىكىلىق زەخمىگە قارشى تۇرۇش)، زىن قوشۇلغان (كۈچەيتىلگەن d₃₃)
· يۈزەكى رەڭلەر: ئېپىتاكسىيالغا تەييار سىلىقلاش (Ra <0.5nm)، ITO/Au مېتاللاشتۇرۇش
LiTaO₃ ۋافلىلىرى - ئاساسلىق ئىشلىتىلىشى
1. رادىئو چاستوتا ئالدى تەرەپ مودۇللىرى
· 5G NR SAW فىلتىرلىرى (Band n77/n79)، تېمپېراتۇرا كوئېففىتسېنتى چاستوتا (TCF) <|-15ppm/°C|
· WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz) ئۈچۈن ئۇلترا كەڭ بەلباغلىق BAW رېزوناتورلىرى
2. بىرلەشتۈرۈلگەن فوتونىكا
· ماسلاشقان ئوپتىكىلىق ئالاقە ئۈچۈن يۇقىرى سۈرئەتلىك Mach-Zehnder مودۇلياتورلىرى (>100Gbps)
· 3-14μm ئارىلىقىدا تەڭشىگىلى بولىدىغان كېسىش دولقۇن ئۇزۇنلۇقىغا ئىگە QWIP ئىنفىرا قىزىل نۇر دېتېكتورلىرى
3. ئاپتوموبىل ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى
· 200kHz دىن يۇقىرى ئىش چاستوتىسى بار ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى توختىتىش سېنزورى
· TPMS پىئېزوئېلېكتر ئۆزگەرتكۈچلىرى -40 سېلسىيە گرادۇستىن 125 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان تېمپېراتۇرا دەۋرىيلىكىگە چىداملىق
4. مۇداپىئە سىستېمىلىرى
· 60dB دىن يۇقىرى دولقۇنلۇق ئاۋاز دولقۇنىنى رەت قىلىش ئىقتىدارىغا ئىگە EW قوبۇللىغۇچ فىلتىرلىرى
· 3-5μm MWIR رادىئاتسىيەسىنى تارقىتىدىغان راكېتا ئىزدىگۈچنىڭ ئىنفىرا قىزىل نۇر دېرىزىلىرى
5. يېڭىدىن گۈللىنىۋاتقان تېخنىكىلار
· مىكرو دولقۇندىن ئوپتىكىغا ئايلاندۇرۇش ئۈچۈن ئوپتومېخانىكىلىق كۋانت ئۆزگەرتكۈچلىرى
· داۋالاش ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى سۈرەتكە ئېلىش ئۈچۈن PMUT قۇرۇلمىسى (> 20MHz ئېنىقلىق دەرىجىسى)
LiTaO₃ ۋافلىلىرى - XKH مۇلازىمەتلىرى
1. تەمىنلەش زەنجىرىنى باشقۇرۇش
· ئۆلچەملىك ئۆلچەملەر ئۈچۈن 4 ھەپتىلىك ئىشلەپچىقىرىش ۋاقتى بىلەن بولېدىن ۋافېرغا بىر تەرەپ قىلىش
· تەننەرخى ئەڭ ياخشى ئىشلەپچىقىرىش رىقابەتچىلەرگە سېلىشتۇرغاندا %10-15 باھا ئەۋزەللىكىنى بېرىدۇ
2. خاسلاشتۇرۇلغان ھەل قىلىش چارىلىرى
· يۆنىلىشكە خاس ۋافلىلاش: ئەڭ ياخشى SAW ئىقتىدارى ئۈچۈن 36°±0.5° Y-كېسىش
· قوشۇلغان تەركىبلەر: ئوپتىكىلىق قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن MgO (5mol%) قوشۇلغان
مېتاللاشتۇرۇش مۇلازىمىتى: Cr/Au (100/1000Å) ئېلېكترود قېلىپلاش
3. تېخنىكىلىق قوللاش
· ماتېرىيال خاراكتېرى: XRD تەۋرىنىش ئەگرى سىزىقى (FWHM <0.01°)، AFM يۈزە ئانالىزى
· ئۈسكۈنە سىمۇلياتسىيەسى: SAW فىلتىرى لايىھەسىنى ئەلالاشتۇرۇش ئۈچۈن FEM مودېلى
خۇلاسە
LiTaO₃ لېنتىلىرى رادىئو چاستوتا ئالاقىسى، بىر گەۋدىلەشكەن فوتونىكا ۋە قاتتىق مۇھىت سېنزورلىرى قاتارلىق ساھەلەردە تېخنىكىلىق ئىلگىرىلەشلەرنى داۋاملىق ئىلگىرى سۈرمەكتە. XKH نىڭ ماتېرىيال ساھەسىدىكى ماھارىتى، ئىشلەپچىقىرىش ئېنىقلىقى ۋە قوللىنىشچان قۇرۇلۇش قوللىشى خېرىدارلارنىڭ كېيىنكى ئەۋلاد ئېلېكترونلۇق سىستېمىلارنىڭ لايىھەلەش قىيىنچىلىقلىرىنى يېڭىشىگە ياردەم بېرىدۇ.









